一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著石油、天然氣等不可再生能源的日益短缺，太陽能、風(fēng)能、潮汐能等可再生能源的開發(fā)、利用越來越受到國內(nèi)外研究者的關(guān)注。其中，太陽能光伏發(fā)電以其無枯竭危險(xiǎn)、無污染、不受資源分布地域的限制、可在用電處就近發(fā)電、能源質(zhì)量高、使用者從感情上容易接受、獲取能源花費(fèi)的時(shí)間短和供電系統(tǒng)工作可靠等優(yōu)點(diǎn)贏得了較好的市場前景，我國太陽能光伏電池生產(chǎn)也進(jìn)入了高速發(fā)展的時(shí)代。
[0003]石墨舟是一種在等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)管式爐內(nèi)對(duì)經(jīng)過制絨及擴(kuò)散等工藝處理后的多晶或單晶硅片的表面采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積工藝進(jìn)行氮化硅薄膜鍍層的承載工具。由于在工藝結(jié)束后石墨舟的溫度過高，需要對(duì)石墨舟進(jìn)行冷卻?，F(xiàn)有技術(shù)中通常是在石墨舟冷卻房中對(duì)石墨舟進(jìn)行冷卻，但由于現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟冷卻房設(shè)計(jì)不當(dāng)，冷卻房內(nèi)冷卻風(fēng)循環(huán)不暢，冷卻效果相對(duì)較差，且只能對(duì)石墨舟的局部進(jìn)行冷卻，而對(duì)石墨舟的兩側(cè)等難冷卻部位則難以冷卻，從而導(dǎo)致冷卻工序時(shí)間較長，嚴(yán)重影響電池片的生產(chǎn)產(chǎn)能。
[0004]如，中國專利申請(qǐng)?zhí)?201320196077.1，申請(qǐng)日:2013年04月17日，發(fā)明創(chuàng)造名稱為:一種石墨舟冷卻裝置，該申請(qǐng)案中的石墨舟冷卻裝置包括框架和設(shè)置在框架底部四角的固定底座;所述框架內(nèi)設(shè)有石墨舟冷卻臺(tái)，所述冷卻臺(tái)面上設(shè)有出風(fēng)口，所述出風(fēng)口與軸流風(fēng)機(jī)連接，所述軸流風(fēng)機(jī)與延時(shí)繼電器連接。該申請(qǐng)案通過在石墨舟冷卻裝置中安裝延時(shí)繼電器在一定程度上可以控制石墨舟的冷卻時(shí)間，降低損耗，提高設(shè)備的使用效率。但是該申請(qǐng)案中的出風(fēng)口即只能對(duì)石墨舟的底部進(jìn)行吹風(fēng)冷卻，冷卻裝置中空氣循環(huán)不暢，從而導(dǎo)致冷卻時(shí)間較長。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]1.實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題
[0006]本實(shí)用新型的目的在于克服由于現(xiàn)有石墨舟冷卻裝置設(shè)計(jì)不當(dāng)，冷卻風(fēng)風(fēng)力較小，空氣循環(huán)不暢，從而導(dǎo)致冷卻時(shí)間較長的不足，提供了一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置。通過使用本實(shí)用新型的石墨舟冷卻裝置，可以顯著提高對(duì)石墨舟的冷卻效果，冷卻時(shí)間明顯縮短，從而提高了對(duì)電池片的生產(chǎn)效率。
[0007]2.技術(shù)方案
[0008]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案為:
[0009]本實(shí)用新型一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，包括冷卻房房體和設(shè)置于冷卻房房體內(nèi)的冷卻平臺(tái)，在所述的冷卻平臺(tái)上設(shè)有排風(fēng)口，該排風(fēng)口與冷卻平臺(tái)內(nèi)的冷卻風(fēng)機(jī)相連，且待冷卻的石墨舟位于冷卻平臺(tái)的正上方，所述的冷卻房房體的頂部為錐形，在錐形頂部設(shè)有熱排口，且該熱排口與熱排管相連。
[0010]更進(jìn)一步地，在所述的冷卻房房體頂部的熱排口設(shè)有抽風(fēng)機(jī)。
[0011]更進(jìn)一步地，所述的排風(fēng)口為兩個(gè)，分別位于所述石墨舟的兩個(gè)舟腳的內(nèi)側(cè)。
[0012]更進(jìn)一步地，在所述的冷卻平臺(tái)的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)排風(fēng)扇，這兩個(gè)排風(fēng)扇分別位于石墨舟的兩個(gè)舟腳的正下方。
[0013]3.有益效果
[0014]采用本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下有益效果:
[0015](I)本實(shí)用新型的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，在冷卻房房體內(nèi)設(shè)有冷卻平臺(tái)，冷卻平臺(tái)上設(shè)有排風(fēng)口，該排風(fēng)口與冷卻平臺(tái)內(nèi)的冷卻風(fēng)機(jī)相連，待冷卻的石墨舟即位于冷卻平臺(tái)的正上方，從而可以對(duì)石墨舟進(jìn)行排風(fēng)冷卻。本實(shí)用新型中將冷卻房房體的頂部設(shè)為錐形，并在錐形頂部設(shè)有熱排口，從而能夠使冷卻房房體內(nèi)冷卻石墨舟產(chǎn)生的熱氣更易被排出冷卻房，有利于加速對(duì)石墨舟的冷卻，大大縮短了冷卻時(shí)間。
[0016](2)本實(shí)用新型的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，在冷卻房房體頂部的熱排口設(shè)有抽風(fēng)機(jī)，通過抽風(fēng)機(jī)能夠使冷卻房房體內(nèi)的熱氣被更快地抽出冷卻房，加速了熱氣的排出速度，從而有利于石墨舟冷卻速度的進(jìn)一步提高。
[0017](3)本實(shí)用新型的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，冷卻平臺(tái)上排風(fēng)口的數(shù)量為兩個(gè)，分別位于所述石墨舟的兩個(gè)舟腳的內(nèi)側(cè)，從而可以對(duì)石墨舟的底部進(jìn)行排風(fēng)冷卻，在冷卻平臺(tái)的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)排風(fēng)扇，這兩個(gè)排風(fēng)扇分別位于石墨舟的兩個(gè)舟腳的正下方，通過這兩個(gè)排風(fēng)扇的設(shè)置可以對(duì)石墨舟的兩個(gè)舟腳及舟腳內(nèi)壁進(jìn)行冷卻，克服了現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)石墨舟舟腳冷卻不足，存在冷卻死角的缺陷，且這兩個(gè)排風(fēng)扇還能夠?qū)κ鄣膬蓚?cè)面進(jìn)行排風(fēng)，冷風(fēng)自下而上流動(dòng)，從而有利于對(duì)石墨舟的兩側(cè)進(jìn)行冷卻，加速了整個(gè)冷卻房內(nèi)的空氣流通，大大提高了冷卻速率和對(duì)整個(gè)石墨舟冷卻的均勻性。
[0018](4)本實(shí)用新型的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，原理簡單，便于推廣使用。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]不意圖中的標(biāo)號(hào)說明:
[0021]1、冷卻房房體；2石墨舟；3、排風(fēng)扇；4、冷卻平臺(tái)；401、排風(fēng)口；5、熱排管；6、抽風(fēng)機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的內(nèi)容，現(xiàn)結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。
[0023]實(shí)施例1
[0024]如圖1所示，本實(shí)施例的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，包括冷卻房房體I和設(shè)置于冷卻房房體I內(nèi)的冷卻平臺(tái)4，在所述的冷卻平臺(tái)4上設(shè)有排風(fēng)口 401，該排風(fēng)口401與冷卻平臺(tái)4內(nèi)的冷卻風(fēng)機(jī)相連，且待冷卻的石墨舟2即通過石墨舟推車置于冷卻平臺(tái)4的正上方。本實(shí)施例的排風(fēng)口 401為兩個(gè)，分別位于石墨舟2的兩個(gè)舟腳的內(nèi)側(cè)，從而可以對(duì)石墨舟2的底部進(jìn)行排風(fēng)冷卻。在冷卻平臺(tái)4的兩側(cè)還分別設(shè)有一個(gè)排風(fēng)扇3，這兩個(gè)排風(fēng)扇3分別位于石墨舟2的兩個(gè)舟腳的正下方，通過排風(fēng)扇3的設(shè)置可以專門對(duì)石墨舟2的兩個(gè)舟腳及舟腳內(nèi)壁區(qū)域進(jìn)行冷卻，防止石墨舟2的舟腳等難冷卻部位存在冷卻不足，易產(chǎn)生冷卻死角的問題。上述兩個(gè)排風(fēng)扇3還可以對(duì)石墨舟2的兩個(gè)側(cè)面自下而上進(jìn)行排風(fēng)，從而有利于對(duì)石墨舟2的兩側(cè)進(jìn)行冷卻，加速了整個(gè)冷卻房內(nèi)的空氣流通，大大提高了冷卻速率，保證了對(duì)整個(gè)石墨舟2冷卻的均勻性。本實(shí)施例中冷卻房房體I的頂部為錐形，在錐形頂部設(shè)有熱排口，該熱排口與熱排管5相連，且在熱排口設(shè)有抽風(fēng)機(jī)6，從而能夠保證冷卻房房體I內(nèi)對(duì)石墨舟2進(jìn)行冷卻產(chǎn)生的熱氣更易被排出冷卻房，加速了冷卻房內(nèi)的空氣流通，提高了冷卻速率，使電池片的生產(chǎn)效率有所提高。
[0025]以上示意性的對(duì)本實(shí)用新型及其實(shí)施方式進(jìn)行了描述，該描述沒有限制性，附圖中所示的也只是本實(shí)用新型的實(shí)施方式之一，實(shí)際的結(jié)構(gòu)并不局限于此。所以，如果本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員受其啟示，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造宗旨的情況下，不經(jīng)創(chuàng)造性的設(shè)計(jì)出與該技術(shù)方案相似的結(jié)構(gòu)方式及實(shí)施例，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，包括冷卻房房體(I)和設(shè)置于冷卻房房體(I)內(nèi)的冷卻平臺(tái)(4)，在所述的冷卻平臺(tái)(4)上設(shè)有排風(fēng)口(401)，該排風(fēng)口(401)與冷卻平臺(tái)(4)內(nèi)的冷卻風(fēng)機(jī)相連，且待冷卻的石墨舟(2)位于冷卻平臺(tái)(4)的正上方，其特征在于:所述的冷卻房房體(I)的頂部為錐形，在錐形頂部設(shè)有熱排口，且該熱排口與熱排管(5)相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，其特征在于:在所述的冷卻房房體(I)頂部的熱排口設(shè)有抽風(fēng)機(jī)(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，其特征在于:所述的排風(fēng)口(401)為兩個(gè)，分別位于所述石墨舟(2)的兩個(gè)舟腳的內(nèi)側(cè)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，其特征在于:在所述的冷卻平臺(tái)(4)的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)排風(fēng)扇(3)，這兩個(gè)排風(fēng)扇(3)分別位于石墨舟(2)的兩個(gè)舟腳的正下方。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置，屬于太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的一種太陽能電池生產(chǎn)用石墨舟冷卻裝置包括冷卻房房體和設(shè)置于冷卻房房體內(nèi)的冷卻平臺(tái)，在所述的冷卻平臺(tái)上設(shè)有排風(fēng)口，該排風(fēng)口與冷卻平臺(tái)內(nèi)的冷卻風(fēng)機(jī)相連，且待冷卻的石墨舟位于冷卻平臺(tái)的正上方，所述的冷卻房房體的頂部為錐形，在錐形頂部設(shè)有熱排口，且該熱排口與熱排管相連。通過使用本實(shí)用新型的石墨舟冷卻裝置，有利于冷卻房內(nèi)空氣的流通，使整個(gè)石墨舟能夠得到有效、均勻冷卻，可以大大提高對(duì)石墨舟的冷卻速率，縮短了冷卻時(shí)間。
【IPC分類】H01L31/18, C23C16/458
【公開號(hào)】CN205231089
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521106674
【發(fā)明人】華重慶, 柯貴軍, 朱鈺
【申請(qǐng)人】安徽銀陽光伏科技有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2015年12月25日