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一種巴條類半導(dǎo)體激光器的制作方法

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一種巴條類半導(dǎo)體激光器的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域,尤其涉及一種巴條類半導(dǎo)體激光器。



背景技術(shù):

目前市場(chǎng)上大量應(yīng)用的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)如圖1所示。芯片前端、匹配層前端與熱沉前端平齊封裝,整個(gè)結(jié)構(gòu)中需要將熱沉、匹配層和芯片鍵合在一起,因此需要兩層焊料來(lái)實(shí)現(xiàn);這樣,鍵合質(zhì)量就成為影響半導(dǎo)體激光器輸出性能指標(biāo)的關(guān)鍵因素。

目前除了應(yīng)用高精度探傷設(shè)備來(lái)探測(cè)鍵合界面的缺陷以外,還有一個(gè)方法就是在顯微鏡下觀察焊料的形貌及溢出情況:如果焊料無(wú)溢出,且在顯微鏡下觀察到兩個(gè)界面層之間有縫隙,則說(shuō)明鍵合效果不理想;反之,焊料溢出情況較好,且焊料熔化顏色、光澤度較好,則說(shuō)明鍵合效果理想。

目前,現(xiàn)有半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)存在的不足主要包括:

第一,鍵合界面平齊結(jié)構(gòu)很容易引起焊料溢出;

雖然根據(jù)焊料溢出情況可以判斷半導(dǎo)體激光器的鍵合質(zhì)量是否良好,但是焊料的過(guò)分溢出也會(huì)產(chǎn)生很大的負(fù)面作用,這主要與半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品的應(yīng)用有關(guān)。目前,超過(guò)90%的半導(dǎo)體激光器在使用時(shí)都需要在芯片前端粘接一個(gè)光學(xué)透鏡,以此來(lái)獲得更佳的輸出光斑尺寸和形狀;但是溢出焊料的高度會(huì)直接影響光學(xué)透鏡的粘接。

第二,目前,一般將半導(dǎo)體激光器的熱沉前端面加工為超低表面粗糙度的平面,通常級(jí)別為小于1個(gè)微米。但是其加工的表面為無(wú)紋理結(jié)構(gòu),非常不利于阻止焊料向下流動(dòng),焊料向下流動(dòng)越厲害,焊料溢出越嚴(yán)重。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

有鑒于此,本實(shí)用新型提供一種巴條類半導(dǎo)體激光器,能夠有效地阻止溢出焊料繼續(xù)流動(dòng),進(jìn)一步為提高半導(dǎo)體激光器的可靠性提供了保證。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:

一種巴條類半導(dǎo)體激光器,所述半導(dǎo)體激光器包括:激光器芯片、基礎(chǔ)熱沉;其中,通過(guò)焊料將所述激光器芯片以及基礎(chǔ)熱沉鍵合到一起,所述基礎(chǔ)熱沉前端面設(shè)置有紋理結(jié)構(gòu)。

上述方案中,所述半導(dǎo)體激光器還包括:匹配層;所述匹配層的熱膨脹系數(shù)與激光器芯片的熱膨脹系數(shù)相匹配。

上述方案中,所述將激光器芯片以及基礎(chǔ)熱沉鍵合到一起,包括:將所述激光器芯片前端、所述匹配層前端、以及所述基礎(chǔ)熱沉前端平齊進(jìn)行鍵合。

上述方案中,所述紋理結(jié)構(gòu)包括:橫向紋理、和/或交錯(cuò)紋理、和/或不規(guī)則紋理。

由于本實(shí)用新型提供的新型巴條類半導(dǎo)體激光器在其基礎(chǔ)熱沉的前端面上設(shè)置了紋理結(jié)構(gòu),因此在進(jìn)行鍵合時(shí)能夠有效地阻止溢出焊料繼續(xù)向下流動(dòng),降低了半導(dǎo)體激光器封裝失效風(fēng)險(xiǎn),也為提高半導(dǎo)體激光器的可靠性提供了保證。

附圖說(shuō)明

圖1為傳統(tǒng)半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為新型半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明:1為激光器芯片,2為匹配層,3為基礎(chǔ)熱沉,4為焊料層,5為紋理結(jié)構(gòu),6為溢出焊料。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型提供一種巴條類半導(dǎo)體激光器,能夠有效地阻止溢出焊料繼續(xù)流動(dòng),降低了半導(dǎo)體激光器封裝失效的風(fēng)險(xiǎn),也為提高半導(dǎo)體激光器的可靠性提供了保證。

圖2為新型半導(dǎo)體激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示,所述新型半導(dǎo)體激光器包括:激光器芯片1、基礎(chǔ)熱沉3;通過(guò)焊料層4將所述激光器芯片1以及基礎(chǔ)熱沉3鍵合到一起。進(jìn)一步的,所述半導(dǎo)體激光器還可以包括:匹配層2,所述匹配層2主要用于在溫度變化時(shí),其自身的熱膨脹系數(shù)與激光器芯片1的熱膨脹系數(shù)相匹配;并且在鍵合時(shí),通過(guò)焊料將所述激光器芯片前端、所述匹配層前端、以及所述基礎(chǔ)熱沉前端平齊進(jìn)行鍵合。

本實(shí)用新型所涉及的基礎(chǔ)熱沉的前端面還設(shè)置紋理結(jié)構(gòu)5,所述紋理結(jié)構(gòu)5的作用主要是阻止溢出焊料繼續(xù)向下流動(dòng),這使得半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品在應(yīng)用時(shí)光學(xué)透鏡的粘接更加方便可靠;需要說(shuō)明的是,所述紋理結(jié)構(gòu)6可以包括但不限于:橫向紋理、和/或交錯(cuò)紋理、和/或不規(guī)則紋理;這里所說(shuō)的橫向紋理可以是橫向直線或曲線等,所述交錯(cuò)紋理可以是交錯(cuò)的直線或曲線等,所述不規(guī)則紋理可以為三角形、四邊形、多邊形、園、橢圓等,只要在橫向上能阻止溢出焊料往下流動(dòng)的紋理都可以,并且,該紋理在進(jìn)行機(jī)械加工時(shí)也非常簡(jiǎn)單,只需稍微做一些加工方式的改變就可以滿足要求,且對(duì)成本基本無(wú)影響。

如圖2所示,本實(shí)用新型以所述紋理結(jié)構(gòu)6為直線進(jìn)行舉例說(shuō)明,但這并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。

以上所述,僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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