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超快透射電鏡系統(tǒng)和用于其的自動采集和圖像批處理方法與流程

文檔序號:12888797閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及超快透射電鏡系統(tǒng)和用于其的自動采集和圖像批處理方法。一種超快透射電子顯微系統(tǒng)包括:激光源,用于產(chǎn)生探測激光和激發(fā)激光;透射電子顯微鏡,包括電子槍、電子加速器和成像器;三維電動位移臺,用于將所述激發(fā)激光引導(dǎo)至所述樣品上;一維電動位移臺,用于改變所述激發(fā)激光的光程;以及控制裝置,通過接口連接到所述激光源、所述透射電子顯微鏡、所述三維電動位移臺和所述一維電動位移臺以控制其操作,所述控制裝置包括:激光電子束共軸模塊,用于使所述激發(fā)激光與所述探測電子束輻照在所述樣品上的同一位置處;自動采集模塊,用于自動采集多張透射電鏡圖像;以及圖像批處理模塊,用于對所采集的多張透射電鏡圖像執(zhí)行批量處理。

技術(shù)研發(fā)人員:李星元;孫帥帥;楊槐馨;田煥芳;李建奇
受保護的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院物理研究所
技術(shù)研發(fā)日:2016.04.28
技術(shù)公布日:2017.11.07
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