硅片工裝籃的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種硅片工裝籃，包括第一端板、第二端板及將所述的第一端板與所述的第二端板相平行定位連接的連桿組件，所述的連桿組件包括一對(duì)用于承托硅片的底連桿、至少一對(duì)用于對(duì)硅片的兩側(cè)進(jìn)行限位的上連桿，一對(duì)所述的底連桿之間的距離小于硅片的寬度，一對(duì)所述的上連桿之間的距離等于硅片的寬度。通過連桿組件將第一端板和第二端板相定位連接構(gòu)成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定、輕便，便于搬運(yùn)，且成本低廉，該工裝籃既可用于脫膠時(shí)的承接，又在承接后可直接放入后續(xù)的自動(dòng)分片設(shè)備中使用，過程中無(wú)需對(duì)硅片進(jìn)行重裝，減少了中轉(zhuǎn)工序，提高工作效率的同時(shí)，降低了碎片率，且便于在設(shè)備上進(jìn)行定位，適于推廣應(yīng)用。
【專利說(shuō)明】硅片工裝籃

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅片盛裝工具，特別是涉及一種在脫膠和分片中均能夠使用的硅片工裝籃。

【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)技術(shù)中，硅棒或硅錠經(jīng)切片后放置在一個(gè)盛裝籃內(nèi)進(jìn)行脫膠處理(一般為超聲波清洗)，而后再進(jìn)行分片的過程中，由于分片設(shè)備的結(jié)構(gòu)限制，需要將原盛裝籃中的硅片裝入另外的適用于分片設(shè)備的盛裝籃內(nèi)，這樣的重裝，會(huì)導(dǎo)致碎片率上升，同時(shí)也浪費(fèi)時(shí)間，造成硅片的生產(chǎn)效率和合格率下降。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]針對(duì)上述存在的技術(shù)不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片工裝籃，其既適用于脫膠處理過程，有適用于分片處理過程，這樣避免了對(duì)硅片的重裝，降低了硅片碎片率的同時(shí)，也能夠提高生產(chǎn)效率。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]一種硅片工裝籃，用于盛裝硅片，包括第一端板、第二端板及將所述的第一端板與所述的第二端板相平行定位連接的連桿組件，所述的連桿組件包括一對(duì)用于承托硅片的底連桿、至少一對(duì)用于對(duì)硅片的兩側(cè)進(jìn)行限位的上連桿，一對(duì)所述的底連桿之間的距離小于娃片的寬度，一對(duì)所述的上連桿之間的距離等于娃片的寬度，所述的第一端板上對(duì)應(yīng)一對(duì)所述的上連桿之間、一對(duì)所述的底連桿之間開設(shè)有第一口部，所述的第二端板上設(shè)置有一對(duì)斜撐板，一對(duì)所述的斜撐板位于各對(duì)所述的上連桿中的兩個(gè)上連桿之間，所述的斜撐板的板面與所述的上連桿相平行，所述的斜撐板的面向所述的第一口部的一側(cè)為工作表面，所述的工作表面為上部遠(yuǎn)離所述的第一端板、下部靠近所述的第一端板的傾斜面，硅片傾斜倚靠在兩個(gè)所述的工作表面上。
[0006]優(yōu)選地，各所述的底連桿和各所述的上連桿的外壁套設(shè)有硅橡膠軟管。
[0007]優(yōu)選地，所述的連桿組件還包括連接在所述的第一端板與所述的第二端板之間的一對(duì)便于搬運(yùn)該工裝籃的拎桿，一對(duì)所述的拎桿位于這些所述的上連桿的兩側(cè)。
[0008]優(yōu)選地，所述的連桿組件包括上、下各一對(duì)所述的上連桿，兩對(duì)所述的上連桿之間的豎直距離小于硅片的高度。
[0009]優(yōu)選地，對(duì)應(yīng)所述的第一端板的下部與所述的第二端板的下部之間還設(shè)置有一對(duì)加強(qiáng)桿。
[0010]優(yōu)選地，所述的第二端板上對(duì)應(yīng)一對(duì)所述的斜撐板之間開設(shè)有第二口部。
[0011 ] 優(yōu)選地，該工裝籃為軸對(duì)稱結(jié)構(gòu)。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果在于:通過連桿組件將第一端板和第二端板相定位連接構(gòu)成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定、輕便，便于搬運(yùn)，且成本低廉，該工裝籃既可用于脫膠時(shí)的承接，又在承接后可直接放入后續(xù)的自動(dòng)分片設(shè)備中使用，過程中無(wú)需對(duì)硅片進(jìn)行重裝，減少了中轉(zhuǎn)工序，提高工作效率的同時(shí)，降低了碎片率，且便于在設(shè)備上進(jìn)行定位，適于推廣應(yīng)用。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]附圖1為本實(shí)用新型的硅片工裝籃中的第一端板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]附圖2為本實(shí)用新型的硅片工裝籃中的第二端板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]附圖3為本實(shí)用新型的硅片工裝籃中的斜撐板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]附圖4為本實(shí)用新型的硅片工裝籃的俯視示意圖；
[0017]附圖5為本實(shí)用新型的硅片工裝籃的立體示意圖。
[0018]附圖中:1、第一端板；2、第二端板；3、底連桿；4、上連桿；5、第一口部；6、斜撐板；
7、工作表面；8、拎桿；9、加強(qiáng)桿；10、第二口部。

【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖所示的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作以下詳細(xì)描述:
[0020]如附圖4及附圖5所示，一種硅片工裝籃，用于盛裝多片硅片，硅片沿豎直面放置，該工裝籃包括第一端板I (附圖1所示)、第二端板2 (附圖2所示)及將第一端板I與第二端板2相平行定位連接的連桿組件，連桿組件包括一對(duì)用于承托硅片的底連桿3、至少一對(duì)用于對(duì)硅片的兩側(cè)進(jìn)行限位的上連桿4，一對(duì)底連桿3之間的距離小于硅片的寬度，一對(duì)上連桿4之間的距離等于硅片的寬度，第一端板I上對(duì)應(yīng)一對(duì)上連桿4之間、一對(duì)底連桿3之間開設(shè)有第一口部5，第二端板2上設(shè)置有一對(duì)斜撐板6 (附圖3所示)，一對(duì)斜撐板6位于各對(duì)上連桿4中的兩個(gè)上連桿4之間，斜撐板6的板面與上連桿4相平行，斜撐板6的面向第一口部5的一側(cè)為工作表面7，工作表面7為上部遠(yuǎn)離第一端板1、下部靠近第一端板I的傾斜面，硅片傾斜倚靠在兩個(gè)工作表面7上，這樣，在對(duì)這些硅片進(jìn)行分片時(shí)，分片設(shè)備能夠從第一口部5伸入，隨著分片的進(jìn)行，逐漸向靠近分片設(shè)備的方向移動(dòng)該工裝籃，直至其中的硅片全部被分片完成，斜撐板6的設(shè)置是為了便于分片，還能夠避免硅片向第一口部5的方向翻到。
[0021]更具體地，連桿組件還包括連接在第一端板I與第二端板2之間的一對(duì)便于搬運(yùn)該工裝籃的拎桿8，一對(duì)拎桿8位于這些上連桿4的兩側(cè)且偏上設(shè)置，這樣便于操作人員握持或便于機(jī)械手操作。
[0022]本具體實(shí)施例中的連桿組件包括上、下各一對(duì)上連桿4，兩對(duì)上連桿4之間的豎直距離小于硅片的高度，當(dāng)然根據(jù)硅片的規(guī)格不同，可以選擇上連桿4的對(duì)數(shù)，以便更好地限位硅片，便于后續(xù)工序的順利進(jìn)行。為了使工裝籃的結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定，對(duì)應(yīng)第一端板I的下部與第二端板2的下部之間還設(shè)置有一對(duì)加強(qiáng)桿9。另外，第二端板2上對(duì)應(yīng)一對(duì)斜撐板6之間開設(shè)有第二口部10。該工裝籃為軸對(duì)稱結(jié)構(gòu)，各對(duì)桿件中的兩根桿件均對(duì)稱設(shè)置。
[0023]上述的與硅片接觸的各底連桿3和各上連桿4的外壁套設(shè)有硅橡膠軟管，其能夠減緩搬運(yùn)過程中對(duì)硅片的震動(dòng)，避免碎片。
[0024]本設(shè)計(jì)的工裝籃通過連桿組件將第一端板I和第二端板2相定位連接構(gòu)成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定、輕便，便于搬運(yùn)，且成本低廉，該工裝籃既可用于脫膠時(shí)的承接，又在承接后可直接放入后續(xù)的自動(dòng)分片設(shè)備中使用，過程中無(wú)需對(duì)硅片進(jìn)行重裝，減少了中轉(zhuǎn)工序，提高工作效率的同時(shí)，降低了碎片率，且便于在設(shè)備上進(jìn)行定位，適于推廣應(yīng)用。
[0025]上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片工裝籃，用于盛裝硅片，其特征在于:包括第一端板、第二端板及將所述的第一端板與所述的第二端板相平行定位連接的連桿組件，所述的連桿組件包括一對(duì)用于承托硅片的底連桿、至少一對(duì)用于對(duì)硅片的兩側(cè)進(jìn)行限位的上連桿，一對(duì)所述的底連桿之間的距離小于硅片的寬度，一對(duì)所述的上連桿之間的距離等于硅片的寬度，所述的第一端板上對(duì)應(yīng)一對(duì)所述的上連桿之間、一對(duì)所述的底連桿之間開設(shè)有第一口部，所述的第二端板上設(shè)置有一對(duì)斜撐板，一對(duì)所述的斜撐板位于各對(duì)所述的上連桿中的兩個(gè)上連桿之間，所述的斜撐板的板面與所述的上連桿相平行，所述的斜撐板的面向所述的第一口部的一側(cè)為工作表面，所述的工作表面為上部遠(yuǎn)離所述的第一端板、下部靠近所述的第一端板的傾斜面，硅片傾斜倚靠在兩個(gè)所述的工作表面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工裝籃，其特征在于:各所述的底連桿和各所述的上連桿的外壁套設(shè)有硅橡膠軟管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工裝籃，其特征在于:所述的連桿組件還包括連接在所述的第一端板與所述的第二端板之間的一對(duì)便于搬運(yùn)該工裝籃的拎桿，一對(duì)所述的拎桿位于這些所述的上連桿的兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工裝籃，其特征在于:所述的連桿組件包括上、下各一對(duì)所述的上連桿，兩對(duì)所述的上連桿之間的豎直距離小于硅片的高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片工裝籃，其特征在于:各所述的底連桿和各所述的上連桿的外壁套設(shè)有硅橡膠軟管。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工裝籃，其特征在于:對(duì)應(yīng)所述的第一端板的下部與所述的第二端板的下部之間還設(shè)置有一對(duì)加強(qiáng)桿。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工裝籃，其特征在于:所述的第二端板上對(duì)應(yīng)一對(duì)所述的斜撐板之間開設(shè)有第二 口部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片工裝籃，其特征在于:該工裝籃為軸對(duì)稱結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK203967052SQ201420327371
【公開日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月19日
【發(fā)明者】陳宏
申請(qǐng)人:張家港市超聲電氣有限公司