1.一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝,包括底座及設(shè)置在底座上的石英舟,其特征在于:所述的石英舟包括兩塊矩形板(1)和與兩塊矩形板(1)的三個(gè)角垂直連接的三根連接柱(2),且三根連接柱(2)和兩塊矩形板(1)圍成V形的儲(chǔ)片空間(3),三根連接柱(2)朝向儲(chǔ)片空間(3)的側(cè)面上對(duì)稱設(shè)置有若干刻槽(201),以使單晶硅片的邊緣卡設(shè)在三根連接柱(2)上的刻槽(201)內(nèi);所述兩塊矩形板(1)的其中一塊上設(shè)置有與叉取石英舟的叉子配合的通槽(101);
所述底座包括底板(4)以及分別設(shè)置在底板(4)兩側(cè)的矩形擋板(5)和V形擋板(6),其中,底板(4)上開設(shè)有卡槽(401)和凸起(402),以使底座通過卡槽(401)卡設(shè)在倒片器石英舟工位上時(shí),凸起(402)關(guān)閉倒片器石英舟工位的氣動(dòng)開關(guān);所述矩形擋板(5)和V形擋板(6)上分別設(shè)置有V型槽Ⅰ(501)和V型槽Ⅱ(601),以使石英舟的兩塊矩形板(1)分別卡設(shè)在V型槽Ⅰ(501)和V型槽Ⅱ(601)內(nèi)時(shí),儲(chǔ)片空間(3)的開口朝上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝,其特征在于:所述兩塊矩形板(1)的四個(gè)角均為弧形倒角,每根連接柱(2)為半圓柱狀結(jié)構(gòu),且連接柱(2)的半圓柱弧形輪廓線與矩形板(1)的弧形倒角輪廓線重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝,其特征在于:所述矩形擋板(5)上V型槽Ⅰ(501)頂部的兩端與矩形擋板(5)頂部平面的兩端之間具有承載面(502)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝,其特征在于:所述V形擋板(6)上V型槽Ⅱ(601)頂部的兩端與V形擋板(6)頂部平面的兩端重合,且在V型槽Ⅱ(601)內(nèi)設(shè)置有厚度小于V形擋板(6)厚度的三角形擋板(7),三角形擋板(7)卡設(shè)在V型槽Ⅱ(601)的V形尖端位置,且其外側(cè)面與V形擋板(6)的外側(cè)面重合。