專利名稱：用于半導(dǎo)體制造中的真空吸嘴裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體制造中的真空吸嘴裝置，特別涉及-種橡膠真空吸嘴裝置。
背景技術(shù)：
真空吸嘴在半導(dǎo)體制造中的作用是利用真空把小尺寸的芯片(如微米
級(jí)的LED芯片)吸起來(lái)，并且通過(guò)擺臂的移動(dòng)放到指定的位置。真空吸嘴 被大量應(yīng)用于芯片分類機(jī)，倒裝機(jī)以及一些封裝設(shè)備中，但是在使用過(guò)程 在，常常會(huì)有雜質(zhì)堵塞在吸嘴孔，故真空吸嘴需要用壓縮空氣定期清理。
現(xiàn)在用的真空吸嘴主要有兩種 一種是電木吸嘴，這種吸嘴直接安裝 在擺臂上，通過(guò)螺絲固定，其缺點(diǎn)是材質(zhì)較硬，容易在和芯片接觸時(shí)對(duì)芯 片表面造成不可回復(fù)的損傷另一種是橡膠吸嘴，其與吸嘴桿組合使用， 與電木吸嘴相比，它利用了具有柔軟質(zhì)地的橡膠接觸芯片表面，緩沖了其 與芯片表面接觸瞬間的作用力，從而不會(huì)對(duì)芯片表面造成損傷。
但是現(xiàn)有的橡膠吸嘴是直接套接在吸嘴桿上，沒(méi)有添加鎖緊裝置，因 此在需要用壓縮空氣吹吸嘴孔進(jìn)行橡膠吸嘴的清理時(shí)，由于被堵塞的吸嘴 孔排氣量很小，導(dǎo)致吸嘴內(nèi)部氣壓較大，此時(shí)就會(huì)出現(xiàn)吸嘴位置發(fā)生移動(dòng) 甚至被吹掉的現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種用于半導(dǎo)體制造中,橡膠吸 嘴和吸嘴桿能卡合裝設(shè)的真空橡膠吸嘴裝置。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的真空吸嘴裝置，采用一橡膠吸嘴 密封地套接到一吸嘴桿上裝配而成，吸嘴桿的一端連接擺臂，另一端伸向 橡膠吸嘴內(nèi)形成套接，伸向橡膠吸嘴內(nèi)的吸嘴桿部分頂端有一凸臺(tái)，其下
為一圓柱體，圓柱體側(cè)面對(duì)稱設(shè)置有兩突起；橡膠吸嘴內(nèi)設(shè)有供圓柱體密 封容置的通孔，在通孔內(nèi)壁兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有引導(dǎo)所述突起的兩凹槽，橡膠 吸嘴內(nèi)的通孔和吸嘴桿的圓柱體相配合，吸嘴桿上的突起和橡膠吸嘴上的 凹槽在徑向相配合，且在橡膠吸嘴內(nèi)凹槽下端設(shè)有一容置突起的圓柱孔， 該圓柱孔的半徑為吸嘴桿上圓柱體的半徑和橡膠吸嘴上的凹槽的深度之 和，圓柱孔下有--用于密封容置凸臺(tái)的空間裝設(shè)時(shí)，將吸嘴桿的套接一 端上突起對(duì)準(zhǔn)橡膠吸嘴內(nèi)的凹槽，并順著凹槽將吸嘴桿推進(jìn)橡膠吸嘴內(nèi)直 至兩者完全吻合，最后旋轉(zhuǎn)橡膠吸嘴使吸嘴桿上的突起卡合在橡膠吸嘴上 的圓柱孔中。
本實(shí)用新型，通過(guò)在吸嘴桿上的設(shè)置突起和橡膠吸嘴內(nèi)設(shè)置引導(dǎo)該突 起的溝槽，并將吸嘴桿上的突起卡合在橡膠吸嘴的溝槽下的圓柱孔中，使 橡膠吸嘴和吸嘴桿不易分開。另外，吸嘴桿和橡膠吸嘴采用過(guò)盈配合，使 橡膠吸嘴和吸嘴桿能密封配合，延長(zhǎng)裝置的使用時(shí)間。
以下結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的吸嘴桿立體圖； 圖2是本實(shí)用新型的吸嘴桿側(cè)視圖； 圖3是圖2的B-B截面示意圖4是本實(shí)用新型的橡膠吸嘴立體圖5是本實(shí)用新型的橡膠吸嘴側(cè)視圖6是沿圖5的A-A截面示意圖圖7是本實(shí)用新型的吸嘴裝置組裝后側(cè)視圖8是本實(shí)用新型的吸嘴裝置旋轉(zhuǎn)前C-C截面示意圖9是本實(shí)用新型的吸嘴裝置旋轉(zhuǎn)后C-C截面示意圖。
具體實(shí)施方式
圖1至圖3為本實(shí)用新型的吸嘴桿示意圖，吸嘴桿可分為四段直徑不 同的同軸圓柱體形狀， 一端為與擺臂連接，另一端為與橡膠吸嘴套接，圖 l至圖3所示吸嘴桿下端與擺臂連接，即圓柱體34，為該吸嘴裝置與設(shè)備 擺臂連接部分，圓柱體34內(nèi)部有一通孔36，為氣體通道；上端與橡膠吸 嘴套接部分，其頂端有一凸臺(tái)30,凸臺(tái)30下為一圓柱體32和另一圓柱 體33。圓柱體32側(cè)面對(duì)稱設(shè)置有兩突起35，該兩突起可位于圓柱體32 與凸臺(tái)連接一端，使突起35的平面和圓柱體32與凸臺(tái)30之間的平面對(duì) 齊。
圖4至圖6為本實(shí)用新型的橡膠吸嘴示意圖，如圖所示，上端圓柱體 部分10為與吸嘴桿套接部分，其長(zhǎng)度為吸嘴桿上圓柱體32和凸臺(tái)30的 長(zhǎng)度之和，下端圓錐體部分20為與芯片接觸部分。圓柱體部分10的內(nèi)部 有通孔，該通孔由三個(gè)直徑不同的圓柱孔組成，從上到下依次為圓柱孔 11、圓柱孔12和圓柱孔13。在圓柱孔11的側(cè)壁兩邊相對(duì)應(yīng)位置各設(shè)有 一溝槽15，引導(dǎo)圓柱體32上的兩突起35,溝槽15的長(zhǎng)度由突起35在圓 柱體32上的位置決定，溝槽15下端連接有圓柱孔12，其半徑為圓柱孔
11的半徑和溝槽15的深度之和，圓柱孔11、兩溝槽15和圓柱孔12與 吸嘴桿上圓柱體32和圓柱體32上的兩突起35相配合,圓柱孔12的高度 與突起35的高度相同，圓柱孔12為容置安裝后的圓柱體32上的突起35 和突起35所在的部分圓柱體32，偉突起35卡合在圓柱孔12中，以鎖緊 吸嘴。而圓柱孔13與吸嘴桿上凸臺(tái)30的相配合，為了防止工作時(shí)空氣進(jìn) 入橡膠吸嘴，起到密封的作用。圓錐體20部分，有一個(gè)直接吸取芯片的 小孔14,此孔的直徑大小可根據(jù)芯片尺寸來(lái)具體設(shè)計(jì)， 一般與芯片尺寸 的大小成正比關(guān)系。
圖7至圖9給出了本實(shí)用新型的裝配示意圖。將吸嘴桿上的兩突起 35對(duì)準(zhǔn)橡膠吸嘴內(nèi)的溝槽15和圓柱體11，將吸嘴桿順著溝槽15推進(jìn)橡 膠吸嘴內(nèi)直至兩者高度完全吻合(見圖8),最后旋轉(zhuǎn)橡膠吸嘴使兩突起 35順著圓柱孔12旋轉(zhuǎn)，使兩突起35和圓柱孔12在垂直方向上相吻合(見 圖9)。本實(shí)用新型的橡膠吸嘴裝置利用橡膠吸嘴內(nèi)的圓柱孔12和吸嘴桿 上的兩突起35相吻合將兩者鎖緊，避免了在對(duì)橡膠吸嘴進(jìn)行清理過(guò)程中 帶來(lái)的吸嘴脫落問(wèn)題。本實(shí)用新型的裝置在具體制備過(guò)程中，為達(dá)到一個(gè) 較好的密封效果，可通過(guò)采用過(guò)盈配合來(lái)實(shí)現(xiàn)。
本實(shí)用新型的吸嘴桿上的兩突起35，也可對(duì)稱地分布在圓柱體32側(cè) 面的任一高度位置，同時(shí)將溝槽的長(zhǎng)度作相應(yīng)變化，橡膠吸嘴上用于容置 突起35的圓柱孔12設(shè)置在相對(duì)應(yīng)的高度位置，而在圓柱孔12下加設(shè)一 個(gè)直徑與圓柱孔11相同的圓柱孔，具體尺寸取決于突起的位置，使橡膠 吸嘴和吸嘴桿能密封裝配。本實(shí)用新型的吸嘴桿的圓柱體33、圓柱體32 和凸臺(tái)30內(nèi)有通孔31與橡膠吸嘴內(nèi)的通孔14和通孔36相連通。
權(quán)利要求1、一種用于半導(dǎo)體制造中的真空吸嘴裝置，其通過(guò)一橡膠吸嘴密封地套接到一吸嘴桿上裝配而成，所述吸嘴桿的一端連接擺臂，另一端伸向橡膠吸嘴內(nèi)形成密封套接，所述橡膠吸嘴一端為圓錐體部分，另一端為與所述吸嘴桿套接的圓柱體部分，其特征在于所述伸向橡膠吸嘴內(nèi)的吸嘴桿部分頂端有一凸臺(tái)(30)，其下為一圓柱體(32)，所述圓柱體側(cè)面對(duì)稱設(shè)置有兩突起(35)，所述橡膠吸嘴內(nèi)設(shè)有供所述圓柱體(32)密封容置的圓柱孔(11)，在所述圓柱孔(11)的兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有引導(dǎo)所述突起的兩凹槽(15)，所述圓柱孔(11)和所述圓柱體(32)相配合，所述突起(35)和所述凹槽(15)在徑向相配合，且在橡膠吸嘴內(nèi)所述凹槽下端設(shè)有一圓柱孔(12)，所述圓柱孔(12)的半徑為所述圓柱孔(11)的半徑和所述一個(gè)凹槽(15)的深度之和，用于容置所述兩突起(35)和突起所在部分圓柱體(32)，裝設(shè)時(shí)使吸嘴桿上的所述突起(35)卡合在橡膠吸嘴的所述容置突起的圓柱孔(12)中，所述圓柱孔(12)下有一與所述凸臺(tái)(30)相配合的圓柱孔(13)。
2、 按照權(quán)利要求l所述的真空吸嘴裝置，其特征在于所述的突起(35) 呈半圓柱體狀。
3、 按照權(quán)利要求1或2所述的真空吸嘴裝置，其特征在于所述橡膠吸 嘴和吸嘴桿為過(guò)盈配合。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體制造中的真空吸嘴裝置，其通過(guò)一橡膠吸嘴密封地套接到一吸嘴桿上裝配而成，吸嘴桿的一端連接擺臂，另一端伸向橡膠吸嘴內(nèi)形成密封套接，通過(guò)在吸嘴桿上設(shè)兩突起，而在橡膠吸嘴內(nèi)相應(yīng)位置處設(shè)置引導(dǎo)突起的凹槽，及在該凹槽下端設(shè)置容置突起的空間，使突起卡合在這一空間里以鎖緊吸嘴，避免其在清理時(shí)脫落。該真空吸嘴裝置可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件制備過(guò)程中。
文檔編號(hào)H01L21/67GK201060863SQ20072014408
公開日2008年5月14日 申請(qǐng)日期2007年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月29日
發(fā)明者陳偉勇 申請(qǐng)人:上海藍(lán)光科技有限公司