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真空?半導(dǎo)體混合型光電探測器的制作方法

文檔序號:12725465閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種真空?半導(dǎo)體混合型光電探測器,包括輸入光窗、光電陰極、陶瓷環(huán)、聚焦裝置、半導(dǎo)體探測器、陽極底座和信號輸出裝置;光電陰極固定在輸入光窗上,半導(dǎo)體探測器固定在信號輸出裝置上,信號輸出裝置固定在陽極底座上,光電陰極和半導(dǎo)體探測器的中間設(shè)置有聚焦裝置,輸入光窗與聚焦裝置之間以及聚焦裝置與陽極底座之間都通過陶瓷環(huán)控制距離并實現(xiàn)絕緣。本發(fā)明的混合型光電探測器將真空器件與半導(dǎo)體器件有機結(jié)合,具有探測光敏面積大、響應(yīng)光譜靈活、響應(yīng)速度快、動態(tài)范圍大、增益高、暗計數(shù)低等優(yōu)點,并且加工簡單、裝配方便、成本低、可靠性高。

技術(shù)研發(fā)人員:徐鵬霄;趙文錦;王霄;唐家業(yè);周劍明;唐光華;戴麗英;姚勇;汪述猛
受保護的技術(shù)使用者:中國電子科技集團公司第五十五研究所
文檔號碼:201611178930
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.19
技術(shù)公布日:2017.06.20

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