本發(fā)明涉及質(zhì)譜離子源技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種激光濺射團(tuán)簇離子源。

背景技術(shù)：

團(tuán)簇包括原子團(tuán)簇和分子團(tuán)簇，是由幾個(gè)乃至上千個(gè)原子、分子或離子通過(guò)物理或化學(xué)結(jié)合力形成的尺度在0.1nm到100nm之間的相對(duì)穩(wěn)定的微觀或亞微觀聚集體。在該尺度下，團(tuán)簇的物理和化學(xué)性質(zhì)隨著其組分、尺寸、電荷、電子結(jié)構(gòu)等因素的變化而顯著變化，表現(xiàn)出一系列特殊的性質(zhì)，比如量子尺寸效應(yīng)、高比表面積、大量的未配對(duì)電子、高化學(xué)活性和催化活性等。因此，團(tuán)簇被認(rèn)為是介于原子分子與宏觀固體之間的物質(zhì)結(jié)構(gòu)新層次。

目前最常用的團(tuán)簇生成方法是由Smalley研究組發(fā)明的激光濺射超聲分子束冷卻法，它可用于產(chǎn)生各種離子、自由基和其它活性中間體，其基本過(guò)程是：真空中，一束脈沖激光直接濺射固體樣品表面(濺射區(qū)域≤1mm²)，高溫汽化樣品產(chǎn)生等離子體，等離子體被脈沖閥噴出的載氣帶走，等離子體與載氣碰撞、冷卻并聚集形成團(tuán)簇，經(jīng)過(guò)噴嘴噴射后在真空中超聲膨脹進(jìn)一步冷卻。等離子體也可以與載氣中的氣體如O₂、H₂、CO等氣體反應(yīng)，產(chǎn)生各種氧化物、氫化物和碳化物。

鑒于激光濺射電離的廣泛運(yùn)用，迫切需要一種高效的激光濺射團(tuán)簇離子源。而實(shí)驗(yàn)用的激光濺射離子源產(chǎn)生團(tuán)簇離子的效率較低，造成離子信號(hào)強(qiáng)度較弱。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種激光濺射團(tuán)簇離子源，以解決現(xiàn)有技術(shù)中實(shí)驗(yàn)用的激光濺射團(tuán)簇離子源產(chǎn)生團(tuán)簇離子的效率較低，造成離子信號(hào)強(qiáng)度較弱的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種激光濺射團(tuán)簇離子源，包括：

離子源主體、脈沖閥、樣品靶固定桿、進(jìn)光螺釘、樣品靶、噴嘴、密封片和密封件；

所述離子源主體相對(duì)的兩個(gè)表面上分別開(kāi)設(shè)有樣品靶孔和進(jìn)光孔，所述離子源主體上還開(kāi)設(shè)有與所述進(jìn)光孔垂直的團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道和載氣進(jìn)入通道；

所述脈沖閥內(nèi)部開(kāi)設(shè)有貫穿的空心通道，所述空心通道、所述載氣進(jìn)入通道、所述團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道、所述噴嘴依次相連形成氣路；

所述樣品靶固定桿位于所述離子源主體的樣品靶孔中，所述樣品靶設(shè)置在所述樣品靶固定桿和所述離子源主體之間；

所述進(jìn)光螺釘將所述密封片固定在所述進(jìn)光孔中，所述密封片用于密封所述進(jìn)光孔；

其中，所述密封件用于密封所述樣品靶固定桿和所述離子源主體的樣品靶孔之間的間隙。

優(yōu)選地，所述密封件為密封圈。

優(yōu)選地，所述密封圈為橡膠O圈。

優(yōu)選地，所述橡膠O圈的個(gè)數(shù)為至少2個(gè)，且沿所述樣品靶固定桿的軸線方向并排布置。

優(yōu)選地，所述樣品靶固定桿的外壁上開(kāi)設(shè)有橡膠O圈槽，用以定位所述橡膠O圈。

優(yōu)選地，所述進(jìn)光孔與所述樣品靶采用偏軸設(shè)計(jì)。

優(yōu)選地，還包括步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)與所述樣品靶固定桿背離所述樣品靶的一端連接，所述樣品靶固定桿在所述步進(jìn)電機(jī)的作用下，帶動(dòng)所述樣品靶在所述樣品靶孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選地，所述進(jìn)光螺釘與所述離子源主體之間以螺紋匹配方式連接。

優(yōu)選地，所述密封片為銅片。

經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，本發(fā)明提供的激光濺射團(tuán)簇離子源，包括離子源主體、脈沖閥、樣品靶固定桿、進(jìn)光螺釘、樣品靶、噴嘴、密封片，還包括密封件，所述密封件位于樣品靶固定桿和離子源主體之間，用于密封所述樣品靶固定桿和所述離子源主體的樣品靶孔之間的間隙，使得激光濺射團(tuán)簇離子源的密封性更好，從而避免激光濺射產(chǎn)生的等離子體泄露，以及等離子體與載氣的有效碰撞降低，進(jìn)而提高團(tuán)簇離子的產(chǎn)生效率，增強(qiáng)離子信號(hào)。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種激光濺射團(tuán)簇離子源的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的離子源主體的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的樣品靶固定桿的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種激光濺射團(tuán)簇離子源的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

對(duì)于實(shí)驗(yàn)室而言，由于成本問(wèn)題，后續(xù)離子檢測(cè)裝置精度或者放大裝置效率較低時(shí)，若激光濺射離子源產(chǎn)生的團(tuán)簇離子信號(hào)強(qiáng)度較弱，將導(dǎo)致檢測(cè)到的信號(hào)強(qiáng)度較弱，或不足以進(jìn)行后續(xù)實(shí)驗(yàn)。也即正如背景技術(shù)部分所述的，現(xiàn)有技術(shù)中實(shí)驗(yàn)用的激光濺射離子源產(chǎn)生團(tuán)簇離子信號(hào)強(qiáng)度較弱，團(tuán)簇離子的產(chǎn)生效率較低。

發(fā)明人經(jīng)過(guò)實(shí)踐發(fā)現(xiàn)，產(chǎn)生的團(tuán)簇離子信號(hào)強(qiáng)度不夠的一個(gè)重要原因是：現(xiàn)有技術(shù)中非一體化激光濺射團(tuán)簇離子源采用機(jī)械匹配的手段讓樣品靶固定桿的表面盡量緊貼離子源主體的側(cè)面。由于機(jī)械匹配，對(duì)于機(jī)械加工的精度以及安裝的準(zhǔn)確度要求較高，實(shí)驗(yàn)中往往難以達(dá)到，因此，激光濺射到樣品靶上產(chǎn)生等離子體后，等離子體在樣品靶固定桿和離子源主體的機(jī)械匹配部分發(fā)生部分泄露，降低了等離子體與載氣之間的有效作用，造成團(tuán)簇離子的產(chǎn)生效率較低，從而使得產(chǎn)生的離子信號(hào)強(qiáng)度不夠理想。

基于此，本發(fā)明提供了一種激光濺射團(tuán)簇離子源裝置，包括：離子源主體、脈沖閥、樣品靶固定桿、進(jìn)光螺釘、樣品靶、噴嘴、密封片和密封件；

所述離子源主體相對(duì)的兩個(gè)表面上分別開(kāi)設(shè)有樣品靶孔和進(jìn)光孔，所述離子源主體上還開(kāi)設(shè)有與所述進(jìn)光孔垂直的團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道和載氣進(jìn)入通道；

所述脈沖閥內(nèi)部開(kāi)設(shè)有貫穿的空心通道，所述空心通道、所述載氣進(jìn)入通道、所述團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道、所述噴嘴依次相連形成氣路；

所述樣品靶固定桿位于所述離子源主體的樣品靶孔中，所述樣品靶設(shè)置在所述樣品靶固定桿和所述離子源主體之間；

所述進(jìn)光螺釘將所述密封片固定在所述進(jìn)光孔中，所述密封片用于密封所述進(jìn)光孔；

其中，所述密封件用于密封所述樣品靶固定桿和所述離子源主體的樣品靶孔之間的間隙。

本發(fā)明提供了一種激光濺射團(tuán)簇離子源，其對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化，通過(guò)增加設(shè)置密封件，改善了樣品靶固定桿與離子源主體之間的密封情況，顯著提高了激光濺射團(tuán)簇離子源的工作效率。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參見(jiàn)圖1，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種激光濺射團(tuán)簇離子源裝置結(jié)構(gòu)示意圖；所述激光濺射團(tuán)簇離子源裝置包括：離子源主體1、脈沖閥2、樣品靶固定桿3、進(jìn)光螺釘4、樣品靶5、噴嘴7、密封片8和密封件9；其中，如圖2所示，為本發(fā)明實(shí)施例提供的離子源主體的結(jié)構(gòu)示意圖，離子源主體1相對(duì)的兩個(gè)表面上分別開(kāi)設(shè)有樣品靶孔11和進(jìn)光孔12，離子源主體1上還開(kāi)設(shè)有與進(jìn)光孔12垂直的團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13和載氣進(jìn)入通道；脈沖閥2內(nèi)部開(kāi)設(shè)有貫穿的空心通道，空心通道、載氣進(jìn)入通道、團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13、噴嘴7依次相連形成通路；樣品靶固定桿3位于離子源主體1的樣品靶孔11中，樣品靶5設(shè)置在樣品靶固定桿3和離子源主體1之間；進(jìn)光螺釘4將密封片8固定在進(jìn)光孔12中，密封片8用于密封進(jìn)光孔12；其中，密封件9用于密封樣品靶固定桿3和離子源主體1的樣品靶孔11之間的間隙。

需要說(shuō)明的是，如圖3所示，為本發(fā)明實(shí)施例提供的樣品靶固定桿的結(jié)構(gòu)示意圖，樣品靶固定桿3的一端開(kāi)設(shè)有樣品靶固定孔14，用于放置樣品靶5，并將樣品靶5固定在離子源主體1的樣品靶孔11中。

本發(fā)明實(shí)施例中通過(guò)在樣品靶固定桿與離子源主體之間增加密封件，改善了樣品靶固定桿與離子源主體之間的密封情況，需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例中對(duì)所述密封件不做限定，只要是具有彈性的，起到密封作用的密封件均可以適用于本發(fā)明實(shí)施例。為方便密封件的安裝以及定制，可選的，本發(fā)明實(shí)施例中密封件為密封圈，由于橡膠材質(zhì)相對(duì)于其他密封材質(zhì)比較經(jīng)濟(jì)，且作為密封圈，橡膠O圈的可制定化程度高，具有較好的耐磨性，因此更加優(yōu)選的，所述密封圈為橡膠O圈。

在激光濺射團(tuán)簇離子源的安裝過(guò)程中，先將橡膠O圈套設(shè)在樣品靶固定桿的外壁上，然后將樣品靶固定桿塞進(jìn)離子源主體的樣品靶孔中，需要說(shuō)明的是，為了密封效果較好，增加了橡膠O圈的樣品靶固定桿的直徑將略大于樣品靶孔的內(nèi)徑，在塞的過(guò)程中，有時(shí)候會(huì)發(fā)生橡膠O圈滑出來(lái)的現(xiàn)象。為解決這一問(wèn)題，如圖3所示，本實(shí)施例中在樣品靶固定桿的外壁上開(kāi)設(shè)有橡膠O圈槽15，用以定位所述橡膠O圈，防止橡膠O圈滑落。發(fā)明人經(jīng)過(guò)實(shí)踐發(fā)現(xiàn)，即使增加橡膠O圈槽，也有可能出現(xiàn)橡膠O圈滑落，密封效果差的現(xiàn)象，為保證密封效果，本發(fā)明實(shí)施例中可選的，所述橡膠O圈的個(gè)數(shù)為至少2個(gè)，且沿所述樣品靶固定桿3的軸線方向并排布置。即設(shè)置多個(gè)橡膠O圈，并將多個(gè)橡膠O圈沿所述樣品靶固定桿3的軸線方向?qū)盈B排列在品靶固定桿3的外壁，在安裝過(guò)程中，即使有部分橡膠O圈滑落，也還有一部分橡膠O圈能夠保證密封效果。

本實(shí)施例中，離子源主體為整個(gè)裝置的中心部件，其他組件都直接或者間接與其配合工作。如進(jìn)光螺釘4通過(guò)螺紋與離子源主體連接用以固定密封片，位于樣品靶孔11內(nèi)用于固定樣品靶5的樣品靶固定桿3與離子源主體1通過(guò)橡膠O圈密封連接。

離子源主體1的中間部分為貫穿離子源主體1的空心通道，如圖2所示，空心通道以進(jìn)光孔12為界限，左窄右寬，窄的為載氣進(jìn)入通道，與脈沖閥2的出氣口相連接；寬的為團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13，與噴嘴7相連接。本實(shí)施例中脈沖閥2的空心通道、載氣進(jìn)入通道、團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13和噴嘴7中孔依次相連，形成氣路，且本實(shí)施例中上述通道采用同軸設(shè)計(jì)，以保證氣路的準(zhǔn)直和通暢。脈沖閥的空心通道的出氣口處設(shè)置有彈簧帶動(dòng)的堵頭，通常情況下，脈沖閥2的空心通道和載氣進(jìn)入通道之間通過(guò)堵頭隔絕，氣束無(wú)法通過(guò)，當(dāng)脈沖閥接收到脈沖信號(hào)時(shí)，彈簧拉動(dòng)堵頭將脈沖閥2的空心通道和載氣進(jìn)入通道之間的通道打開(kāi)，讓載氣通過(guò)，使得脈沖閥2的空心通道、載氣進(jìn)入通道、團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13和噴嘴7形成氣路。

需要注意的是，如圖1所示，激光10通過(guò)進(jìn)光孔12進(jìn)入到離子源主體內(nèi)部，與樣品靶5發(fā)生濺射的過(guò)程是發(fā)生在真空中的，脈沖激光直接濺射固體樣品靶表面，高溫汽化樣品產(chǎn)生等離子體，等離子體被脈沖閥2噴出的載氣帶走進(jìn)入團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13中，此處與載氣碰撞、冷卻并聚集形成團(tuán)簇。因此等離子體與載氣的充分碰撞是團(tuán)簇形成的關(guān)鍵。

本實(shí)施例中，為保證離子源主體內(nèi)部的真空狀態(tài)，以及密封效果。通過(guò)進(jìn)光螺釘4通過(guò)螺紋與離子源主體1連接用以固定密封片8，本實(shí)施例中，密封片8起到了類似密封的作用，濺射激光10僅從擊穿密封片8形成的小孔中通過(guò)，極大的限制了等離子體從離子源主體1的進(jìn)光孔12處的泄露。另外，團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13內(nèi)徑較大，而兩端進(jìn)口和出口直徑較小。兩頭小，中間大的結(jié)構(gòu)可以讓載氣與等離子體充分碰撞，對(duì)于團(tuán)簇離子信號(hào)的增強(qiáng)也起到一定的作用。

本實(shí)施例中對(duì)所述密封片8的材質(zhì)不做限定，只要能夠起到密封作用，且在激光的作用下，能夠被激光穿透即可，可選的，本實(shí)施例中密封片的材質(zhì)為銅，即密封片8為銅片，以便于在實(shí)驗(yàn)室中容易獲取。

需要說(shuō)明的是，本發(fā)明實(shí)施例中對(duì)脈沖閥不做限定，可選的，脈沖閥2采用脈沖持續(xù)時(shí)間較長(zhǎng)，在一個(gè)脈沖內(nèi)噴出的氣體量較多的脈沖閥。

本實(shí)施例中對(duì)所用的激光也不做限定。激光的選擇是主要取決于激光脈沖能量、樣品對(duì)于特定波長(zhǎng)激光的反射率、激光脈沖寬度、樣品的熱傳導(dǎo)速率等，以上因素決定了激光傳遞給樣品的能量以及等離子體的生成種類。由于常用的準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生的激光不容易聚焦，本實(shí)施例中可選的，所用濺射激光10為波長(zhǎng)為1064nm的紅外光。波長(zhǎng)1064nm的激光是由Nd:YAG激光器產(chǎn)生的，Nd:YAG激光器產(chǎn)生的激光是近高斯型的，容易進(jìn)行聚焦，從而更易于在樣品靶表面濺射出等離子體。

本發(fā)明實(shí)施例中，通過(guò)在樣品靶固定桿3與離子源主體1之間設(shè)置密封件進(jìn)行密封，濺射激光10濺射樣品靶5表面產(chǎn)生的等離子體不會(huì)從樣品靶固定桿3與離子源主體1連接處發(fā)生泄露，從而能夠充分進(jìn)入團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道13參與團(tuán)簇離子的生成，進(jìn)而顯著的提高了激光濺射團(tuán)簇離子源中團(tuán)簇離子的產(chǎn)生效率，增強(qiáng)了離子信號(hào)。

請(qǐng)參見(jiàn)圖4，圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種激光濺射團(tuán)簇離子源的結(jié)構(gòu)示意圖；所述激光濺射團(tuán)簇離子源包括離子源主體1、脈沖閥2、樣品靶固定桿3、進(jìn)光螺釘4、樣品靶5、噴嘴7、密封片8和密封件9，其中，上述結(jié)構(gòu)的連接關(guān)系以及作用均與上面實(shí)施例中的連接關(guān)系以及作用相同，本實(shí)施例中對(duì)此不做詳細(xì)贅述。

與上一實(shí)施例不同的是，本實(shí)施例中激光濺射團(tuán)簇離子源還包括步進(jìn)電機(jī)6，步進(jìn)電機(jī)6與樣品靶固定桿3背離樣品靶5的一端連接，樣品靶固定桿3在步進(jìn)電機(jī)6的作用下，帶動(dòng)樣品靶5在樣品靶孔11內(nèi)旋轉(zhuǎn)。本實(shí)施例中通過(guò)將進(jìn)光孔12與所述樣品靶5采用偏軸設(shè)計(jì)，即進(jìn)光孔12與樣品靶5的軸線不位于同一直線上，使得激光濺射團(tuán)簇離子源工作時(shí)，聚焦后的濺射激光10將密封銅片8打穿后，打在在步進(jìn)電機(jī)6帶動(dòng)下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)的樣品靶5表面，濺射激光10與樣品靶5的作用區(qū)域形成一個(gè)圓，而非打在樣品靶5表面一個(gè)點(diǎn)，從而大大提高了樣品靶的利用率。更加可選的，進(jìn)光孔12與樣品靶5的旋轉(zhuǎn)軸之間的距離越大，組成的圓越大，從而使得樣品靶的利用率更好，因此，進(jìn)光孔12與樣品靶5的旋轉(zhuǎn)軸之間的距離越大越好。

鑒于樣品靶固定桿與離子源主體之間的橡膠O圈密封設(shè)計(jì)，濺射激光與樣品靶相作用形成的等離子體能夠有效進(jìn)入團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道，與脈沖閥2噴射入的載氣充分碰撞冷卻，大大提高了團(tuán)簇離子的生成幾率。另外噴嘴7底部的開(kāi)孔略小于團(tuán)簇離子生長(zhǎng)通道的直徑，這種設(shè)計(jì)也對(duì)等離子體與載氣在生長(zhǎng)通道中的碰撞幾率及團(tuán)簇離子生成效率有一定的提高。

本實(shí)施例中，作為整個(gè)裝置中心部件的離子源主體1，在激光濺射離子源裝置工作時(shí)，離子源主體1一側(cè)的樣品靶孔11中，前端樣品靶槽14中固定有樣品靶5的樣品靶固定桿3放置于其中。樣品靶固定桿3尾部與一個(gè)轉(zhuǎn)軸勻速轉(zhuǎn)動(dòng)的步進(jìn)電機(jī)6相連。離子源主體1另一側(cè)的進(jìn)光孔12中，中間有進(jìn)光通孔的進(jìn)光螺釘4將密封銅片8固定在進(jìn)光孔12底部，固定方式是螺紋配合。聚焦后的濺射激光10從進(jìn)光螺釘4中心穿過(guò)將銅片8打穿打在步進(jìn)電機(jī)6帶動(dòng)下勻速轉(zhuǎn)動(dòng)的樣品靶5表面。濺射激光10與樣品靶5的偏軸設(shè)計(jì)配合步進(jìn)電機(jī)6的轉(zhuǎn)動(dòng)使濺射激光10在樣品靶5表面的作用區(qū)域形成一個(gè)圓，而不是一個(gè)點(diǎn)，從而大大提高了樣品靶5的利用率，避免了樣品靶5的經(jīng)常更換。另外需要強(qiáng)調(diào)的是濺射激光10的聚焦焦點(diǎn)在樣品靶5的表面。

綜上，本實(shí)施例提供的激光濺射團(tuán)簇離子源，采用了較為簡(jiǎn)單的裝置，并且大大優(yōu)化了樣品靶固定桿和離子源主體之間的密封情況，從而顯著提高團(tuán)簇離子的生成效率，增強(qiáng)了離子信號(hào)。另外還同時(shí)采用了偏軸濺射激光與步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)樣品靶轉(zhuǎn)動(dòng)相結(jié)合的方式，明顯增加了樣品靶的利用率。

需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見(jiàn)即可。

對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。