1.一種硅片硼洗臺，包括支架(1)，所述支架(1)為雙層立體結(jié)構(gòu)，所述支架(1)包括有第一支撐臺(11)、第二支撐臺(12)，其特征在于，所述第一支撐臺(12)上設(shè)置有硼水瓶(2)、旋轉(zhuǎn)臺(3)、硅片加熱板(4)，所述硅片加熱板(4)上放置有硅片(5)，所述旋轉(zhuǎn)臺(3)與所述硅片(5)相匹配；所述第二支撐臺(12)位于所述第一支撐臺(11)下方，兩者之間有放置設(shè)備的空間；所述第二支撐臺(12)上放置有與所述硼水瓶(2)相對應(yīng)的恒溫磁力攪拌器(6)、與所述硅片加熱板(4)相對應(yīng)的加熱器(7)、與所述旋轉(zhuǎn)臺(3)相連接的真空電機(jī)(8)、控制所述真空電機(jī)(8)瞬間停止的變頻器(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片硼洗臺，其特征在于，所述硅片硼洗臺還包括有控制面板(10)，所述控制面板(10)與所述加熱器(7)、真空電機(jī)(8)、變頻器(9)控制連接，控制所述加熱器(7)、真空電機(jī)(8)、變頻器(9)的開啟與關(guān)閉，調(diào)節(jié)所述真空電機(jī)(8)的旋轉(zhuǎn)速度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片硼洗臺，其特征在于，所述硅片硼洗臺還包括有抽風(fēng)管(13)，所述抽風(fēng)管(13)與所述第一支撐臺(11)上方的空間相連通，隨時(shí)抽取因?yàn)樗龉杵?5)硼洗產(chǎn)生的異味。