管式pecvd石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，包括石墨舟輸送裝置和工藝點(diǎn)壓裝裝置，工藝點(diǎn)壓裝裝置設(shè)置在石墨舟輸送裝置的正上方。本發(fā)明包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動(dòng)石墨舟固定夾具移動(dòng)的移動(dòng)裝置，在石墨舟固定夾具上安裝固定好石墨舟后，使用移動(dòng)裝置將固定好的石墨舟移動(dòng)到導(dǎo)向板的正下方，導(dǎo)向板通過(guò)升降裝置下移到與石墨舟上表面接觸，在導(dǎo)向板的導(dǎo)向套筒內(nèi)放置工藝點(diǎn)，最后通過(guò)工藝點(diǎn)壓點(diǎn)裝置將工藝點(diǎn)安裝在石墨舟的工藝孔內(nèi)，全部工序均通過(guò)機(jī)器自動(dòng)完成，節(jié)省了人力，提高了安裝效率，提高了勞動(dòng)生產(chǎn)率。
【專利說(shuō)明】
管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池片制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽(yáng)能電池片的制造過(guò)程中，硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí)，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過(guò)程是:將硅片插入石墨舟并通過(guò)石墨舟工藝點(diǎn)定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜。
[0003]現(xiàn)有的石墨舟工藝點(diǎn)主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個(gè)且對(duì)稱分布在安裝部?jī)啥嗣嫔?，卡塊是自外向內(nèi)漸縮的圓柱體，其端面與側(cè)面之間采用圓弧過(guò)渡面，卡塊的根部與安裝部的端面之間分別形成用于卡合硅片的卡槽?，F(xiàn)有的石墨舟在使用到30run(次)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)邊緣發(fā)白現(xiàn)象，且到后期愈發(fā)嚴(yán)重，且在做MUL和NY工藝時(shí)，工藝點(diǎn)會(huì)燒焦，尤其是做MUL工藝時(shí)，工藝點(diǎn)燒焦加重，燒焦比例一度超過(guò)30%。因此在日常生產(chǎn)中，管式PECVD石墨舟維修及維護(hù)較為頻繁，石墨舟長(zhǎng)的工藝點(diǎn)較多，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中管式PECVD石墨舟維修及維護(hù)較為頻繁，石墨舟長(zhǎng)的工藝點(diǎn)較多，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低的問題，提供一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置。
[0005]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，包括石墨舟輸送裝置和工藝點(diǎn)壓裝裝置，所述工藝點(diǎn)壓裝裝置設(shè)置在所述石墨舟輸送裝置的正上方。
[0006]進(jìn)一步的，所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動(dòng)石墨舟固定夾具移動(dòng)的移動(dòng)裝置，所述石墨舟固定夾具滑動(dòng)安裝在所述移動(dòng)裝置上。
[0007]進(jìn)一步的，為了更好的固定石墨舟，所述石墨舟固定夾具包括底板，所述底板上固定安裝有安裝塊，所述安裝塊上開有直角開口，兩個(gè)所述安裝塊對(duì)稱設(shè)置，所述底板上開有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋安裝有螺釘，所述底板上開有若干與石墨舟上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的工藝盲孔。
[0008]進(jìn)一步的，所述工藝盲孔的深度與工藝點(diǎn)中卡塊的高度相等，便于在工藝點(diǎn)的安裝過(guò)程中，限制工藝點(diǎn)在該工藝孔中的位置。
[0009]進(jìn)一步的，所述工藝點(diǎn)壓裝裝置包括導(dǎo)向裝置和壓點(diǎn)裝置，所述導(dǎo)向裝置與所述壓點(diǎn)裝置相對(duì)設(shè)置。
[0010]進(jìn)一步的，所述導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)向板和驅(qū)動(dòng)導(dǎo)向板升降的升降裝置，所述導(dǎo)向板固定安裝在所述升降裝置上，所述導(dǎo)向板上開有若干導(dǎo)向孔，若干所述導(dǎo)向孔與石墨舟上的工藝孔相對(duì)應(yīng)，所述導(dǎo)向板上表面導(dǎo)向孔所在位置處固定安裝有導(dǎo)向套筒，所述導(dǎo)向孔與所述導(dǎo)向套筒同軸心。
[0011]進(jìn)一步的，所述壓點(diǎn)裝置包括壓板和驅(qū)動(dòng)壓板升降的升降裝置，所述壓板固定安裝在所述升降裝置上，所述壓板上固定安裝有若干與石墨舟上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的壓桿，所述壓桿與所述導(dǎo)向套筒同軸心。
[0012]進(jìn)一步的，為了簡(jiǎn)化本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)，所述移動(dòng)裝置為絲桿驅(qū)動(dòng)裝置，包括絲桿，絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)裝置、具有滑槽的導(dǎo)軌和滑塊，所述絲桿驅(qū)動(dòng)裝置與所述絲桿固定連接，所述滑塊與所述絲桿傳動(dòng)連接，所述滑塊滑動(dòng)安裝在所述導(dǎo)軌內(nèi)。
[0013]進(jìn)一步的，為了簡(jiǎn)化本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)，所述升降裝置為推動(dòng)缸。
[0014]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動(dòng)石墨舟固定夾具移動(dòng)的移動(dòng)裝置，在石墨舟固定夾具上安裝固定好石墨舟后，使用移動(dòng)裝置將固定好的石墨舟移動(dòng)到導(dǎo)向板的正下方，導(dǎo)向板通過(guò)升降裝置下移到與石墨舟上表面接觸，在導(dǎo)向板的導(dǎo)向套筒內(nèi)放置工藝點(diǎn)，最后通過(guò)工藝點(diǎn)壓點(diǎn)裝置將工藝點(diǎn)安裝在石墨舟的工藝孔內(nèi)，全部工序均通過(guò)機(jī)器自動(dòng)完成，節(jié)省了人力，提高了安裝效率，提高了勞動(dòng)生產(chǎn)率。
【附圖說(shuō)明】
[0015]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。
[0016]圖1是本發(fā)明的三維裝配示意圖；
[0017]圖2是本發(fā)明的主視圖；
[0018]圖3是本發(fā)明中石墨舟輸送裝置與導(dǎo)向裝置的三維裝配示意圖；
[0019]圖4是本發(fā)明中石墨舟固定夾具與石墨舟的三維裝配示意圖；
[0020]圖5是本發(fā)明中石墨舟固定夾具的三維裝配示意圖；
[0021]圖6是本發(fā)明中導(dǎo)向板的三維示意圖；
[0022]圖7是本發(fā)明中壓板的三維示意圖；
[0023]圖8是石墨舟的俯視圖。
[0024]圖中:1.底板，2.安裝塊，3.直角開口，4.螺釘，5.工藝盲孔，6.導(dǎo)向板，7.導(dǎo)向孔，8.導(dǎo)向套筒，9.壓板，10.壓桿，11 ?絲桿，12.導(dǎo)軌，13.電機(jī)，14.升降氣缸，15.底座，16.支架，17.橫梁，18.石墨舟。
【具體實(shí)施方式】
[0025]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
[0026]如圖1和圖2所示的一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，包括底座15，底座15上設(shè)有兩條平行導(dǎo)軌12，絲桿11轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在底座15上，絲桿11通過(guò)電機(jī)13驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿11上傳動(dòng)安裝滑塊，滑塊上固定安裝底板I，如圖3所示。兩個(gè)底板I間隔安裝，所述底板I上固定安裝有安裝塊2，所述安裝塊2上開有直角開口 3，兩個(gè)所述安裝塊2對(duì)稱設(shè)置，所述底板I上開有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋安裝有螺釘4，所述底板I上開有若干與石墨舟18上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的工藝盲孔5，如圖5所示，工藝盲孔5的深度與工藝點(diǎn)中卡塊的高度相等，便于在工藝點(diǎn)的安裝過(guò)程中，限制工藝點(diǎn)在該工藝孔中的位置。
[0027]底座15上底板I所在導(dǎo)軌12的兩側(cè)均固定安裝支架16，支架16上固定安裝升降氣缸14，升降氣缸14的伸出端固定安裝導(dǎo)向板6，所述導(dǎo)向板6上開有若干導(dǎo)向孔7，如圖6所示，若干所述導(dǎo)向孔7與石墨舟18上的工藝孔相對(duì)應(yīng)，所述導(dǎo)向板6上表面導(dǎo)向孔7所在位置處固定安裝有導(dǎo)向套筒8，所述導(dǎo)向孔7與所述導(dǎo)向套筒8同軸心。
[0028]所述底座15上通過(guò)支架16固定安裝一條橫梁17，橫梁17上固定安裝升降氣缸14，升降氣缸14的伸出端與如圖7所示的壓板9固定連接，壓板9位于導(dǎo)向板6的正上方，所述壓板9上固定安裝有若干與石墨舟18上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的壓桿10，所述壓桿10與所述導(dǎo)向套筒8同軸心。
[0029]工作過(guò)程:
[0030]1、在石墨舟安裝固定夾具的底板I上固定安裝石墨舟18，如圖4所示，安裝好的石墨舟18上的工藝孔與底板I上的工藝盲孔5—一對(duì)應(yīng)。
[0031 ] 2、啟動(dòng)石墨舟輸送裝置中的電機(jī)13，電機(jī)13轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)絲桿11轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿11轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)滑塊移動(dòng)，滑塊帶動(dòng)底板I向?qū)虬?移動(dòng)，待底板I移動(dòng)到導(dǎo)向板6的正下方，石墨舟18上的工藝孔與導(dǎo)向板6中的導(dǎo)向孔7—一對(duì)應(yīng)時(shí)，關(guān)閉電機(jī)13，由于一根絲桿11上安裝有兩個(gè)底板I，兩個(gè)底板I間隔設(shè)置，在一個(gè)底板I位于導(dǎo)向板6正下方時(shí)，另一個(gè)底板I遠(yuǎn)離導(dǎo)向板6，方便在底板I上安裝石墨舟18。
[0032]3、啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)向板6升降的升降氣缸14，升降氣缸14伸出端伸出，帶動(dòng)導(dǎo)向板6向?qū)虬?正下方的底板I移動(dòng)，待導(dǎo)向板6的下表面與石墨舟18的上表面接觸時(shí)，關(guān)閉升降氣缸14。
[0033]4、將工藝點(diǎn)放入導(dǎo)向板6上的導(dǎo)向套筒8內(nèi)，由于導(dǎo)向套筒8的內(nèi)半徑與工藝點(diǎn)的半徑相等，工藝點(diǎn)上的卡塊上下設(shè)置，進(jìn)入導(dǎo)向套筒8內(nèi)。
[0034]5、啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)壓板9升降的升降氣缸14，升降氣缸14伸出端伸出，帶動(dòng)壓板9向?qū)虬?靠近，壓桿10伸入導(dǎo)向套筒8內(nèi)，推動(dòng)導(dǎo)向套筒8內(nèi)的工藝點(diǎn)向下運(yùn)動(dòng)，待工藝點(diǎn)下方的卡塊與底板I上工藝盲孔5的底部接觸時(shí)，升降氣缸14收縮，帶動(dòng)壓板9遠(yuǎn)離導(dǎo)向板6，升降氣缸14復(fù)位后，關(guān)閉升降氣缸14。
[0035]以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:包括石墨舟輸送裝置和工藝點(diǎn)壓裝裝置，所述工藝點(diǎn)壓裝裝置設(shè)置在所述石墨舟輸送裝置的正上方。2.如權(quán)利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動(dòng)石墨舟固定夾具移動(dòng)的移動(dòng)裝置，所述石墨舟固定夾具滑動(dòng)安裝在所述移動(dòng)裝置上。3.如權(quán)利要求2所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述石墨舟固定夾具包括底板(I)，所述底板(I)上固定安裝有安裝塊(2)，所述安裝塊(2)上開有直角開口(3)，兩個(gè)所述安裝塊(2)對(duì)稱設(shè)置，所述底板(I)上開有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋安裝有螺釘(4)，所述底板(I)上開有若干與石墨舟(18)上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的工藝盲孔(5)。4.如權(quán)利要求3所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述工藝盲孔(5)的深度與工藝點(diǎn)中卡塊的高度相等。5.如權(quán)利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述工藝點(diǎn)壓裝裝置包括導(dǎo)向裝置和壓點(diǎn)裝置，所述導(dǎo)向裝置與所述壓點(diǎn)裝置相對(duì)設(shè)置。6.如權(quán)利要求5所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)向板(6)和驅(qū)動(dòng)導(dǎo)向板(6)升降的升降裝置，所述導(dǎo)向板(6)固定安裝在所述升降裝置上，所述導(dǎo)向板(6)上開有若干導(dǎo)向孔(7)，若干所述導(dǎo)向孔(7)與石墨舟(18)上的工藝孔相對(duì)應(yīng)，所述導(dǎo)向板(6)上表面導(dǎo)向孔(7)所在位置處固定安裝有導(dǎo)向套筒(8)，所述導(dǎo)向孔(7)與所述導(dǎo)向套筒(8)同軸心。7.如權(quán)利要求6所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述壓點(diǎn)裝置包括壓板(9)和驅(qū)動(dòng)壓板(9)升降的升降裝置，所述壓板(9)固定安裝在所述升降裝置上，所述壓板(9)上固定安裝有若干與石墨舟(18)上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的壓桿(10)，所述壓桿(10)與所述導(dǎo)向套筒(8)同軸心。8.如權(quán)利要求2或7所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述移動(dòng)裝置為絲桿驅(qū)動(dòng)裝置，包括絲桿(11)，絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)裝置、具有滑槽的導(dǎo)軌(12)和滑塊，所述絲桿(11)驅(qū)動(dòng)裝置與所述絲桿(I I)固定連接，所述滑塊與所述絲桿(11)傳動(dòng)連接，所述滑塊滑動(dòng)安裝在所述導(dǎo)軌(12)內(nèi)。9.如權(quán)利要求6或7所述的管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置，其特征在于:所述升降裝置為推動(dòng)缸。
【文檔編號(hào)】C23C16/458GK105932112SQ201610481163
【公開日】2016年9月7日
【申請(qǐng)日】2016年6月27日
【發(fā)明人】鄒海軍, 吳佳俊, 吳俊 , 王少華
【申請(qǐng)人】常州億晶光電科技有限公司