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一種薄膜封裝的植球工藝的制作方法

文檔序號(hào):12473857閱讀:764來(lái)源:國(guó)知局

本發(fā)明涉及薄膜封裝技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種薄膜封裝的植球工藝。



背景技術(shù):

目前的薄膜封裝技術(shù)在植球過(guò)程中,由于錫球在金屬鍍層上的粘著力不夠,導(dǎo)致在受外力時(shí)容易從金屬層上脫落。錫膏在回流焊過(guò)程中如果不能夠在金屬鍍層上充分融化并形成金屬間合物,并吸附在金屬鍍層,則在固化過(guò)程中錫球和金屬間合物結(jié)合面不夠,導(dǎo)致結(jié)合力變小,容易在受外力情況下,從金屬鍍層上脫落。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對(duì)上述問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種薄膜封裝的植球工藝,通過(guò)改善其中的回流焊過(guò)程,使錫膏在融化狀態(tài)保持更多的時(shí)間,使錫膏和金屬鍍層充分融合,穩(wěn)固形成金屬間合物使得錫球和金屬鍍層的結(jié)合強(qiáng)度更高,同時(shí)增加金屬鍍層的厚度,減少金屬鍍層附件的結(jié)構(gòu)阻擋住錫膏在金屬鍍層上的結(jié)合。

本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣的:一種薄膜封裝的植球工藝,將錫膏印刷到金屬鍍層上,再進(jìn)行回流焊,所述錫膏在回流焊的過(guò)程中熔化形成錫球并與所述金屬鍍層相連接,其特征在于:回流焊包括以下步驟:

a.升溫區(qū)升溫,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以1.5-1.7℃/s的速率上升至175℃-185℃之間;

b.吸熱區(qū)錫膏融化,控制吸熱區(qū)的溫度以0.3-0.4℃/s的速率上升至220℃,保持溫度大于219℃,直至錫膏完全融化處于液化狀態(tài);

c.回流焊區(qū)回流焊接,控制溫度以0.15-0.25℃/s的速率升高至溫度峰值240℃,保持錫膏處在液化狀態(tài)的時(shí)間為120s-160s;

d.冷卻區(qū)冷卻,控制溫度以1.5-1.7℃/s的速率減小,直至溫度減小至80-100℃,停止冷卻。

進(jìn)一步的,步驟B的持續(xù)時(shí)間為至少為90S;

進(jìn)一步的,所述金屬鍍層的厚度至少比金屬鍍層附件的厚度高出3.5um。

進(jìn)一步的,所述步驟d的冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻。

進(jìn)一步的,所述步驟b中控制吸熱區(qū)的溫度不超過(guò)225℃。

進(jìn)一步的,所述錫膏為無(wú)鉛錫膏。

進(jìn)一步的,所述錫膏包含助焊劑

采用本發(fā)明的技術(shù)方案后:在回流焊過(guò)程分成升溫區(qū)升溫、吸熱區(qū)錫膏融化、回流焊區(qū)回流焊接、冷卻區(qū)冷卻四個(gè)步驟,在預(yù)熱區(qū)的加熱過(guò)程中,錫膏被勻速加熱,使得錫膏充分預(yù)熱,也促使錫膏中的助焊劑充分軟化;在升溫區(qū)升溫融化錫膏的過(guò)程中,通過(guò)提高升溫速率,提前升溫至錫膏熔點(diǎn)溫度,延長(zhǎng)錫膏融化為液態(tài)時(shí)間,使錫膏和金屬鍍層充分接觸并吸附在金屬鍍層,確保后續(xù)的錫膏與金屬鍍層的充分結(jié)合;在回流焊區(qū)回流焊接的過(guò)程中,通過(guò)延長(zhǎng)回流焊接時(shí)間,保持錫膏液態(tài)時(shí)間,進(jìn)一步確保錫膏和金屬鍍層充分融合并吸附在金屬鍍層,確保后續(xù)的錫膏與金屬鍍層的結(jié)合強(qiáng)度;使結(jié)合力達(dá)到70cN以上,提高了錫球在晶片上的結(jié)合力,穩(wěn)定了產(chǎn)品性能;冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,冷卻效果好,通過(guò)控制溫度減小的速率,使得冷卻溫度迅速下降,能夠得到更好的焊接質(zhì)量,回流焊接的可靠性高,錫膏不易從金屬鍍層上脫落,降低產(chǎn)品的報(bào)廢率,更有效的控制生產(chǎn)成本;通過(guò)控制金屬鍍層的厚度,減少金屬鍍層附件的結(jié)構(gòu)阻擋住錫膏在金屬鍍層上的接合,進(jìn)一步使得錫球在金屬鍍層上的結(jié)合力度加強(qiáng)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的金屬鍍層和錫球結(jié)合的示意圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1:見(jiàn)圖1,本實(shí)施例的薄膜封裝的植球工藝,將錫膏印刷到金屬鍍層上,錫膏中包含助焊劑,控制金屬鍍層1的厚度為6.5um,金屬鍍層附件3的厚度為3.0um,再進(jìn)行回流焊,所述錫膏在回流焊的過(guò)程中熔化形成錫球2并與金屬鍍層相連接,回流焊包括以下步驟:

a.升溫區(qū)升溫,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以1.5℃/s的速率上升至175℃;

b.吸熱區(qū)錫膏融化,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以0.3℃/s的速率上升至220℃, 保持溫度大于219℃,直至錫膏完全融化處于液化狀態(tài),持續(xù)時(shí)間90s;

c.回流焊區(qū)回流焊接,控制溫度以0.15℃/s的速率升高至溫度峰值240℃,保持錫膏處在液化狀態(tài)的時(shí)間為130s;

d.冷卻區(qū)冷卻,控制溫度以1.5℃/s的速率減小,直至溫度減小至80℃,停止冷卻,冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻。

本實(shí)施方式中的錫膏與金屬鍍層的結(jié)合力達(dá)到70cN。

實(shí)施例2:見(jiàn)圖1,本實(shí)施例的薄膜封裝的植球工藝,將錫膏印刷到金屬鍍層上,錫膏中包含助焊劑,控制金屬鍍層1的厚度為7.5um,金屬鍍層附件3的厚度為3.0um,再進(jìn)行回流焊,錫膏在回流焊的過(guò)程中熔化形成錫球2并與金屬鍍層1相連接,回流焊包括以下步驟:

a.升溫區(qū)升溫,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以1.6℃/s的速率上升至180℃之間;

b.吸熱區(qū)錫膏融化,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以0.35℃/s的速率上升至220℃, 保持溫度大于219℃,直至錫膏完全融化處于液化狀態(tài),持續(xù)時(shí)間100s;

c.回流焊區(qū)回流焊接,控制溫度以0.2℃/s的速率升高至溫度峰值240℃,持錫膏處在融化狀態(tài)的時(shí)間為140s;

d.冷卻區(qū)冷卻,控制溫度以1.6℃/s的速率減小,直至溫度減小至90℃,停止冷卻;

冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻。

本實(shí)施方式中的錫膏與金屬鍍層的結(jié)合力達(dá)到78cN。

實(shí)施例3:見(jiàn)圖1,本實(shí)施例的薄膜封裝的植球工藝,將錫膏印刷到金屬鍍層上,錫膏中包含助焊劑,控制金屬鍍層1的厚度為8.5um,金屬鍍層附件3的厚度為3.0um,再進(jìn)行回流焊,錫膏在回流焊的過(guò)程中熔化形成錫球2并與金屬鍍層1相連接,:回流焊包括以下步驟:

a.升溫區(qū)升溫,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以1.7℃/s的速率上升至185℃;

b.吸熱區(qū)錫膏融化,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以0.4℃/s的速率上升至220℃, 保持溫度大于219℃,直至錫膏完全融化處于液化狀態(tài),持續(xù)時(shí)間110s;

c.回流焊區(qū)回流焊接,控制溫度以0.25℃/s的速率升高至溫度峰值240℃,保持錫膏處在融化狀態(tài)的時(shí)間為150s;

d.冷卻區(qū)冷卻,控制溫度以1.7℃/s的速率減小,直至溫度減小至100℃,停止冷卻;

冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻。

本實(shí)施方式中的錫膏與金屬鍍層的結(jié)合力達(dá)到70cN。

實(shí)施例4:見(jiàn)圖1,本實(shí)施例的薄膜封裝的植球工藝,將錫膏印刷到金屬鍍層上,錫膏中包含助焊劑,控制金屬鍍層1的厚度為8.0um,金屬鍍層附件3的厚度為3.0um,再進(jìn)行回流焊,錫膏在回流焊的過(guò)程中熔化形成錫球2并與金屬鍍層1相連接,:回流焊包括以下步驟:

a.升溫區(qū)升溫,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以1.65℃/s的速率上升至182℃之間;

b.吸熱區(qū)錫膏融化,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以0.38℃/s的速率上升至219℃, 保持溫度大于219℃,直至錫膏完全融化處于液化狀態(tài),持續(xù)時(shí)間95s;

c.回流焊區(qū)回流焊接,控制溫度以0.22℃/s的速率升高至溫度峰值240℃,保持錫膏處在融化狀態(tài)的時(shí)間為145s;

d.冷卻區(qū)冷卻,控制溫度以1.65℃/s的速率減小,直至溫度減小至85℃,停止冷卻;冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻。

本實(shí)施方式中的錫膏與金屬鍍層的結(jié)合力達(dá)到75cN。

實(shí)施例5:見(jiàn)圖1,本實(shí)施例的薄膜封裝的植球工藝,將錫膏印刷到金屬鍍層上,錫膏中包含助焊劑,控制金屬鍍層1的厚度為7.0um,金屬鍍層附件3的厚度為3.0um,再進(jìn)行回流焊,錫膏在回流焊的過(guò)程中熔化形成錫球2并與金屬鍍層1相連接,:回流焊包括以下步驟:

a.升溫區(qū)升溫,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以1.55℃/s的速率上升至178℃之間;

b.吸熱區(qū)錫膏融化,控制預(yù)熱區(qū)的溫度以0.33℃/s的速率上升至219℃, 保持溫度大于219℃,直至錫膏完全融化處于液化狀態(tài),持續(xù)時(shí)間85s;

c.回流焊區(qū)回流焊接,控制溫度以0.18℃/s的速率升高至溫度峰值240℃,保持錫膏處在融化狀態(tài)的時(shí)間為135s;

d.冷卻區(qū)冷卻,控制溫度以1.55℃/s的速率減小,直至溫度減小至80℃,停止冷卻;冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻。

本實(shí)施方式中的錫膏與金屬鍍層的結(jié)合力達(dá)到73cN。

本發(fā)明的薄膜封裝的植球工藝在回流焊過(guò)程分成升溫區(qū)升溫、吸熱區(qū)錫膏浸潤(rùn)、回流焊區(qū)回流焊接、冷卻區(qū)冷卻四個(gè)步驟,在預(yù)熱區(qū)的加熱過(guò)程中,錫膏被勻速加熱,使得錫膏充分預(yù)熱,也促使錫膏中的助焊劑充分軟化;在吸熱區(qū)錫膏浸潤(rùn)的過(guò)程中,通過(guò)提高升溫速率,提前升溫至錫膏熔點(diǎn)溫度,錫膏熔點(diǎn)為219攝氏度,延長(zhǎng)錫膏液態(tài)時(shí)間,使錫膏和金屬鍍層充分融合并浸潤(rùn)在金屬鍍層,確保后續(xù)的錫膏與金屬鍍層的充分結(jié)合;在回流焊區(qū)回流焊接的過(guò)程中,通過(guò)延長(zhǎng)回流焊接時(shí)間,保持峰值溫度一段時(shí)間,進(jìn)一步確保錫膏和金屬鍍層充分融合并形成金屬間合物,吸附在金屬鍍層,確保后續(xù)的錫膏與金屬鍍層的結(jié)合強(qiáng)度;使結(jié)合力達(dá)到70cN以上,提高了錫球在晶片上的結(jié)合力,穩(wěn)定了產(chǎn)品性能;冷卻區(qū)設(shè)置風(fēng)扇,冷卻效果好,通過(guò)控制溫度減小的速率,使得冷卻溫度迅速下降,能夠得到更好的焊接質(zhì)量,回流焊接的可靠性高,錫膏不易從金屬鍍層上脫落,降低產(chǎn)品的報(bào)廢率,更有效的控制生產(chǎn)成本;通過(guò)控制金屬鍍層的厚度,減少金屬鍍層附件的結(jié)構(gòu)阻擋住錫膏在金屬鍍層上的浸潤(rùn),進(jìn)一步使得錫球在金屬鍍層上的結(jié)合力度加強(qiáng)。

本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明精神作舉例說(shuō)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代,但并不會(huì)偏離本發(fā)明的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。

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