擴(kuò)散硅板舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散硅板舟，尤其涉及一種防止進(jìn)出擴(kuò)散爐時(shí)出現(xiàn)推拉桿撞擊硅片導(dǎo)致破片的擴(kuò)散硅板舟。
【背景技術(shù)】
[0002]目前使用的硅板舟(如中國專利“高溫?cái)U(kuò)散舟”，專利號(hào)“ZL201020612510.1”)在生產(chǎn)過程中已頻繁出現(xiàn)操作工在進(jìn)出爐時(shí)，推拉桿沒有準(zhǔn)確掛到拉孔上，而撞擊到硅片邊緣，出現(xiàn)硅片破損缺角，導(dǎo)致在后道工序中出現(xiàn)更多地破片，造成生產(chǎn)成本高，生產(chǎn)效率低下。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型針對(duì)以上問題，提供了一種增加保護(hù)硅片裝置、降低生產(chǎn)成本的擴(kuò)散娃板舟。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:包括矩形底板和兩排立柱一，所述矩形底板的一端設(shè)有拉孔，所述兩排立柱一對(duì)稱設(shè)在所述矩形底板長邊的兩側(cè)，四根相鄰立柱一形成硅片的容置空間，在所述矩形底板上設(shè)有硅片的保護(hù)機(jī)構(gòu)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)位于所述拉孔和與所述拉孔相鄰的立柱一之間。
[0005]所述保護(hù)機(jī)構(gòu)為立板，所述立板上均勻設(shè)有若干通孔，所述立板的中心線與所述拉孔的中心線在所述矩形底板的軸線上。
[0006]所述保護(hù)機(jī)構(gòu)為兩根立柱二，所述兩根立柱二的間距小于拉孔的孔徑。
[0007]所述立柱一和立柱二為錐形的碳化硅棒。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:在拉孔和硅片放置位置之間增加保護(hù)機(jī)構(gòu)，有效避免在進(jìn)出擴(kuò)散爐時(shí)，因推拉桿沒有準(zhǔn)確掛到拉孔上，而撞擊到硅片邊緣，出現(xiàn)硅片破損缺角的情況，保證了整個(gè)工序的產(chǎn)品品質(zhì)，提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型第一種實(shí)施方式的主視圖，
[0010]圖2是圖1的A-A剖視圖，
[0011 ]圖3是本實(shí)用新型第二種實(shí)施方式的主視圖，
[0012]圖4是圖3的B-B剖視圖；
[0013]圖中1是底板，2是立柱一，3是拉孔，4是立板，5是立柱二，6是硅片。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作具體說明。
[0015]本實(shí)用新型包括矩形底板1和兩排立柱一2，所述矩形底板1的一端設(shè)有拉孔3，方便推拉桿勾住，將整個(gè)擴(kuò)散硅片舟推進(jìn)或拉出擴(kuò)散爐;所述兩排立柱一 2對(duì)稱設(shè)在所述矩形底板1長邊的兩側(cè)，四根相鄰立柱一2形成硅片6的容置空間，若干硅片6堆疊在這個(gè)容置空間中；在所述矩形底板1上設(shè)有硅片6的保護(hù)機(jī)構(gòu)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)位于所述拉孔3和與所述拉孔3相鄰的立柱一 2之間。
[0016]圖1-2是本實(shí)用新型的第一種實(shí)施方式，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)為立板4，所述立板4上均勻設(shè)有若干通孔，方便擴(kuò)散源的擴(kuò)散，所述立板4的中心線與所述拉孔3的中心線在所述矩形底板1的軸線上，有效阻擋推拉桿碰到硅片。
[0017]圖3-4是本實(shí)用新型的第二種實(shí)施方式，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)為兩根立柱二5，所述兩根立柱二 5的間距小于拉孔3的孔徑，在不影響擴(kuò)散源擴(kuò)散的情況下有效阻擋推拉桿碰到硅片。
[0018]所述立柱一2和立柱二 5為錐形的碳化硅棒，碳化硅耐高溫，提高本實(shí)用新型的使用壽命;錐形碳化硅棒比長方體的碳化硅棒接觸面積大，提升擴(kuò)散效果，并方便將立柱一 2、立板4和立柱二 5設(shè)為相對(duì)于矩形底板1可拆卸的，有利于運(yùn)輸及清洗。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.擴(kuò)散硅板舟，包括矩形底板和兩排立柱一，所述矩形底板的一端設(shè)有拉孔，所述兩排立柱一對(duì)稱設(shè)在所述矩形底板長邊的兩側(cè)，四根相鄰立柱一形成硅片的容置空間，其特征在于，在所述矩形底板上設(shè)有硅片的保護(hù)機(jī)構(gòu)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)位于所述拉孔和與所述拉孔相鄰的立柱一之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散硅板舟，其特征在于，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)為立板，所述立板上均勻設(shè)有若干通孔，所述立板的中心線與所述拉孔的中心線在所述矩形底板的軸線上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散硅板舟，其特征在于，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)為兩根立柱二，所述兩根立柱二的間距小于拉孔的孔徑。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的擴(kuò)散硅板舟，其特征在于，所述立柱一和立柱二為錐形的碳化娃棒。
【專利摘要】擴(kuò)散硅板舟。涉及一種擴(kuò)散硅板舟，尤其涉及一種防止進(jìn)出擴(kuò)散爐時(shí)出現(xiàn)推拉桿撞擊硅片導(dǎo)致破片的擴(kuò)散硅板舟。增加保護(hù)硅片裝置、降低生產(chǎn)成本。所述矩形底板的一端設(shè)有拉孔，所述兩排立柱一對(duì)稱設(shè)在所述矩形底板長邊的兩側(cè)，四根相鄰立柱一形成硅片的容置空間，在所述矩形底板上設(shè)有硅片的保護(hù)機(jī)構(gòu)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)位于所述拉孔和與所述拉孔相鄰的立柱一之間。所述保護(hù)機(jī)構(gòu)為立板，所述立板上均勻設(shè)有若干通孔，所述立板的中心線與所述拉孔的中心線在所述矩形底板的軸線上。有效避免在進(jìn)出擴(kuò)散爐時(shí)，因推拉桿沒有準(zhǔn)確掛到拉孔上，而撞擊到硅片邊緣，出現(xiàn)硅片破損缺角的情況，保證了整個(gè)工序的產(chǎn)品品質(zhì)，提高生產(chǎn)效率。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號(hào)】CN205092227
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520899458
【發(fā)明人】喻慧丹, 裘立強(qiáng), 王毅
【申請(qǐng)人】揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2016年3月16日
【申請(qǐng)日】2015年11月12日