技術(shù)編號(hào)：12612951
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體地，涉及一種托盤組件。背景技術(shù)隨著微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)越來越激烈，降低成本、提高生產(chǎn)效率則是提高企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的常用手段。如LED光源生產(chǎn)企業(yè)為提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，在圖形化藍(lán)寶石襯底(PatternedSapphireSubstrates，以下簡(jiǎn)稱PSS)刻蝕工藝過程中，通常利用托盤同時(shí)承載多個(gè)藍(lán)寶石基片，以應(yīng)對(duì)日益增加的市場(chǎng)需求。在實(shí)際應(yīng)用中，通常通過機(jī)械手將裝有藍(lán)寶石基片的托盤傳入工藝腔室，并放置在等離子體刻蝕設(shè)備的下電極上。為了避免在工...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。