石墨舟u型槽工藝點(diǎn)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制造行業(yè)，尤其是一種鍍膜用的石墨舟卡點(diǎn)及其生產(chǎn)工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽(yáng)能電池片的制造過(guò)程中，硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí)，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用石墨舟，具體操作過(guò)程是:將硅片插入石墨舟并通過(guò)石墨舟卡點(diǎn)定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜。
[0003]如圖1所示，現(xiàn)有的石墨舟卡點(diǎn)主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個(gè)且對(duì)稱(chēng)分布在安裝部?jī)啥嗣嫔?，卡塊是自外向內(nèi)漸縮的圓柱體，其端面與側(cè)面之間采用圓弧過(guò)渡面，卡塊的根部與安裝部的端面之間分別形成用于卡合硅片的卡槽?，F(xiàn)有的石墨舟在使用到30run(次)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)邊緣發(fā)白現(xiàn)象，且到后期愈發(fā)嚴(yán)重，且在做MUL和NY工藝時(shí)，卡點(diǎn)會(huì)燒焦，尤其是做MUL工藝時(shí)，卡點(diǎn)燒焦加重，燒焦比例一度超過(guò)30%。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，該石墨舟卡點(diǎn)可有效敢刪石墨舟邊緣發(fā)白及卡點(diǎn)燒焦的現(xiàn)象。為實(shí)現(xiàn)該目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]—種石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，包括卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的安裝部組成，卡塊為兩個(gè)且對(duì)稱(chēng)分布在安裝部的兩端面上，卡塊的端面與側(cè)面之間設(shè)有過(guò)渡面，所述卡塊由端部、過(guò)渡部、根部組成，卡塊的根部及過(guò)渡部與安裝部的端面之間分別形成硅片的卡槽，所述卡槽為開(kāi)口大，底部小的“U”型槽。
[0006]進(jìn)一步地，所述安裝部的直徑為9mm，卡塊的直徑為6.5mm，卡槽的直徑為5.2mm。
[0007]進(jìn)一步地，所述卡槽的底部的寬度為0.35mm。
[0008]進(jìn)一步地，所述安裝部為圓柱體，所述安裝部的端面與側(cè)面之間設(shè)有斜面過(guò)渡。
[0009]相比較現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型具有的有益效果:(1)增加了卡槽深度，卡槽的深度是原始卡槽深度的將近1.7倍，以直徑為9_的石墨舟卡點(diǎn)為例，原始卡槽深度為0.75mm,本實(shí)用新型的卡槽深度為1.25_，使卡點(diǎn)與硅片接觸面積增加了；(2)卡槽由原來(lái)的“V”型變?yōu)楝F(xiàn)在的“U”型，使硅片與舟頁(yè)貼合更緊密，降低了 SiNx或Si02沉積的幾率。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術(shù)石墨舟卡點(diǎn)結(jié)構(gòu)不意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型石墨舟卡點(diǎn)結(jié)構(gòu)不意圖；
[0012]圖中，1-卡塊，2-安裝部，3-過(guò)渡面，4-卡槽。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合實(shí)施例以及附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。
[0014]實(shí)施例1
[0015]如圖2所示，一種石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，包括卡塊1和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的圓柱形的安裝部2組成，卡塊1為兩個(gè)且對(duì)稱(chēng)分布在安裝部2的兩端面上，卡塊1的端面與側(cè)面之間設(shè)有過(guò)渡面3，所述卡塊1由端部11、過(guò)渡部12、根部13組成，卡塊1的根部13及過(guò)渡部12與安裝部2的端面之間分別形成用于硅片的卡槽4，所述卡槽為開(kāi)口大，底部小的“U”型槽。
[0016]所述石墨舟卡點(diǎn)的圓柱形的安裝部2的直徑為9mm，圓柱形的卡塊1的直徑為6.5mm，卡槽4的直徑為5.2mm，所述卡槽4的底部的寬度為0.35mm。
[0017]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型而并非限制本實(shí)用新型所描述的技術(shù)方案；因此，盡管本說(shuō)明書(shū)參照上述的各個(gè)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型已進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但是，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，仍然可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行修改或等同替換；而一切不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的技術(shù)方案及其改進(jìn)，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，包括卡塊(1)和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的安裝部(2)組成，卡塊(1)為兩個(gè)且對(duì)稱(chēng)分布在安裝部(2)的兩端面上，卡塊(1)的端面與側(cè)面之間設(shè)有過(guò)渡面(3)，其特征在于:所述卡塊(1)由端部(11)、過(guò)渡部(12)、根部(13)組成，卡塊(1)的根部(13)及過(guò)渡部(12)與安裝部(2)的端面之間分別形成硅片的卡槽(4)，所述卡槽⑷為開(kāi)口大，底部小的“U”型槽。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，其特征在于:所述安裝部(2)的直徑為9mm，卡塊(1)的直徑為6.5mm，卡槽⑷的直徑為5.2mm。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，其特征在于:所述卡槽(4)的底部的寬度為0.35mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一權(quán)利要求所述的石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，其特征在于:所述安裝部(2)為圓柱體，所述安裝部(2)的端面與側(cè)面之間設(shè)有斜面過(guò)渡。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制造行業(yè)，尤其是一種鍍膜用的石墨舟卡點(diǎn)。一種石墨舟U型槽工藝點(diǎn)，包括卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的安裝部組成，卡塊為兩個(gè)且對(duì)稱(chēng)分布在安裝部的兩端面上，卡塊的端面與側(cè)面之間設(shè)有過(guò)渡面，卡塊的根部與安裝部的端面之間分別形成硅片的卡槽，所述卡槽的側(cè)面與柱形安裝部的端面及卡塊的端面之間的夾角為直角，卡槽的橫截面為U形。相比較現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型增加了卡槽深度，使卡點(diǎn)與硅片接觸面積比原始卡點(diǎn)增加41.2％；卡槽由原來(lái)的“V”型變?yōu)楝F(xiàn)在的“U”型，使硅片與舟頁(yè)貼合更緊密，降低了SiNx或SiO2沉積的幾率。
【IPC分類(lèi)】H01L21/673, H01L31/18
【公開(kāi)號(hào)】CN205039136
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520703734
【發(fā)明人】朱建中
【申請(qǐng)人】鎮(zhèn)江鵬飛光伏技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2016年2月17日
【申請(qǐng)日】2015年9月11日