本實(shí)用新型涉及清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硅片用清洗裝置。
背景技術(shù):
太陽(yáng)能光伏行業(yè)晶體硅電池的制作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生含有較高磷濃度的硅氧化層,被稱為磷硅玻璃,簡(jiǎn)稱PSG,在硅電池生產(chǎn)時(shí),要進(jìn)行酸洗將該硅氧化層去除,簡(jiǎn)稱去PSG。目前,傳統(tǒng)的清洗設(shè)備在清洗時(shí),每個(gè)清洗槽內(nèi)都需要使用純水,對(duì)硅片進(jìn)行清洗,因此累計(jì)使用純水的量較大,水浪費(fèi)嚴(yán)重,也提高了生產(chǎn)成本。
根據(jù)中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)枮?01320306796.4公布的一種硅片清洗槽,包括清洗槽本體和水泵,所述清洗槽本體的側(cè)壁內(nèi)部成型有腔體,所述腔體內(nèi)設(shè)有垂直隔板,所述垂直隔板將所述腔體隔成內(nèi)腔和外腔,所述垂直隔板的頂部設(shè)有缺口,所述內(nèi)腔和外腔通過(guò)所述缺口連通,所述外腔的底部開(kāi)設(shè)有出水口,所述水泵安裝在所述出水口上,所述清洗槽本體的內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有篩孔,所述清洗槽本體的底部開(kāi)設(shè)有排污口,所述排污口上設(shè)有閥。這種結(jié)構(gòu)的硅片清洗槽結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜,制作成本較高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種硅片用清洗裝置。
本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種硅片用清洗裝置,包括底座,在所述底座的上表面上加工有若干個(gè)用于放置硅片的清洗槽,并在所述底座的上表面上設(shè)置有一個(gè)用于握持的圓柱桿,在所述底座的下表面設(shè)置有多個(gè)支撐短柱。
作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,所述底座為圓柱形底座,每個(gè)清洗槽的深度相同,其深度為底座厚度的二分之一。
作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,支撐短柱的數(shù)量為三個(gè),且均勻分布在所述底座的下表面上,每個(gè)支撐短柱均采用彈性材料制成。
作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,每個(gè)清洗槽之間相互平行。
作為本實(shí)用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,所述底座和支撐短柱均采用不銹鋼材料制成。
與現(xiàn)有的技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型在對(duì)硅片進(jìn)行清洗時(shí),將硅片放置在底座上的清洗槽中,排列放好,然后手持圓柱桿將整個(gè)底座放置在水箱中進(jìn)行清洗,通過(guò)設(shè)置有支撐短柱,便于放置在水箱中,且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,減少了生產(chǎn)成本。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。
請(qǐng)參閱圖1,圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
所述一種硅片用清洗裝置,包括底座1,在所述底座1的上表面11上加工有若干個(gè)用于放置硅片的清洗槽2,所述底座1為圓柱形底座,每個(gè)清洗槽2的深度相同,其深度為底座1厚度的二分之一,且每個(gè)清洗槽2之間相互平行。
在所述底座1的上表面11上設(shè)置有一個(gè)用于握持的圓柱桿3,所述底座1和圓柱桿3均采用不銹鋼材料制成。
在所述底座1的下表面12設(shè)置有三個(gè)支撐短柱4,且均勻分布在所述底座1的下表面12上,每個(gè)支撐短柱4均采用彈性材料制成。
在對(duì)硅片進(jìn)行清洗時(shí),將硅片放置在底座1上的清洗槽2中,排列放好,然后手持圓柱桿3將整個(gè)底座1放置在水箱中進(jìn)行清洗,通過(guò)設(shè)置有支撐短柱4,便于放置在水箱中,且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,減少了生產(chǎn)成本。
上述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。