技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種控制離子圓形注入的二維掃描裝置，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該裝置包括主控機(jī)、通信接口電路、DSP處理器、FPGA、鍵盤(pán)、兩路高速DAC轉(zhuǎn)換電路、兩路濾波電路、兩路緩沖放大電路和高壓放大電路。兩路高壓放大電路和兩路緩沖放大電路連接，兩路緩沖放大電路和兩路高速DAC連接，F(xiàn)PGA和兩路高速DAC連接，DSP處理器與FPGA連接，主控機(jī)通過(guò)通信接口電路連接DSP處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)通信，啟?？刂坪凸ぷ鳡顟B(tài)指示。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)離子注入晶片的圓形掃描、任意區(qū)域掃描，減少掃描時(shí)間。

技術(shù)研發(fā)人員：劉輝;童雪林;劉光燦;謝明華;熊躍軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長(zhǎng)沙學(xué)院
文檔號(hào)碼：201610184948
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.29
技術(shù)公布日：2017.06.09