技術(shù)編號(hào)：12262267
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及到單晶硅片生產(chǎn)領(lǐng)域用到的倒片器，具體的說是一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝。背景技術(shù)背封工藝是硅拋光片加工工序中非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。主要是采用低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)設(shè)備在硅基片上淀積SiO2薄膜、Poly-Si多晶硅、Si3N4薄膜的一種重要工藝。我們?cè)谥負(fù)焦杵趁嫔L一層SiO2薄膜是和背損傷工藝同時(shí)作用，主要是起到封閉雜質(zhì)的作用。在整個(gè)工藝過程中需要把由四氟片盒裝載的潔凈硅基片搬運(yùn)到石英舟內(nèi)，然后再進(jìn)爐進(jìn)行背面長膜。在這個(gè)過程中為了避免人為的操作出現(xiàn)硅基片的沾污、擦傷和邊...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。