專利名稱：一種石墨舟冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及冷卻裝置，尤其涉及一種石墨舟冷卻裝置。
背景技術(shù)：
石墨舟冷卻裝置主要功能是將400°C的石墨舟進行冷卻至可操作溫度 (35-50°C )，通常是在石墨舟放置臺旁邊設(shè)置風(fēng)機，通過風(fēng)機使石墨舟降溫，但是石墨舟是否降到合適溫度無法探知，風(fēng)機會一直處于工作狀態(tài)，因此在冷卻過程中主要有以下缺陷 1、冷卻時間不可限定，導(dǎo)致無法合理利用時間資源。2、冷卻結(jié)束無報警提示。3.無法把握可操作溫度經(jīng)常出現(xiàn)過冷或冷卻不夠。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的，就是為了提供一種可降低損耗、提高利用率的石墨舟冷卻裝置。為了達到上述目的，本實用新型采用了以下技術(shù)方案一種石墨舟冷卻裝置，包括風(fēng)機、感應(yīng)器、石墨舟放置臺，風(fēng)機設(shè)置在石墨舟放置臺旁，其特征在于，還包括延時繼電器和報警燈，所述的感應(yīng)器感應(yīng)石墨舟放置臺上是否放置石墨舟，所述的延時繼電器分別連接感應(yīng)器和風(fēng)機，所述的報警燈連接延時繼電器。所述的感應(yīng)器連接風(fēng)機。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點—、時間把握效果高跟好的合理利用時間，降低了電能源的損耗。二、提高了冷卻房的利用率。三、提高了人力資源的使用率。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
實施例1如圖1所示，一種石墨舟冷卻裝置，包括石墨舟放置臺1、風(fēng)機2、感應(yīng)器3，還包括延時繼電器4和報警燈5，風(fēng)機2設(shè)置在石墨舟放置臺1旁，所述的延時繼電器4分別連接感應(yīng)器3和風(fēng)機2，所述的報警燈5連接延時繼電器4。所述的感應(yīng)器3感應(yīng)石墨舟放置臺 1上是否放置石墨舟，如果已經(jīng)放置石墨舟，感應(yīng)器將該信號傳遞給風(fēng)機2，風(fēng)機2開始運轉(zhuǎn)使石墨舟降溫，風(fēng)機連接延時繼電器4，延時繼電器4上設(shè)有調(diào)時按鈕5，通過調(diào)時按鈕5設(shè)定延時繼電器4的時間，從而控制風(fēng)機的運轉(zhuǎn)時間，一般根據(jù)先測定石墨舟冷卻到合適的溫度需要的時間，然后通過延時繼電器4設(shè)定風(fēng)機的冷卻時間，風(fēng)機運行完設(shè)定時間后自動停止，報警燈閃爍報警。
權(quán)利要求1.一種石墨舟冷卻裝置，包括風(fēng)機、感應(yīng)器、石墨舟放置臺，風(fēng)機設(shè)置在石墨舟放置臺旁，其特征在于，還包括延時繼電器和報警燈，所述的感應(yīng)器感應(yīng)石墨舟放置臺上是否放置石墨舟，所述的延時繼電器分別連接感應(yīng)器和風(fēng)機，所述的報警燈連接延時繼電器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟冷卻裝置，其特征在于，所述的感應(yīng)器連接風(fēng)機。
專利摘要本實用新型提供了一種石墨舟冷卻裝置，包括夾具和酸液，夾具可上下左右移動地懸掛在酸液上方，所述的夾具由兩個夾手和連接兩個夾手的吊框組成。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型使得硅片既沒有損傷，又能夠不依賴進口設(shè)備，簡單方便。
文檔編號H01L31/18GK202018985SQ20112007474
公開日2011年10月26日 申請日期2011年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月21日
發(fā)明者吳俊 , 周浩杰, 孔建武 申請人:上海神舟新能源發(fā)展有限公司