本實用新型涉及屬于硅片制造領(lǐng)域，特別涉及硅片硼洗臺。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。物理清洗一般是用真空電機噴真空砂進行清洗，而化學(xué)清洗是先用硼水進行清洗，然后再進行酸洗、純水清洗等步驟。在用硼水清洗硅片的過程中，目前的辦法是用人工蘸取硼水對每一個硅片進行清洗，常常出現(xiàn)因為硼水溫度不恒定影響硅片硼洗的質(zhì)量，而且單存的人工清洗效率也不高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，本實用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)簡單的硅片硼洗臺，包括支架，所述支架為雙層立體結(jié)構(gòu)，所述支架包括有第一支撐臺、第二支撐臺，所述第一支撐臺上設(shè)置有硼水瓶、旋轉(zhuǎn)臺、硅片加熱板，所述硅片加熱板上放置有硅片，所述旋轉(zhuǎn)臺與所述硅片相匹配；所述第二支撐臺位于所述第一支撐臺下方，兩者之間有放置設(shè)備的空間；所述第二支撐臺上放置有與所述硼水瓶相對應(yīng)的恒溫磁力攪拌器、與所述硅片加熱板相對應(yīng)的加熱器、與所述旋轉(zhuǎn)臺相連接的真空電機、控制所述真空電機瞬間停止的變頻器。

進一步的，所述硅片硼洗臺還包括有控制面板，所述控制面板與所述加熱器、真空電機、變頻器控制連接，控制所述加熱器、真空電機、變頻器的開啟與關(guān)閉，調(diào)節(jié)所述真空電機的旋轉(zhuǎn)速度。

進一步的，所述硅片硼洗臺還包括有抽風(fēng)管，所述抽風(fēng)管與所述第一支撐臺上方的空間相連通，隨時抽取因為所述硅片硼洗產(chǎn)生的異味。

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用時，只要硅片安裝到旋轉(zhuǎn)臺上，開動恒溫磁力攪拌器，使得硼水處于恒溫攪拌狀態(tài)，打開真空電機，調(diào)節(jié)合適的轉(zhuǎn)速，工人就可以蘸取硼水對硅片進行清洗，完成清洗后，打開變頻器開關(guān)，真空電機瞬間停止，工人取下硅片，就完成了一次對硅片的清洗過程，且抽風(fēng)管隨時抽取因為硼洗產(chǎn)生的異味，這樣就大大地提高了硼洗的效率。

附圖說明

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)圖；

圖中，1-支架，2-硼水瓶，3-旋轉(zhuǎn)臺，4-硅片加熱板，5-硅片，6-恒溫磁力攪拌器，7-加熱器，8-真空電機，9-變頻器，10-控制面板，11-第一支撐臺、12-第二支撐臺、13-抽風(fēng)管。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例及附圖來進一步詳細(xì)說明本實用新型。

一種如圖1所示的硅片硼洗臺，包括支架1，支架1為雙層立體結(jié)構(gòu)，支架1包括有第一支撐臺11、第二支撐臺12，第一支撐臺11上設(shè)置有硼水瓶2、旋轉(zhuǎn)臺3、硅片加熱板4，硅片加熱板4上放置有硅片5。旋轉(zhuǎn)臺3與硅片5相匹配，硅片5可放置在旋轉(zhuǎn)臺3上，旋轉(zhuǎn)臺3旋轉(zhuǎn)時，硅片5會隨之旋轉(zhuǎn)，而不至于飛出去。第二支撐臺12位于第一支撐臺11下方，兩者之間有放置設(shè)備的空間。第二支撐臺12上放置有與硼水瓶2相對應(yīng)的恒溫磁力攪拌器6、與硅片加熱板4相對應(yīng)的加熱器7、與旋轉(zhuǎn)臺3相連接的真空電機8、控制真空電機8瞬間停止的變頻器9。恒溫磁力攪拌器6可隔著第一支撐臺11對硼水瓶2中的硼水呈一定速率地攪拌，且使得硼水處于恒溫狀態(tài)。加熱器7可對硅片加熱板4進行加熱，對硅片5進行烘烤，本實用新型中，硅片加熱板4對硅片5的加熱溫度，一般處于190攝氏度左右。真空電機8旋轉(zhuǎn)可帶動旋轉(zhuǎn)臺3旋轉(zhuǎn)。硅片硼洗臺還包括有控制面板10，控制面板10與加熱器7、真空電機8、變頻器控制9連接，控制面板10上有真空電機8的啟動、調(diào)速開關(guān)，加熱器7的啟動開關(guān)，變頻器的控制開關(guān)?？刂萍訜崞?、真空電機8、變頻器9的開啟與關(guān)閉，調(diào)節(jié)真空電機8的旋轉(zhuǎn)速度。硅片硼洗臺還包括有抽風(fēng)管13，抽風(fēng)管13與第一支撐臺11上方的空間相連通，隨時抽取因為硅片硼洗產(chǎn)生的異味。

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用時，只要硅片5安裝到旋轉(zhuǎn)臺3上；開動恒溫磁力攪拌器6，使得硼水處于恒溫攪拌狀態(tài)；開啟加熱器7、對硅片加熱板4進行加熱至合適溫度；打開真空電機8，調(diào)節(jié)合適的轉(zhuǎn)速；工人就可以蘸取硼水對硅片5進行清洗，完成清洗后，開啟變頻器9開關(guān)，變頻器9控制真空電機8瞬間停止，工人取下硅片5，放置在硅片加熱板4上，就完成了一次對硅片5的清洗過程，且抽風(fēng)管13隨時抽取因為硼洗產(chǎn)生的異味，這樣就大大地提高了硼洗的效率，在一定程度上也保護了工人健康。

以上對本實用新型實施例所提供的技術(shù)方案進行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對本實用新型實施例的原理以及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只適用于幫助理解本實用新型實施例的原理；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實用新型實施例，在具體實施方式以及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本實用新型的限制。