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單片式歧管掩模和基板構思的制作方法

文檔序號:12180230閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明涉及單片式歧管掩模和基板構思。提供了與單片陶瓷基板上定位流體流部件一起使用的部件定位模板或掩模,以及用于這些模板的制造技術。

技術研發(fā)人員:邁克爾·C·凱洛格;安德魯·C·李;克里斯多夫·J·佩納
受保護的技術使用者:朗姆研究公司
文檔號碼:201610788700
技術研發(fā)日:2016.08.31
技術公布日:2017.03.08

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