一種真空吸附石墨舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空吸附石墨舟。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏太陽能行業(yè)，太陽能電池的制造要經(jīng)過制絨，擴(kuò)散，刻蝕，鍍膜，絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)六大工序。其中，鍍膜工序的目的是采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法在硅片正面鍍氮化硅膜，減少太陽光反射以及對(duì)硅片表面起鈍化作用。
[0003]目前，光伏行業(yè)大多采用管式PECVD對(duì)硅片鍍膜，操作員工將花籃中的硅片插入專門的石墨舟里，然后將石墨舟放入爐管中鍍膜。石墨舟的單元舟片上設(shè)置有3個(gè)卡槽，卡住硅片的三條邊，將硅片固定住。由于卡槽對(duì)硅片有一定的遮擋，導(dǎo)致硅片的卡槽處沒有鍍上氮化硅膜或氮化硅膜很薄，顏色明顯不同，卡槽也容易使硅片產(chǎn)生崩邊和缺口，從而增加電池的不合格率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種能形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產(chǎn)品的不良率的真空吸附石墨舟。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種真空吸附石墨舟，所述石墨舟設(shè)有有可裝載硅片的若干個(gè)單元舟片，每個(gè)單元舟片為中空結(jié)構(gòu)，每個(gè)單元舟片設(shè)置有吸附孔和石墨插銷，每個(gè)單元舟片均與石英管道相連接。
[0006]作為上述方案的改進(jìn)，所述若干個(gè)單元舟片均勻分布在石墨舟上。
[0007]作為上述方案的改進(jìn)，所述每個(gè)單元舟的厚度為8mm-10mm。
[0008]作為上述方案的改進(jìn)，所述石英管道的直徑為3mm-5mm。
[0009]作為上述方案的改進(jìn)，所述每個(gè)單元舟片設(shè)置有五個(gè)吸附孔。
[0010]作為上述方案的改進(jìn)，所述五個(gè)吸附孔設(shè)在單元舟片的一側(cè)壁上。
[0011]作為上述方案的改進(jìn)，所述石墨插銷固定在單元舟片的上表面。
[0012]作為上述方案的改進(jìn)，所述石英管道與單元舟片的上表面相連接。
[0013]實(shí)施本實(shí)用新型實(shí)施例，具有如下有益效果:本實(shí)用新型通過設(shè)有若干個(gè)有可裝載硅片的單元舟片，每個(gè)單元舟片為中空結(jié)構(gòu)，每個(gè)單元舟片設(shè)置有吸附孔和石墨插銷，每個(gè)單元舟片均與石英管道相連接，石英管道抽去每個(gè)單元舟片內(nèi)的空氣后就通過吸附孔吸入氮?dú)?，不同于傳統(tǒng)石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片產(chǎn)生崩邊和缺口，使硅片形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產(chǎn)品的不良率的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型一種真空吸附石墨舟示意圖；
[0015]圖2是本實(shí)用新型單元舟片的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0017]如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型的一種真空吸附石墨舟，所述石墨舟設(shè)有可裝載硅片的多個(gè)單元舟片I，每個(gè)單元舟片I為中空結(jié)構(gòu)，每個(gè)單元舟片I設(shè)置有吸附孔11和石墨插銷12，每個(gè)單元舟片I均與石英管道2相連接。
[0018]作為實(shí)施例的改進(jìn)，多個(gè)單元舟片I均勻分布在石墨舟上。每個(gè)單元舟I的厚度為8mm-10mm。所述石英管道的直徑為3mm-5mm。每個(gè)單元舟片I設(shè)置有五個(gè)吸附孔11。五個(gè)吸附孔11設(shè)在單元舟片I的一側(cè)壁上。石墨插銷12固定在單元舟片I的上表面。石英管道2與單元舟片I的上表面相連接。
[0019]本實(shí)用新型的一種真空吸附石墨舟通過設(shè)有可裝載硅片的多個(gè)單元舟片I，每個(gè)單元舟片I為中空結(jié)構(gòu)，每個(gè)單元舟片設(shè)置有吸附孔11和石墨插銷12，每個(gè)單元舟片I均與石英管道2相連接，石英管道2抽去每個(gè)單元舟片I內(nèi)的空氣后就通過吸附孔吸入氮?dú)?，不同于傳統(tǒng)石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片產(chǎn)生崩邊和缺口，使硅片形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產(chǎn)品的不良率的優(yōu)點(diǎn)。
[0020]最后所應(yīng)當(dāng)說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制，盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石墨舟設(shè)有可裝載硅片的若干個(gè)單元舟片，每個(gè)單元舟片為中空結(jié)構(gòu)，每個(gè)單元舟片設(shè)置有吸附孔和石墨插銷，每個(gè)單元舟片均與石英管道相連接。2.如權(quán)利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述若干個(gè)單元舟片均勻分布在石墨舟上。3.如權(quán)利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述每個(gè)單元舟的厚度為8mm-1Omm04.如權(quán)利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石英管道的直徑為3mm-5mm ο5.如權(quán)利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述每個(gè)單元舟片設(shè)置有五個(gè)吸附孔。6.如權(quán)利要求5所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述五個(gè)吸附孔設(shè)在單元舟片的一側(cè)壁上。7.如權(quán)利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石墨插銷固定在單元舟片的上表面。8.如權(quán)利要求1所述一種真空吸附石墨舟，其特征在于，所述石英管道與單元舟片的上表面相連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種真空吸附石墨舟，所述石墨舟設(shè)有若干個(gè)單元舟片，每個(gè)單元舟片為中空結(jié)構(gòu)，每個(gè)單元舟片設(shè)置有吸附孔和石墨插銷，每個(gè)單元舟片均與石英管道相連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：本實(shí)用新型通過設(shè)有若干個(gè)單元舟片，每個(gè)單元舟片為中空結(jié)構(gòu)，每個(gè)單元舟片設(shè)置有吸附孔和石墨插銷，每個(gè)單元舟片均與石英管道相連接，石英管道抽去每個(gè)單元舟片內(nèi)的空氣后就通過吸附孔吸入氮?dú)?，不同于傳統(tǒng)石墨舟的卡槽模式，具有可以避免硅片產(chǎn)生崩邊和缺口，使硅片形成整面均勻的氮化硅鍍膜，減少太陽能電池產(chǎn)品的不良率的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】H01L21/673, H01L31/18
【公開號(hào)】CN205335233
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521142692
【發(fā)明人】方結(jié)彬, 秦崇德, 石強(qiáng), 黃玉平, 何達(dá)能, 陳剛
【申請(qǐng)人】廣東愛康太陽能科技有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請(qǐng)日】2015年12月31日