石墨舟固定硅片用銷釘?shù)闹谱鞣椒?br>【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及石墨舟配件領(lǐng)域，特別涉及一種石墨舟固定硅片用銷釘。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨舟是給太陽(yáng)能電池片中的硅片鍍膜的載體，在進(jìn)行鍍膜時(shí)，將插有未鍍膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空鍍膜設(shè)備腔體內(nèi)且利用PECVD工藝進(jìn)行放電鍍膜。鍍膜結(jié)束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來(lái)。
[0003]而在硅片鍍膜生產(chǎn)中，需要使用穿過(guò)石墨舟的銷釘將硅片固定在石墨舟中，由于銷釘經(jīng)常與硅片接觸，其是易損部件，對(duì)于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能石墨舟來(lái)說(shuō)，使用磨損后需要更換銷釘是比較困難的，并且容易損害石墨舟舟體。目前有中國(guó)專利授權(quán)公告號(hào)〇附010080818(授權(quán)公告日2010.5.19)公開(kāi)的一種硅片生產(chǎn)中使用的石墨舟，該專利附圖4中的固定件即為現(xiàn)有常用的固定硅片用的銷釘，這種銷釘雖然在更換上相對(duì)傳統(tǒng)的銷釘更簡(jiǎn)便，但是還是需要更換，增加勞動(dòng)強(qiáng)度，降低工作效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述不足和缺陷，提供一種無(wú)需更換且提高使用壽命的石墨舟固定硅片用銷釘，以解決上述問(wèn)題。
[0005]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問(wèn)題可以采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0006]石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過(guò)盈配合的中部圓柱段，所述中部圓柱段的兩端分別設(shè)置有用于承托硅片的承托段，其特征在于，所述承托段的外端面設(shè)置有調(diào)節(jié)槽。
[0007]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設(shè)置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小圓柱段，所述小圓柱段的內(nèi)側(cè)外周面設(shè)置有用以供硅片插入固定的楔形槽。
[0008]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述小圓柱段的外端面外周處理為圓角結(jié)構(gòu)。
[0009]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設(shè)置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小棱柱段。
[0010]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述小棱柱段的外端面外周處理為圓角結(jié)構(gòu)。
[0011 ]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述調(diào)節(jié)槽為腰形槽。
[0012]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述調(diào)節(jié)槽貫穿所述中部圓柱段和承托段。
[0013]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述中部圓柱段的兩端面外周處理為45°倒角結(jié)構(gòu)。
[0014]由于采用了如上的技術(shù)方案，當(dāng)承托段與硅片的接觸部位出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時(shí)，利用一調(diào)節(jié)件插入調(diào)節(jié)槽，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)件，使得中部圓柱段和承托段轉(zhuǎn)過(guò)一定的角度，此時(shí)承托段與硅片的接觸部位為無(wú)損部位，可以正常工作。當(dāng)使用時(shí)間久了，承托段與硅片的接觸部位再次出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時(shí)，重復(fù)上述調(diào)節(jié)步驟即可，短期內(nèi)無(wú)需更換銷釘，直到承托段的外周面均無(wú)法正常使用時(shí)才需更換銷釘，簡(jiǎn)化了銷釘?shù)母鼡Q工作，且提高了銷釘?shù)氖褂脡勖?br>【附圖說(shuō)明】
[0015]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施例1的主視圖。
[0017]圖2是圖1的側(cè)視圖。
[0018]圖3是本實(shí)用新型的實(shí)施例2的主視圖。
[0019]圖4是圖3的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0021]實(shí)施例1
[0022]參見(jiàn)圖1和圖2所示的石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過(guò)盈配合的中部圓柱段100，為了方便中部圓柱段100插入石墨舟的銷釘孔，中部圓柱段100的兩端面110外周處理為45°倒角結(jié)構(gòu)111。中部圓柱段100的兩端分別一體成型有用于承托硅片的承托段200，承托段200的外端面設(shè)置有調(diào)節(jié)槽300，調(diào)節(jié)槽300為腰形孔，調(diào)節(jié)槽300也可貫穿中部圓柱段100和承托段200。
[0023]本實(shí)施例中的承托段200為與中部圓柱段100同軸設(shè)置且外徑小于中部圓柱段外徑的小圓柱段210，小圓柱段210的內(nèi)側(cè)外周面設(shè)置有用以供硅片插入固定的楔形槽211。小圓柱段210的外端面212外周處理為圓角結(jié)構(gòu)213。
[0024]實(shí)施例2
[0025]參見(jiàn)圖3和圖4所示的石墨舟固定硅片用銷釘，本實(shí)施例的石墨舟固定硅片用銷釘與實(shí)施例1的石墨舟固定硅片用銷釘結(jié)構(gòu)大致相似，其區(qū)別在于，承托段200為與中部圓柱段100同軸設(shè)置且外徑小于中部圓柱段外徑的小棱柱段210a。小棱柱段210a為六棱柱段，當(dāng)然也可以為八棱柱段。小棱柱段210a的外端面212a外周處理為圓角結(jié)構(gòu)213a。
[0026]上述兩個(gè)實(shí)施例的工作原理一樣:
[0027]當(dāng)承托段200與硅片的接觸部位出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時(shí)，利用一調(diào)節(jié)件插入調(diào)節(jié)槽300，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)件，使得中部圓柱段100和承托段200轉(zhuǎn)過(guò)一定的角度，此時(shí)承托段200與硅片的接觸部位為無(wú)損部位，可以正常工作。當(dāng)使用時(shí)間久了，承托段200與硅片的接觸部位再次出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時(shí)，重復(fù)上述調(diào)節(jié)步驟即可，短期內(nèi)無(wú)需更換銷釘，直到承托段200的外周面均無(wú)法正常使用時(shí)才需更換銷釘，簡(jiǎn)化了銷釘?shù)母鼡Q工作，且提高了銷釘?shù)氖褂脡勖?br>[0028]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過(guò)盈配合的中部圓柱段，所述中部圓柱段的兩端分別設(shè)置有用于承托硅片的承托段，其特征在于，所述承托段的外端面設(shè)置有調(diào)節(jié)槽。2.如權(quán)利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設(shè)置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小圓柱段，所述小圓柱段的內(nèi)側(cè)外周面設(shè)置有用以供硅片插入固定的楔形槽。3.如權(quán)利要求2所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述小圓柱段的外端面外周處理為圓角結(jié)構(gòu)。4.如權(quán)利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述承托段為與所述中部圓柱段同軸設(shè)置且外徑小于所述中部圓柱段外徑的小棱柱段。5.如權(quán)利要求4所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述小棱柱段的外端面外周處理為圓角結(jié)構(gòu)。6.如權(quán)利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述調(diào)節(jié)槽為腰形槽。7.如權(quán)利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述調(diào)節(jié)槽貫穿所述中部圓柱段和承托段。8.如權(quán)利要求1所述的石墨舟固定硅片用銷釘，其特征在于，所述中部圓柱段的兩端面外周處理為45°倒角結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石墨舟固定硅片用銷釘，包括與石墨舟的銷釘孔過(guò)盈配合的中部圓柱段，所述中部圓柱段的兩端分別設(shè)置有用于承托硅片的承托段，所述承托段的外端面設(shè)置有調(diào)節(jié)槽。當(dāng)承托段與硅片的接觸部位出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時(shí)，利用一調(diào)節(jié)件插入調(diào)節(jié)槽，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)件，使得中部圓柱段和承托段轉(zhuǎn)過(guò)一定的角度，此時(shí)承托段與硅片的接觸部位為無(wú)損部位，可以正常工作。當(dāng)使用時(shí)間久了，承托段與硅片的接觸部位再次出現(xiàn)較大的磨損且影響正常工作時(shí)，重復(fù)上述調(diào)節(jié)步驟即可，短期內(nèi)無(wú)需更換銷釘，直到承托段的外周面均無(wú)法正常使用時(shí)才需更換銷釘，簡(jiǎn)化了銷釘?shù)母鼡Q工作，且提高了銷釘?shù)氖褂脡勖?br>【IPC分類】H01L21/687, C23C16/458
【公開(kāi)號(hào)】CN205211725
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521033842
【發(fā)明人】張孟彤, 顧愛(ài)平
【申請(qǐng)人】上海弘楓實(shí)業(yè)有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年12月11日