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水洗尾氣處理器的制作方法

文檔序號(hào):12262262閱讀:1170來源:國(guó)知局
水洗尾氣處理器的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及泛半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種水洗尾氣處理器。



背景技術(shù):

半導(dǎo)體、液晶面板、光伏太陽(yáng)能等泛半導(dǎo)體制造行業(yè),在產(chǎn)品生產(chǎn)制造過程中,會(huì)產(chǎn)生多種溶于水的有毒有害工業(yè)廢氣,目前通常是通過水洗尾氣處理器來處理此類廢氣,使氣體中的大氣污染物濃度值滿足相關(guān)法律法規(guī)的要求,然后再排放到大氣。

一種典型的水洗尾氣處理器中,包括多層水洗倉(cāng),能夠進(jìn)行多次清洗,然而,此種水洗尾氣處理器的氣體通道是直的,可以設(shè)置的水洗倉(cāng)的層數(shù)會(huì)受到空間限制。

因此,如何在保證水洗效果的同時(shí)減小水洗尾氣處理器受到的空間限制,是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

有鑒于此,本實(shí)用新型的目的是提供一種水洗尾氣處理器,能夠在保證水洗效果的同時(shí)減小水洗尾氣處理器受到的空間限制。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:

一種水洗尾氣處理器,包括設(shè)于殼體內(nèi)的倉(cāng)室,所述倉(cāng)室為至少三個(gè),所述倉(cāng)室之間設(shè)有隔板,所述隔板形成折返的氣體通道并依次連通所述倉(cāng)室,第一個(gè)所述倉(cāng)室為進(jìn)氣倉(cāng),其余所述倉(cāng)室為水洗倉(cāng),每個(gè)所述水洗倉(cāng)的上側(cè)設(shè)有噴淋裝置,每個(gè)所述水洗倉(cāng)內(nèi)設(shè)有填料。

優(yōu)選地,所述倉(cāng)室按預(yù)設(shè)方向依次設(shè)置,且所述氣體通道為上下折返氣體通道。

優(yōu)選地,所述水洗倉(cāng)包括一級(jí)水洗倉(cāng)和二級(jí)水洗倉(cāng),所述一級(jí)水洗倉(cāng)設(shè)于所述進(jìn)氣倉(cāng)與所述二級(jí)水洗倉(cāng)之間,所述一級(jí)水洗倉(cāng)的所述噴淋裝置接通用于接入外界水源的進(jìn)水管,所述水洗倉(cāng)的下側(cè)設(shè)有用于儲(chǔ)存所述一級(jí)水洗倉(cāng)水洗氣體后的水的儲(chǔ)水倉(cāng),所述儲(chǔ)水倉(cāng)內(nèi)設(shè)有用于將所述儲(chǔ)水倉(cāng)中的水抽至所述二級(jí)水洗倉(cāng)的所述噴淋裝置的循環(huán)泵。

優(yōu)選地,所述二級(jí)水洗倉(cāng)包括至少三個(gè)所述水洗倉(cāng)。

優(yōu)選地,所述進(jìn)水管上設(shè)有流量開關(guān),所述流量開關(guān)連接用于提示無進(jìn)水或進(jìn)水量不足的報(bào)警裝置。

優(yōu)選地,最后一個(gè)所述水洗倉(cāng)還連接有干燥倉(cāng),排氣口設(shè)于所述干燥倉(cāng),所述干燥倉(cāng)中設(shè)有填料。

優(yōu)選地,進(jìn)氣口和所述排氣口均設(shè)有負(fù)壓表。

優(yōu)選地,所述進(jìn)氣倉(cāng)上設(shè)有用于氮?dú)膺M(jìn)入的進(jìn)氮?dú)饪?,所述進(jìn)氮?dú)饪谠O(shè)有用于殼體內(nèi)惰性保護(hù)的浮子流量計(jì)。

優(yōu)選地,所述殼體的底部設(shè)有用于液體泄漏報(bào)警的接近開關(guān)。

優(yōu)選地,所述填料為鮑爾環(huán)。

本實(shí)用新型提供的水洗尾氣處理器包括設(shè)于殼體內(nèi)的倉(cāng)室,倉(cāng)室為至少三個(gè),倉(cāng)室之間設(shè)有隔板,隔板形成折返的氣體通道并依次連通倉(cāng)室,第一個(gè)倉(cāng)室為進(jìn)氣倉(cāng),其余倉(cāng)室為水洗倉(cāng),每個(gè)水洗倉(cāng)的上側(cè)設(shè)有噴淋裝置,每個(gè)水洗倉(cāng)內(nèi)設(shè)有填料。

在進(jìn)行水洗時(shí),尾氣由進(jìn)氣倉(cāng)進(jìn)入,按照氣體通道依次經(jīng)過每一個(gè)水洗倉(cāng),噴淋裝置進(jìn)行噴水,以便對(duì)尾氣進(jìn)行水洗凈化,同時(shí),被水淋濕的填料可以有效增大氣液接觸面積,使尾氣中的有害氣體溶解在水里。

可見,此種水洗尾氣處理器通過折返的氣體通道的設(shè)置,充分利用了殼體內(nèi)的空間,使有限空間中用于水洗的氣體通道最長(zhǎng)化,即使在殼體較小時(shí)也可對(duì)尾氣進(jìn)行充分連續(xù)水洗凈化,減小了水洗尾氣處理器受到的空間限制;同時(shí),至少三個(gè)倉(cāng)室之間的折返通道以及填料的設(shè)置可以保證水與尾氣的接觸時(shí)間較久,尾氣中的有害氣體能夠較充分地溶解,以保證水洗凈化的效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的剖視圖;

圖2為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的俯視圖。

圖1至圖2中,1為進(jìn)氣口,2為隔板,3為四次水洗倉(cāng),4為三次水洗倉(cāng),5為補(bǔ)氣控制閥,6為二次水洗倉(cāng),7為一次水洗倉(cāng),8為進(jìn)氣倉(cāng),9為補(bǔ)氣管路,10為檢修口,11為殼體,12為液位開關(guān),13為流量開關(guān),14為填料,15為干燥倉(cāng),16為噴淋裝置,17為補(bǔ)氣球閥,18為排氣口,19為循環(huán)泵,20為負(fù)壓壓力傳感器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型的核心是提供一種水洗尾氣處理器,能夠在保證水洗效果的同時(shí)減小水洗尾氣處理器受到的空間限制。

請(qǐng)參考圖1和圖2,圖1為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的剖視圖;圖2為本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器具體實(shí)施例的俯視圖。

本實(shí)用新型所提供水洗尾氣處理器的一種具體實(shí)施例中,包括設(shè)于殼體11內(nèi)的倉(cāng)室,倉(cāng)室為至少三個(gè),倉(cāng)室之間設(shè)有隔板2,隔板2形成折返的氣體通道并依次連通倉(cāng)室,即一個(gè)倉(cāng)室內(nèi)氣體的流動(dòng)方向與前一個(gè)或后一個(gè)倉(cāng)室內(nèi)氣體的流動(dòng)方向相反,且一個(gè)倉(cāng)室的進(jìn)氣側(cè)只連通一個(gè)倉(cāng)室,而出氣側(cè)也只連通一個(gè)倉(cāng)室,其中,第一個(gè)倉(cāng)室為進(jìn)氣倉(cāng)8,而其余的倉(cāng)室為水洗倉(cāng),每個(gè)水洗倉(cāng)的上側(cè)設(shè)有噴淋裝置16,每個(gè)水洗倉(cāng)內(nèi)設(shè)有填料14。其中,第一個(gè)倉(cāng)室指的是氣體最先進(jìn)入的倉(cāng)室。

在進(jìn)行水洗時(shí),尾氣由進(jìn)氣倉(cāng)8進(jìn)入,按照氣體通道依次經(jīng)過每一個(gè)水洗倉(cāng),噴淋裝置16進(jìn)行噴水,以便對(duì)尾氣進(jìn)行水洗凈化,同時(shí),被水淋濕的填料14可以有效增大氣液接觸面積,使尾氣中的有害氣體溶解在水里。

可見,此種水洗尾氣處理器通過折返的氣體通道的設(shè)置,充分利用了殼體11內(nèi)的空間,使有限空間中用于水洗的氣體通道最長(zhǎng)化,即使在殼體11較小時(shí)也可對(duì)尾氣進(jìn)行充分連續(xù)水洗凈化,減小了水洗尾氣處理器受到的空間限制;同時(shí),至少三個(gè)倉(cāng)室之間的折返通道以及填料14的設(shè)置可以保證水與尾氣的接觸時(shí)間較久,尾氣中的有害氣體能夠較充分地溶解,以保證水洗凈化的效果。

上述實(shí)施例中,倉(cāng)室可以按預(yù)設(shè)方向依次設(shè)置,預(yù)設(shè)方向可以為殼體11的長(zhǎng)度方向、殼體11的寬度方向或者其他方向,且氣體通道為上下折返氣體通道。也就是說,一個(gè)倉(cāng)室通過一個(gè)上邊緣、左邊緣和右邊緣均與殼體11密封且下邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成下側(cè)氣體通道,且通過另一個(gè)下邊緣、左邊緣和右邊緣均與殼體11密封且上邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成上側(cè)氣體通道,在水洗時(shí),一個(gè)水洗倉(cāng)中的氣體流向與水流方向相同,相鄰的上一個(gè)或者下一個(gè)水洗倉(cāng)中的氣體流向與水流方向相反,有利于提高水洗效果。當(dāng)然,氣體通道也可以設(shè)置為左右折返氣體通道,即一個(gè)倉(cāng)室通過一個(gè)上邊緣、下邊緣以及上下邊緣之間的右邊緣均與殼體11密封連接而左邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成左側(cè)氣體通道,而通過一個(gè)上邊緣、下邊緣以及上下邊緣之間的左邊緣均與殼體11密封連接而右邊緣與殼體11隔斷的隔板2形成右側(cè)氣體通道,以實(shí)現(xiàn)氣體折返流動(dòng),當(dāng)然,折返氣體通道的設(shè)置方式不限于此。

上述各個(gè)實(shí)施例中,水洗倉(cāng)具體可以包括設(shè)于一級(jí)水洗倉(cāng)和二級(jí)水洗倉(cāng),一級(jí)、二級(jí)是根據(jù)噴淋裝置16的水源而定的,每級(jí)水洗倉(cāng)的數(shù)量可以根據(jù)需要設(shè)定,一級(jí)水洗倉(cāng)設(shè)于進(jìn)氣倉(cāng)8與二級(jí)水洗倉(cāng)之間,一級(jí)水洗倉(cāng)的噴淋裝置16接通用于接入外界水源的進(jìn)水管,水洗倉(cāng)的下側(cè)設(shè)有用于儲(chǔ)存一級(jí)水洗倉(cāng)水洗氣體后的水的儲(chǔ)水倉(cāng),儲(chǔ)水倉(cāng)內(nèi)設(shè)有用于將儲(chǔ)水倉(cāng)中的水抽至二級(jí)水洗倉(cāng)的噴淋裝置16的循環(huán)泵19,循環(huán)泵19可以使儲(chǔ)水倉(cāng)中的水循環(huán)流動(dòng)。尾氣由進(jìn)氣倉(cāng)8依次流經(jīng)一級(jí)水洗倉(cāng)和二級(jí)水洗倉(cāng),在一級(jí)水洗倉(cāng)中進(jìn)行第一級(jí)預(yù)處理,水流向儲(chǔ)水倉(cāng),儲(chǔ)水倉(cāng)將儲(chǔ)存的水通過循環(huán)泵19輸送至每個(gè)二級(jí)水洗倉(cāng)的噴頭,并在二級(jí)水洗倉(cāng)中進(jìn)行至少一次水洗,有利于充分利用水資源,減少水用量。當(dāng)然,噴淋裝置16的水源設(shè)置不限于此。

上述各個(gè)實(shí)施例中,二級(jí)水洗倉(cāng)具體可以包括至少三個(gè)水洗倉(cāng),每個(gè)二級(jí)水洗倉(cāng)的水均來自儲(chǔ)水倉(cāng),尾氣可以依次經(jīng)過每個(gè)水洗倉(cāng)進(jìn)行多次水洗,使流經(jīng)的工藝尾氣和水充分接觸溶解,有效去除尾氣中溶于水的有害氣體,有利于徹底水洗凈化尾氣。以設(shè)置一個(gè)一級(jí)水洗倉(cāng)、三個(gè)二級(jí)水洗倉(cāng)為例,一級(jí)水洗倉(cāng)為一次水洗倉(cāng)7,二級(jí)水洗倉(cāng)依次為二次水洗倉(cāng)6、三次水洗倉(cāng)4和四次水洗倉(cāng)3,尾氣依次經(jīng)過一次水洗倉(cāng)7、二次水洗倉(cāng)6、三次水洗倉(cāng)4和四次水洗倉(cāng)3進(jìn)行四次水洗。當(dāng)然,二級(jí)水洗倉(cāng)的數(shù)量設(shè)置不限于此。

上述各個(gè)實(shí)施例中,進(jìn)水管上可以設(shè)有流量開關(guān)13,流量開關(guān)13連接用于提示無進(jìn)水或進(jìn)水量不足的報(bào)警裝置,當(dāng)無進(jìn)水或進(jìn)水量不足時(shí)給出報(bào)警信號(hào),使進(jìn)水量達(dá)到要求,保證噴淋裝置16的噴淋全覆蓋。具體地,進(jìn)水管上可以設(shè)置浮子流量計(jì)來調(diào)節(jié)水量,設(shè)置方便且價(jià)格低廉。

上述各個(gè)實(shí)施例中,最后一個(gè)水洗倉(cāng)還連接有干燥倉(cāng)15,水洗后的尾氣從最后一個(gè)水洗倉(cāng)流出后進(jìn)入干燥倉(cāng)15干燥,排氣口18設(shè)于干燥倉(cāng)15,干燥倉(cāng)15中設(shè)有填料14,使粘附在氣體表面的水霧微粒在通過填料14縫隙時(shí)被截留下來,從而保證排出殼體11的尾氣較干燥,以降低對(duì)水洗尾氣處理器后面的排風(fēng)管道的影響。

上述各個(gè)實(shí)施例中,殼體11的進(jìn)氣口1的排氣口18可以均設(shè)有負(fù)壓表,從而可以實(shí)時(shí)顯示進(jìn)氣口1和排氣口18的壓力差,便于控制。

上述各個(gè)實(shí)施例中,進(jìn)氣倉(cāng)8上可以設(shè)有用于氮?dú)膺M(jìn)入的進(jìn)氮?dú)饪?,進(jìn)氮?dú)饪谠O(shè)有用于殼體11內(nèi)惰性保護(hù)的浮子流量計(jì)。根據(jù)進(jìn)氣口1的負(fù)壓表顯示值,控制浮子流量計(jì)并調(diào)節(jié)進(jìn)入進(jìn)氣倉(cāng)8的氮?dú)饬髁?,從而?duì)殼體11內(nèi)的空氣進(jìn)行有效置換,確保殼體11內(nèi)惰性環(huán)境,使殼體11中反應(yīng)安全;同時(shí),氮?dú)獾耐ㄈ肟梢詫?duì)工藝尾氣進(jìn)行適量稀釋和吹掃,并根據(jù)進(jìn)氣倉(cāng)8安裝的負(fù)壓壓力傳感器20的負(fù)壓值來自動(dòng)控制氮?dú)膺M(jìn)氣閥的啟閉。

上述各個(gè)實(shí)施例中,殼體11的底部可以設(shè)置有用于液體泄漏報(bào)警的接近開關(guān),以保證水洗的安全性,便于及時(shí)維修。

上述各個(gè)實(shí)施例中,填料14具體可以為鮑爾環(huán),應(yīng)用較廣,便于選用。當(dāng)然,填料14也可以為階梯環(huán)或者其他填料14。

上述各個(gè)實(shí)施例中,儲(chǔ)水倉(cāng)可以安裝三個(gè)液位開關(guān)12,通過殼體11內(nèi)部的出水口以及底部的自動(dòng)排水閥,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)儲(chǔ)水倉(cāng)的液位的有效控制。

上述各個(gè)實(shí)施例中,殼體11中可以設(shè)置補(bǔ)氣控制閥5、補(bǔ)氣管路9以及補(bǔ)氣球閥17來對(duì)殼體11內(nèi)的氣體進(jìn)行調(diào)控。

上述各個(gè)實(shí)施例中,可以上還可以設(shè)置檢修口10,便于殼體11內(nèi)部各個(gè)部件的維修。

需要說明的是,在本實(shí)用新型的描述中,上、下、左、右等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。

以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的水洗尾氣處理器進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下,還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾,這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。

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