技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供的托盤組件，其包括用于承載多個(gè)基片的托盤主體和蓋板，其中，在該托盤主體內(nèi)設(shè)置有直流電極，直流電極與直流電源電連接。蓋板設(shè)置在托盤主體上，且壓住各個(gè)被加工工件上表面的邊緣區(qū)域；并且，蓋板采用導(dǎo)電材料制作，以在直流電極與蓋板之間產(chǎn)生靜電引力。本發(fā)明提供的托盤組件，其可以在實(shí)現(xiàn)對(duì)基片良好固定的前提下，采用較小的電壓吸附基片，從而可以避免托盤組件損壞的情況，解決了藍(lán)寶石基片吸附困難的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：張寶輝;張偉濤;欒大為;王偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201510896190
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.08
技術(shù)公布日：2017.06.16