本實(shí)用新型涉及到半導(dǎo)體硅拋光工藝中所用到的臥式背封爐,具體的說(shuō)是一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體硅拋光片生產(chǎn)過(guò)程中有一道重要的工藝就是背封工藝。背封工藝就是采用低壓化學(xué)氣象淀積LPCVD原理在硅片背面生長(zhǎng)一層二氧化硅或多晶硅薄膜。執(zhí)行背封工藝主流設(shè)備有一種是低壓臥式背封爐。工作原理即將硅片放入石英管內(nèi),用真空泵對(duì)爐管進(jìn)行抽氣,制造真空環(huán)境然后再通入氣體,并通過(guò)蝶閥的開合角度控制石英管內(nèi)的壓力。適當(dāng)?shù)臍怏w配合適當(dāng)?shù)臏囟仍谔囟ǖ膲毫Νh(huán)境下進(jìn)行反應(yīng),在硅片背面生成一層二氧化硅或多晶硅薄膜。
在生產(chǎn)過(guò)程中為調(diào)節(jié)石英管內(nèi)的壓力,需要真空泵一直進(jìn)行抽氣并通過(guò)調(diào)節(jié)蝶閥的角度使石英管內(nèi)的壓力維持在設(shè)定值。因此在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的二氧化硅或多晶硅會(huì)附著在蝶閥內(nèi)壁形成結(jié)晶。當(dāng)結(jié)晶過(guò)多,就會(huì)影響蝶閥的性能,造成密閉不嚴(yán)等問(wèn)題,使石英管內(nèi)的壓力不能達(dá)到工藝要求。此時(shí)要對(duì)蝶閥內(nèi)的晶體進(jìn)行清理。在生產(chǎn)過(guò)程中石英管內(nèi)的溫度高達(dá)七百攝氏度,而蝶閥與石英管相連通溫度也在一百攝氏度以上。因此用常規(guī)的方法即將蝶閥圓筒內(nèi)壁的結(jié)晶敲碎然后用吸塵器吸出的方法無(wú)法使用。因?yàn)闇囟冗^(guò)高會(huì)迅速燒壞吸塵器,而且大顆粒也無(wú)法吸出。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為解決蝶閥圓筒內(nèi)壁附著的二氧化硅或多晶硅結(jié)晶不容易清理的問(wèn)題,本實(shí)用新型提供了一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝,通過(guò)設(shè)置一導(dǎo)柱和設(shè)置在導(dǎo)柱一端的扇形敲擊板,從而深入到蝶閥圓筒內(nèi)壁中敲碎并取出晶體,克服了溫度過(guò)高,清理困難的問(wèn)題,縮短了維護(hù)時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率。
本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為:一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝,包括一圓柱形的導(dǎo)柱和通過(guò)螺紋連接在導(dǎo)柱一端的扇形敲擊板,所述扇形敲擊板為一直線和圓弧線圍成的扇形,且圓弧線與蝶閥圓筒的內(nèi)壁貼合,所述導(dǎo)柱的端部焊接在扇形敲擊板直線邊的中部,且導(dǎo)柱的上端與直線邊平齊,以使手持導(dǎo)柱時(shí),扇形敲擊板的弧形尖端位于最下方。
所述扇形敲擊板與導(dǎo)柱同側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形推板,且弧形推板的外輪廓線與扇形敲擊板的弧形輪廓線重合。
所述扇形敲擊板上設(shè)置有卡槽,所述的弧形推板通過(guò)該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板上。
所述扇形敲擊板與導(dǎo)柱異側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形配重塊,且弧形配重塊的外輪廓線與扇形敲擊板的弧形輪廓線重合。
所述扇形敲擊板上設(shè)置有卡槽,所述的弧形配重塊通過(guò)該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板上。
所述導(dǎo)柱和扇形敲擊板的材質(zhì)為表面經(jīng)過(guò)拋光處理的不銹鋼。
有益效果:本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)計(jì)一與蝶閥圓筒內(nèi)壁匹配的扇形敲擊板,并將該扇形敲擊板用于導(dǎo)柱固定,從而深入到蝶閥圓筒內(nèi)壁中敲擊內(nèi)壁的結(jié)晶,由于扇形敲擊板的圓弧線與蝶閥圓筒的內(nèi)壁貼合,從而可以將內(nèi)壁各處的晶體敲碎,并全部帶出,克服了溫度過(guò)高,清理困難的問(wèn)題,縮短了維護(hù)時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型的正視圖;
圖2為圖1的俯視圖;
圖3為圖1的左視圖;
圖4為圖1的右視圖;
圖5為蝶閥的圓筒結(jié)構(gòu)示意圖
附圖標(biāo)記:1、導(dǎo)柱,2、扇形敲擊板,3、弧形推板,4、弧形配重塊,5、碟板。
具體實(shí)施方式
如圖所示,一種臥式背封爐蝶閥清潔工裝,包括一圓柱形的導(dǎo)柱1和通過(guò)螺紋連接在導(dǎo)柱1一端的扇形敲擊板2,所述扇形敲擊板2為一直線和圓弧線圍成的扇形,且圓弧線與蝶閥圓筒的內(nèi)壁貼合,所述導(dǎo)柱1的端部焊接在扇形敲擊板2直線邊的中部,且導(dǎo)柱1的上端與直線邊平齊,以使手持導(dǎo)柱1時(shí),扇形敲擊板2的弧形尖端位于最下方。
以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式,可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)、優(yōu)化和限定:
如,所述扇形敲擊板2與導(dǎo)柱1同側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形推板3,且弧形推板3的外輪廓線與扇形敲擊板2的弧形輪廓線重合,從而更有效的將敲碎的結(jié)晶帶出圓筒;
進(jìn)一步的,所述扇形敲擊板2上設(shè)置有卡槽,所述的弧形推板3通過(guò)該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板2上,從而根據(jù)需要決定是否安裝弧形推板3;
又如,所述扇形敲擊板2與導(dǎo)柱1異側(cè)表面的最低處設(shè)置有弧形配重塊4,且弧形配重塊4的外輪廓線與扇形敲擊板2的弧形輪廓線重合,從而便于擊碎結(jié)晶;
進(jìn)一步的,所述扇形敲擊板2上設(shè)置有卡槽,所述的弧形配重塊4通過(guò)該卡槽設(shè)置在扇形敲擊板2上,從而根據(jù)需要決定是否安裝弧形推板3;
最后,所述導(dǎo)柱1和扇形敲擊板2的材質(zhì)為表面經(jīng)過(guò)拋光處理的不銹鋼。