技術(shù)編號(hào)：10571542
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在太陽(yáng)能電池片的制造過(guò)程中，硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí)，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過(guò)程是將硅片插入石墨舟并通過(guò)石墨舟工藝點(diǎn)定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜?，F(xiàn)有的石墨舟工藝點(diǎn)主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個(gè)且對(duì)稱分布在安裝部?jī)啥嗣嫔?，卡塊是自外向內(nèi)漸縮的圓柱體，其端面與側(cè)面之間采...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。