技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明較佳實(shí)施例是公開一種熱處理制作工藝。首先提供一待加熱的半導(dǎo)體基底，然后利用至少兩個具有不同能量密度的第一加熱光束及第二加熱光束同時對該半導(dǎo)體基底進(jìn)行加熱。由此，本發(fā)明除了可省略現(xiàn)有進(jìn)行熱處理制作工藝時需切換不同機(jī)臺的麻煩并縮短制作工藝周期，又可改善僅由半導(dǎo)體基底正面加熱而產(chǎn)生圖案化現(xiàn)象的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：吳佳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：青島信合一工貿(mào)有限公司
文檔號碼：201510829796
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.25
技術(shù)公布日：2017.06.06