本發(fā)明涉及發(fā)出紫外線(xiàn)的高壓水銀燈，特別涉及電弧長(zhǎng)度較短的短弧型放電燈。
背景技術(shù)：
：高壓水銀燈中，電弧長(zhǎng)度較短的構(gòu)造的燈被稱(chēng)作短弧型放電燈。短弧型放電燈能夠輻射高亮度的光，因此被用于廣泛的領(lǐng)域。特別地，中心發(fā)光波長(zhǎng)為365nm的i線(xiàn)燈和436nm的g線(xiàn)燈被用作半導(dǎo)體、液晶，印刷基板等的制造工序中的曝光裝置用光源。在曝光裝置用光源中，短弧型放電燈被裝入光學(xué)系統(tǒng)來(lái)使用，成為縮短了電極間距離的點(diǎn)光源。在短弧型放電燈中封入氙Xe等的稀有氣體或水銀，以得到規(guī)定的分光特性現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)【專(zhuān)利文獻(xiàn)1】日本特開(kāi)2003-223865“放電ランプ用陽(yáng)極電極およびショートアーク放電ランプ”(公開(kāi)日：2003/08/08)申請(qǐng)人：ウシオ電機(jī)株式會(huì)社【專(zhuān)利文獻(xiàn)2】日本特開(kāi)2003-157794“ショートアーク型放電ランプ”(公開(kāi)日：2003/05/30)申請(qǐng)人：ウシオ電機(jī)株式會(huì)社【專(zhuān)利文獻(xiàn)3】日本特開(kāi)2002-117806“ショートアーク放電ランプ”(公開(kāi)日：2002/04/19)申請(qǐng)人：ウシオ電機(jī)株式會(huì)社技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問(wèn)題為了實(shí)現(xiàn)規(guī)定的分光特性和照度，在短弧型放電燈的電極間產(chǎn)生的電弧根據(jù)燈額定輸入、封入物、電極形狀等的不同而變化。如果增大燈負(fù)載從而使電弧變大，則由電弧產(chǎn)生的眩光也變大，與放電管的內(nèi)周管壁接觸而產(chǎn)生局部的應(yīng)變。如果該狀態(tài)持續(xù)，則變形增加，最終可能使放電管破裂。因此，本發(fā)明的目的在于，在短弧型放電燈中，通過(guò)抑制燈放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力的增加來(lái)防止破裂，從而實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽化。用于解決問(wèn)題的手段鑒于上述目，本發(fā)明的一個(gè)方面的短弧型放電燈所使用的陽(yáng)極電極，所述陽(yáng)極電極由圓柱狀的主體部和從該主體部連至前端的錐部構(gòu)成，在電極軸線(xiàn)方向上觀(guān)察，在所述錐部的表面上形成有至少2處的槽形成部和它們之間的平坦部。進(jìn)而，也可以是，在上述短弧型放電燈所使用的陽(yáng)極電極中，所述槽形成部的形態(tài)為在所述錐部的表面上以電極軸線(xiàn)為中心而形成的如下的槽形成部中的任意一方：圓環(huán)狀的槽形成部；形成為螺旋狀的槽形成部；以及在中途結(jié)束的多個(gè)槽形成部。進(jìn)而，也可以是，在上述短弧型放電燈所使用的陽(yáng)極電極中，所述槽形成部是多個(gè)細(xì)微槽的集合。進(jìn)而，也可以是，在上述短弧型放電燈所使用的陽(yáng)極電極中，所述細(xì)微槽的深度Dg在0.3mm≤Dg≤0.9mm的范圍內(nèi)。進(jìn)而，也可以是，在上述短弧型放電燈所使用的陽(yáng)極電極中，所述槽形成部至少形成在與前端部相距3mm～10mm的范圍內(nèi)。進(jìn)而，本發(fā)明的一個(gè)方面的短弧型放電燈，該短弧型放電燈具有：放電管，其分別設(shè)有發(fā)光部和位于該發(fā)光部的兩側(cè)的密封管部；以及電極安裝件，其具有：在所述發(fā)光部的內(nèi)部相互對(duì)向配置的陽(yáng)極電極和陰極電極；分別支承該陽(yáng)極電極和陰極電極的電極支承棒；分別與該電極支承棒連接并從所述密封管部向外方突出的引線(xiàn)；以及氣密密封部，其被裝填在該密封管部中，對(duì)該電極支承棒和該引線(xiàn)進(jìn)行支承，并且對(duì)所述放電管的內(nèi)部進(jìn)行氣密密封，所述放電管的中心軸線(xiàn)被設(shè)置為大致垂直，使得所述陽(yáng)極電極為上側(cè)、所述陰極電極為下側(cè)，所述陽(yáng)極電極是第1方面至第5方面中的任意一項(xiàng)所述的陽(yáng)極電極。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠在短弧型放電燈中抑制燈放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力的增加來(lái)防止破裂，從而實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽化。附圖說(shuō)明圖1是示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的短弧型放電燈的概略結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖2A是對(duì)本實(shí)施方式的短弧型放電燈的陽(yáng)極的形狀進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖2B是圖2A所示的陽(yáng)極的虛線(xiàn)圓部分的放大圖，是對(duì)槽形成部的形狀的一例進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖3A是對(duì)陽(yáng)極上形成的圓環(huán)狀的槽形成部進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖3B是對(duì)陽(yáng)極上形成的螺旋狀的槽形成部進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖3C是對(duì)陽(yáng)極上形成的多個(gè)槽形成部進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖4A是對(duì)現(xiàn)有的短弧型放電燈的陽(yáng)極周邊的電弧、眩光以及對(duì)流的狀況進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖4B是對(duì)本實(shí)施方式的具備具有槽形成部的陽(yáng)極電極的短弧型放電燈的電弧、眩光和對(duì)流的狀況進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖4C是對(duì)具有圖4B的槽形成部的陽(yáng)極電極附近的電弧和眩光狀況進(jìn)行說(shuō)明的放大圖。圖5是示出本實(shí)施例的與和陽(yáng)極電極前端部之間的距離對(duì)應(yīng)的陽(yáng)極電極的溫度的推移的曲線(xiàn)圖。同時(shí)，作為比較例，還示出1個(gè)槽形成部和沒(méi)有槽形成部的陽(yáng)極電極的溫度的推移。圖6是示出本實(shí)施例的隨著亮燈時(shí)間經(jīng)過(guò)而產(chǎn)生的放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力的推移的曲線(xiàn)圖。同時(shí)，作為比較例，還示出了1個(gè)槽形成部和沒(méi)有槽形成部的放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力的推移。圖7是對(duì)基于顯微鏡式應(yīng)變檢查器進(jìn)行的應(yīng)變的測(cè)定方法進(jìn)行說(shuō)明的圖，其中，(A)是不存在應(yīng)變的情況，光路差R＝0，(B)是存在應(yīng)變的情況，光路差R＝CFL。圖8是以穿過(guò)陽(yáng)極密封部B的方式在軸線(xiàn)上沿著垂直方向剖切密封管部1B得到的剖視圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明1：放電管；1A：發(fā)光部；1B、1C：密封管部；1a：空間；1b、1c：凹部；2：陽(yáng)極，2-1：主體部；2-2錐部；3：陰極；4：焊開(kāi)部；5：電極支承棒；6：引線(xiàn)；9：安裝件、電極安裝件；9a：內(nèi)端面；10：短弧型放電燈；11：吸氣材料；12、12a、12b、12c：槽形成部；14：平坦部；22：對(duì)流的朝向；23：電弧；24-1、24-2：眩光；B：陽(yáng)極密封部；C：比例常數(shù)；F：應(yīng)力；P：燈輸入功率；R：光路差；S：區(qū)域；U：線(xiàn)偏振波；p：邊界位置；u1、u2：分量波。具體實(shí)施方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的短弧型放電燈的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)圖中所示的相同的要素標(biāo)注相同的參照標(biāo)號(hào)，省略重復(fù)的說(shuō)明。[短弧型放電燈](整體)圖1是示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的短弧型放電燈的概略結(jié)構(gòu)的剖視圖。短弧型放電燈10具有放電管1，該放電管1形成球狀的發(fā)光部1A及其兩側(cè)的管狀的密封管部1B、1C。陽(yáng)極2和陰極3對(duì)向地配置在發(fā)光部1A的內(nèi)部的空間1a中。陽(yáng)極2和陰極3分別被支承在電極支承棒5的內(nèi)端。引線(xiàn)6分別從密封管部1B、1C的外端突出。本實(shí)施方式的短弧型放電燈10被設(shè)置成，使陽(yáng)極2位于上側(cè)而進(jìn)行垂直亮燈。(電極安裝件)在密封管部1B、1C上分別安裝有電極安裝件9。電極安裝件9對(duì)電極支承棒5和引線(xiàn)6進(jìn)行支承，同時(shí)具有對(duì)放電管1的內(nèi)部進(jìn)行氣密密封的功能。在電極支承棒5上安裝有吸氣材料11，用于在放電管1封入后去除其中殘留的雜質(zhì)和在亮燈時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)。電極安裝件9的內(nèi)端面9a位于從發(fā)光部1A與密封管部1B、1C的邊界位置p起向軸線(xiàn)方向外方離開(kāi)規(guī)定距離的位置。即，在密封管部1B、1C的電極側(cè)端部分別形成有將電極安裝件9的內(nèi)端面9a作為底面的圓形的凹部(也稱(chēng)作“袋部”。)1b、1c。在放電管1的發(fā)光部1A上形成有焊開(kāi)部(tip-off)4。在制造燈時(shí)，從安裝于焊開(kāi)部4的位置處的排気管向放電管1內(nèi)封入水銀，并且，至少單獨(dú)封入氬、氪、氙等稀有氣體或封入這些氣體的混合氣體。在本實(shí)施方式中，放電管1由石英玻璃形成，陽(yáng)極2、陰極3、電極支承棒5和引線(xiàn)6由鎢形成。為了提高發(fā)射性能，陰極3使用釷鎢制的電極。電極安裝件9的主要部分由石英玻璃形成。關(guān)于陽(yáng)極2上形成的槽，與圖2A和圖2B關(guān)聯(lián)地進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的短弧型放電燈10是如下的代表性的所謂的i線(xiàn)燈，該i線(xiàn)燈的燈在輸入功率P為2.7kW時(shí)輸出中心發(fā)光波長(zhǎng)為365nm的紫外線(xiàn)。[陽(yáng)極電極](陽(yáng)極電極的形狀)圖2A是對(duì)本實(shí)施方式的短弧型放電燈的陽(yáng)極的形狀進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖2B是圖2A所示的陽(yáng)極的虛線(xiàn)圓部分A的放大圖，是對(duì)槽形成部的形狀的一例進(jìn)行說(shuō)明的圖。陽(yáng)極電極2通過(guò)圓柱形的主體部2-1和錐部(尖細(xì)部)2-2而形成。在本實(shí)施方式中，在陽(yáng)極電極2的錐部2-2具有至少2個(gè)槽形成部12和在它們之間的平坦部14。即，在本實(shí)施方式中，陽(yáng)極電極2的錐部2-2的表面的特征在于，在軸線(xiàn)CL方向上觀(guān)察時(shí)，是重復(fù)槽形成部(有槽)、平坦部(無(wú)槽)、槽形成部(有槽)、…的形狀。另外，最小的重復(fù)次數(shù)是2個(gè)槽形成部(有槽)12和它們之間的平坦部(無(wú)槽)14。各槽形成部12在錐部2-2的表面呈圓環(huán)狀形成有燈軸線(xiàn)CL。這里，設(shè)在燈軸線(xiàn)CL方向上測(cè)量出的錐部2-2的長(zhǎng)度為L(zhǎng)t、平坦部14的長(zhǎng)度為L(zhǎng)f、槽形成部12的長(zhǎng)度為L(zhǎng)g。進(jìn)而，如圖2B所示，1個(gè)槽形成部12是多個(gè)細(xì)微槽的集合，設(shè)細(xì)微槽的間距為Pg、細(xì)微槽的深度為Dg。槽的形成方法可以是任意的方法。另外，本發(fā)明者等通過(guò)激光加工形成槽，然后，通過(guò)電解研磨使表面整齊。圖3A～圖3C是對(duì)陽(yáng)極電極的錐部2-2的表面上形成的槽形成部12的形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖3A是對(duì)圓環(huán)狀的槽形成部進(jìn)行說(shuō)明的圖，槽形成部12a是2個(gè)，在它們之間形成有平坦部14。圖3B是對(duì)螺旋狀的槽形成部進(jìn)行說(shuō)明的圖。這些槽形成部12是連續(xù)的形狀，但是不限于此。也可以如圖3C所示，是繞錐部2-2的外周面一周或不繞一周而在中途結(jié)束的多個(gè)槽形成部12c。本實(shí)施方式的特征在于，在軸線(xiàn)CL方向觀(guān)察，陽(yáng)極電極2的錐部2-2的表面為重復(fù)槽形成部(有槽)、平坦部(無(wú)槽)、槽形成部(有槽)的形狀。(陽(yáng)極電極的作用/效果)對(duì)具有這樣的槽形成部的陽(yáng)極電極的作用/效果進(jìn)行說(shuō)明。圖4A是對(duì)現(xiàn)有的短弧型放電燈的陽(yáng)極的周邊的電弧、眩光以及對(duì)流的狀況進(jìn)行說(shuō)明的圖。本發(fā)明者等在對(duì)破裂的燈進(jìn)行分析時(shí)，在大多數(shù)的燈中確認(rèn)到以密封管部1B的陽(yáng)極密封部B為起點(diǎn)的燈破裂的痕跡。在陽(yáng)極上側(cè)進(jìn)行垂直亮燈的燈中，判斷為在密封管部1B的陽(yáng)極密封部B處應(yīng)力集中，這里是脆弱部分。如圖4A所示，在亮燈中的燈中，在電極間形成電弧23，由于該電弧23而形成眩光24-1。在觀(guān)察亮燈中的燈時(shí)，從電弧23上升的眩光24-1與發(fā)光部1A的玻璃管內(nèi)周面的窄區(qū)域S接觸，對(duì)這里進(jìn)行局部加熱。通過(guò)加熱而在該區(qū)域S產(chǎn)生的應(yīng)變?chǔ)?以區(qū)域S為起點(diǎn)向周?chē)鷶U(kuò)張，作為應(yīng)變?chǔ)?而到達(dá)密封管部1B的陽(yáng)極密封部B。在陽(yáng)極密封部B中，如果以該應(yīng)變?chǔ)?為主要原因的應(yīng)變應(yīng)力F與燈點(diǎn)亮?xí)r的壓力的合計(jì)超過(guò)密封管部1B的陽(yáng)極密封部B的耐壓強(qiáng)度，則認(rèn)為燈會(huì)破壞。即，如果應(yīng)變應(yīng)力F+燈點(diǎn)亮?xí)r的壓力＞密封管部1B的陽(yáng)極密封部B的耐壓強(qiáng)度成立，則燈會(huì)被破壞。另外，箭頭22表示封入物的對(duì)流的朝向。對(duì)此，圖4B是對(duì)本實(shí)施方式的短弧型放電燈的陽(yáng)極的周邊的電弧、眩光和對(duì)流的狀況進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖4C是對(duì)具有圖4B的槽形成部的陽(yáng)極電極附近的電弧和眩光狀況進(jìn)行說(shuō)明的放大圖。本發(fā)明者等根據(jù)與圖6關(guān)聯(lián)而在后面說(shuō)明的短弧型放電燈的應(yīng)變應(yīng)力的數(shù)據(jù)而推測(cè)到該眩光的狀況。如圖4C所示，由電弧23產(chǎn)生的眩光24-2最初沿著錐部2-2的表面上升。在到達(dá)第1個(gè)槽形成部12的附近后，一部分眩光向遠(yuǎn)離陽(yáng)極電極2的方向分散。其余的的眩光沿著平坦部14的表面上升。在到達(dá)第2個(gè)槽形成部12的附近時(shí)，一部分眩光向遠(yuǎn)離陽(yáng)極電極2的方向分散。其余的眩光沿著錐部2-2的表面上升。通過(guò)設(shè)置2處槽形成部12和在它們之間的平坦部14，來(lái)自槽的熱輻射和槽形成部12與平坦部14的邊界部產(chǎn)生溫度差，由此，對(duì)流22紊亂，產(chǎn)生亂流。從電弧23上升的眩光24-2在沿著錐部2-2表面上升時(shí)，由于該亂流的影響而被紊亂、分散。與此相對(duì)，在1個(gè)槽形成部12的情況下，由于僅是來(lái)自槽的熱輻射，因此，眩光的一端向遠(yuǎn)離陽(yáng)極電極2的方向分散，但是，之后會(huì)直接上升，并在主體部2-1的表面收斂。通過(guò)設(shè)置2處的槽形成部12和它們之間的平坦部14，除了再次的來(lái)自槽的熱輻射以外，還在槽形成部12和平坦部14的邊界部產(chǎn)生溫度差，由此，由于亂流而使眩光變大并分散，向較大范圍擴(kuò)散，并與放電管的內(nèi)周壁面接觸。由此，能夠有效抑制放電管的應(yīng)變的進(jìn)行。即，通過(guò)妨礙局部的高溫眩光與石英制放電管接觸，能夠抑制應(yīng)變的蓄積，能夠減少放電管的破損風(fēng)險(xiǎn)。[試作實(shí)驗(yàn)的結(jié)果](樣品的規(guī)格)試作使用了形成有槽的陽(yáng)極電極的短弧型放電燈，并確認(rèn)了其效果。樣品的規(guī)格如下。燈：陽(yáng)極上側(cè)亮燈輸入功率2700W電壓：26±3V陽(yáng)極錐部：第1段為R形狀，第2段為槽形成部(長(zhǎng)度Lg＝2.0mm)，第3段為平坦部(長(zhǎng)度Lf＝1.5mm)，第4段為槽形成部(長(zhǎng)度Lg＝2.0mm)，因此，槽形成部為2處。細(xì)微槽的形狀：間距Pg＝0.15mm，深度Dg＝0.3mm(細(xì)微槽的深度Dg)首先對(duì)細(xì)微槽的深度Dg進(jìn)行了研究。表1是對(duì)細(xì)微槽的深度Dg與針對(duì)管壁面的應(yīng)變的蓄積之間的關(guān)系進(jìn)行實(shí)驗(yàn)得到的結(jié)果。另外，關(guān)于壁面的應(yīng)變的測(cè)定，后面參照?qǐng)D7和圖8進(jìn)行說(shuō)明?！颈?】表1細(xì)微槽的深度Dg與針對(duì)管壁面的應(yīng)變的蓄積之間的關(guān)系樣品No.細(xì)微槽的深度Dg[mm]壁面的應(yīng)變10.2×20.3〇30.5〇40.7〇50.9〇根據(jù)表1的結(jié)果，判明了壁面的應(yīng)變的抑制效果根據(jù)細(xì)微槽的深度Dg的不同而不同。在細(xì)微槽的深度Dg為0.2mm的情況下，壁面的應(yīng)變比較大。判明了在深度Dg過(guò)淺時(shí)，熱輻射較弱，基本沒(méi)有應(yīng)變抑制效果。相反，在深度Dg為1.0mm以上的深度時(shí)，難以利用本發(fā)明者等采用的激光加工來(lái)進(jìn)行加工。因此，優(yōu)選細(xì)微槽的深度Dg[mm]在0.3≤Dg≤0.9的范圍內(nèi)。因此，在上述樣品中，采用了深度Dg＝0.3mm。(陽(yáng)極電極的槽形成部的范圍)當(dāng)在陽(yáng)極電極的前端部附近(從前端部起3～5mm的范圍)形成槽時(shí)，會(huì)由于電弧的熱而使槽熔融蒸發(fā)，并且當(dāng)形成槽時(shí)會(huì)對(duì)電弧穩(wěn)定性產(chǎn)生影響，因此，優(yōu)選在前端部附近形成槽。表2是示出本實(shí)施例的與和陽(yáng)極電極前端部之間的距離對(duì)應(yīng)的陽(yáng)極電極的溫度(○)的推移的曲線(xiàn)圖。同時(shí)，作為比較例，還示出1個(gè)槽形成部的陽(yáng)極電極的溫度(△)和沒(méi)有槽形成部的陽(yáng)極電極的溫度(●)的推移。對(duì)表2進(jìn)行曲線(xiàn)化而得到圖5?！颈?】表2與前端部的距離處的陽(yáng)極溫度為了有效利用來(lái)自槽部的熱輻射，優(yōu)選陽(yáng)極溫度為大約1800℃以上的高溫。在本實(shí)施例中，到與前端部之間的距離為10mm為止為大約1800℃以上的高溫。因此，優(yōu)選在與前端部相距10mm的范圍內(nèi)形成槽。根據(jù)以上內(nèi)容，優(yōu)選陽(yáng)極電極中的槽形成部在從(與前端部相距3～5mm)到(與前端部相距10mm)的范圍內(nèi)。即，優(yōu)選陽(yáng)極電極中的槽形成部至少在與前端部相距3mm～10mm的范圍內(nèi)。(應(yīng)變應(yīng)力的推移)表3是示出本實(shí)施例的隨著亮燈時(shí)間經(jīng)過(guò)而產(chǎn)生的放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力(○)的推移的表。同時(shí)，作為比較例，還示出1個(gè)槽形成部局部的應(yīng)變應(yīng)力(△)的推移和現(xiàn)有的沒(méi)有槽形成部的放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力(●)的推移。對(duì)表3進(jìn)行曲線(xiàn)化而得到圖6?！颈?】表3隨著亮燈時(shí)間經(jīng)過(guò)而產(chǎn)生的放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力的推移應(yīng)變：?jiǎn)挝籟kg/cm2]對(duì)亮燈中的燈進(jìn)行觀(guān)察，由于電極間的電弧23而產(chǎn)生并上升的眩光24-1到達(dá)發(fā)光部1的玻璃管內(nèi)周面的區(qū)域S，并對(duì)這里進(jìn)行局部加熱。通過(guò)加熱而在該區(qū)域S產(chǎn)生的應(yīng)變?chǔ)?以區(qū)域S為起點(diǎn)向周?chē)鷶U(kuò)張，作為應(yīng)變?chǔ)?而到達(dá)密封管部1B的陽(yáng)極密封部B。在密封管部1B的陽(yáng)極密封部B中，如果以該應(yīng)變?chǔ)?為主要原因的應(yīng)變應(yīng)力F與燈點(diǎn)亮?xí)r的壓力的合計(jì)超過(guò)密封管部1B的陽(yáng)極密封部B的耐壓強(qiáng)度，則認(rèn)為燈會(huì)破壞。在另外進(jìn)行的與陰極密封部有關(guān)的實(shí)驗(yàn)中得知，如果陰極密封部的應(yīng)力超過(guò)20kg/cm2，則可能發(fā)生燈破壞。當(dāng)燈破壞時(shí)，放電管的碎片飛散，發(fā)光管的封入物向周?chē)w散，對(duì)外部造成不良影響。特別是要絕對(duì)避免破壞環(huán)境或?qū)θ梭w造成傷害。因此，充分考慮安全性，針對(duì)陽(yáng)極密封部B的應(yīng)變應(yīng)力F，將實(shí)際在陰極密封部引起燈破壞的數(shù)值的一半以下即10kg/cm2以下規(guī)定為安全區(qū)域的應(yīng)力。該類(lèi)型的燈壽命為1500小時(shí)左右。在經(jīng)過(guò)400小時(shí)后，沒(méi)有槽形成部的放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力(●)超過(guò)10kg/cm2。在經(jīng)過(guò)800小時(shí)后，1個(gè)槽形成部局部的應(yīng)變應(yīng)力(△)超過(guò)10kg/cm2。但是，即使超過(guò)1500小時(shí)，本實(shí)施例的放電管的局部的應(yīng)變應(yīng)力(○)也沒(méi)有超過(guò)10kg/cm2。[基于顯微鏡式應(yīng)變檢查器進(jìn)行的應(yīng)變的測(cè)定]在燈破壞前處于彈性區(qū)域，因此，應(yīng)變?chǔ)?和應(yīng)變應(yīng)力F處于比例關(guān)系。陽(yáng)極密封部B中的應(yīng)變應(yīng)力F是使用OLYMPUS制玻璃應(yīng)變檢查器(顯微鏡式)SVP-MS1進(jìn)行測(cè)定的。參照?qǐng)D7簡(jiǎn)單說(shuō)明該測(cè)定的原理。圖7的(A)是沒(méi)有應(yīng)變的情況，圖7的(B)是有應(yīng)變的情況下。通過(guò)偏振板(偏振元件)使從光源發(fā)出的光變?yōu)榫€(xiàn)偏振波U，穿過(guò)玻璃體內(nèi)。如圖7的(A)所示，在玻璃中不存在應(yīng)變的情況下，U的分量波u1和u2以相同的速度在玻璃內(nèi)通過(guò)，在u1和u2之間不存在光路差，因此，U與入射前相同，保持為原來(lái)的線(xiàn)偏振。如圖7的(B)所示，在玻璃中存在應(yīng)變而應(yīng)力F起作用的情況下，U的分量波u1和u2以彼此不同的速度在玻璃內(nèi)通過(guò)，在通過(guò)后產(chǎn)生R的量的光路差。該光路差Rnm與應(yīng)力Fkg/cm2及偏光通過(guò)的距離Lcm成比例，因此，表示為R＝CFL……(1)。比例常數(shù)C根據(jù)玻璃來(lái)確定，被稱(chēng)作玻璃的光彈性常數(shù)，其單位為nm·cm-1/kg·cm-2。此外，石英玻璃為C＝3.5。接著，根據(jù)式(1)，求出F＝R/CL作為應(yīng)力F。圖8是以穿過(guò)陽(yáng)極密封部B的方式在密封管部1B的軸線(xiàn)上沿著垂直方向進(jìn)行剖切而得到的剖視圖。使線(xiàn)偏振波U朝向陽(yáng)極密封部B而通過(guò)。應(yīng)變?chǔ)叛刂饴范植?，通過(guò)該積分值而產(chǎn)生光路差R。這里，與其他部位相比，應(yīng)變較大地集中于陽(yáng)極密封部B，因此，能夠?qū)⒏鶕?jù)該光路差R而求出的應(yīng)力F視作密封管部1B的陽(yáng)極密封部B附近的應(yīng)變應(yīng)力。[總結(jié)]以上，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的短弧型放電燈進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本實(shí)施方式不對(duì)本發(fā)明的范圍進(jìn)行任何限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本實(shí)施方式容易進(jìn)行的追加、刪除、改變等包含于本發(fā)明。本發(fā)明的技術(shù)范圍由附加的權(quán)利要求書(shū)的記載來(lái)決定。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3