一種用于foup的識(shí)別裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路的自動(dòng)傳送系統(tǒng)，更具體地，涉及一種在自動(dòng)傳送系統(tǒng)中用于FOUP的裝配識(shí)別裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，300mm晶圓已經(jīng)逐步取代200mm晶圓成為主流產(chǎn)品，裝載有晶圓的FOUP每盒重量也由原來(lái)的約4公斤增加為約9公斤。在此狀況下，如果仍然借助人力進(jìn)行FOUP的手工搬運(yùn)，不僅會(huì)降低生產(chǎn)效率，而且還存在造成搬運(yùn)人員人身傷害的安全隱患。同時(shí)，半導(dǎo)體制造廠對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求也越來(lái)越嚴(yán)苛。因此，自動(dòng)傳送系統(tǒng)已開(kāi)始被廣泛使用。并且，其作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送晶圓的紐帶作用的重要性也日益突顯出來(lái)。
[0003]請(qǐng)參閱圖1，圖1是現(xiàn)有的一種FOUP結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，F(xiàn)OUP包括相配合的底盤(pán)10和主體11兩部分結(jié)構(gòu)，底盤(pán)10和主體11之間可通過(guò)各自的裝配面12進(jìn)行安裝配合。在自動(dòng)傳送系統(tǒng)的線上使用的FOUP通常采用底盤(pán)拆卸的裝配方式，其利用底盤(pán)上的傳動(dòng)孔帶動(dòng)主體定位銷的進(jìn)出，以達(dá)到鎖住FOUP的目的。
[0004]請(qǐng)參閱圖2，圖2是圖1中底盤(pán)放大結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，由于現(xiàn)在FOUP上采用的底盤(pán)，其傳動(dòng)孔采用的是中心點(diǎn)排布方式，即圖示的兩個(gè)傳動(dòng)孔13位于底盤(pán)10的中部。在將底盤(pán)10與主體11進(jìn)行裝配時(shí)，其上下前后的標(biāo)識(shí)僅僅是以底盤(pán)和主體上面的對(duì)齊標(biāo)識(shí)來(lái)判斷的。在安裝的時(shí)候，由于原本材料的設(shè)計(jì)公差較寬裕，使得安裝時(shí)底盤(pán)無(wú)論上下方向(即可以180度顛倒安裝)都能完成與主體的裝配。
[0005]在進(jìn)行工藝開(kāi)發(fā)過(guò)程中，經(jīng)常需要臨時(shí)通過(guò)人力方式來(lái)搬運(yùn)F0UP，并手動(dòng)進(jìn)行傳片。這時(shí)，就需要手動(dòng)開(kāi)啟及安裝F0UP。但由于現(xiàn)有的FOUP底盤(pán)在設(shè)計(jì)上并沒(méi)有設(shè)置識(shí)別(防呆)裝置，導(dǎo)致安裝底盤(pán)時(shí)的方向性容易混淆。而安裝錯(cuò)誤的FOUP—旦被放在機(jī)臺(tái)上加工時(shí)，就會(huì)因這種裝配錯(cuò)誤而產(chǎn)生的微小偏差，造成機(jī)臺(tái)傳送裝置的卡死，從而導(dǎo)致設(shè)備的損壞。
[0006]因此，如何能提供一個(gè)可以識(shí)別裝配方位的F0UP，是當(dāng)前需要解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種用于FOUP的識(shí)別裝置，可使底盤(pán)與主體之間的裝配方向具有唯一性。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0009]一種用于FOUP的識(shí)別裝置，所述FOUP包括相配合的主體和底盤(pán)，所述識(shí)別裝置包括設(shè)于底盤(pán)的第一結(jié)構(gòu)和設(shè)于主體的第二結(jié)構(gòu)，第一、第二結(jié)構(gòu)分別位于底盤(pán)和主體的裝配面;其中，通過(guò)第一、第二結(jié)構(gòu)之間的配合，使底盤(pán)與主體之間的裝配方向?yàn)槲ㄒ弧?br>[0010]優(yōu)選地，所述第一、第二結(jié)構(gòu)為分設(shè)于底盤(pán)和主體裝配面相配合的一對(duì)突塊和凹槽。
[0011]優(yōu)選地，所述第一、第二結(jié)構(gòu)在底盤(pán)和主體的一側(cè)裝配面設(shè)置一至若干對(duì)。
[0012]優(yōu)選地，所述突塊為半球形、錐形或柱形。
[0013]優(yōu)選地，所述柱形為三角柱形、半圓柱形或方柱形。
[0014]優(yōu)選地，所述柱形垂直或水平設(shè)置。
[0015]從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型通過(guò)在FOUP底盤(pán)和主體的裝配面之間設(shè)置識(shí)別裝置，例如相配合的突塊和凹槽結(jié)構(gòu)，使得底盤(pán)只能以規(guī)定的一種方向與主體進(jìn)行裝配，可有效避免在安裝底盤(pán)時(shí)出現(xiàn)方向性錯(cuò)誤，保證FOUP安裝過(guò)程的正確性，從而防止因裝配錯(cuò)誤導(dǎo)致的設(shè)備損壞事故的發(fā)生。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是現(xiàn)有的一種FOUP結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是圖1中底盤(pán)放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的一種用于FOUP的識(shí)別裝置的裝配結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的一種用于FOUP的識(shí)別裝置的一種半球形突塊結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0021]需要說(shuō)明的是，在下述的【具體實(shí)施方式】中，在詳述本實(shí)用新型的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)以便于說(shuō)明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定來(lái)加以理解。
[0022]在以下本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】中，請(qǐng)參閱圖3，圖3是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的一種用于FOUP的識(shí)別裝置的裝配結(jié)構(gòu)示意圖，其顯示沿裝配面的剖面結(jié)構(gòu)。如圖3所示，本實(shí)用新型的一種用于FOUP的識(shí)別裝置，設(shè)置在FOUP上，所述FOUP包括相配合的底盤(pán)20和主體21，底盤(pán)20和主體21之間通過(guò)各自的裝配面22進(jìn)行安裝配合。在拆卸底盤(pán)時(shí)，底盤(pán)上的兩個(gè)傳動(dòng)孔23可帶動(dòng)主體定位銷(圖略)的進(jìn)出，以鎖住F0UP。所述識(shí)別裝置包括設(shè)于底盤(pán)20的第一結(jié)構(gòu)25和設(shè)于主體21的第二結(jié)構(gòu)24，第一、第二結(jié)構(gòu)25、24分別位于底盤(pán)20和主體21的裝配面22。
[0023]請(qǐng)參閱圖3。作為一可選的實(shí)施方式，所述第一、第二結(jié)構(gòu)25、24可采用分設(shè)于底盤(pán)20和主體21的裝配面22、并相配合的一對(duì)突塊25和凹槽24形式。為了保持FOUP的現(xiàn)有整體結(jié)構(gòu)，采用突塊和凹槽的配合形式，是識(shí)別裝置的一種較為簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)模式。當(dāng)然，本實(shí)用新型的識(shí)別裝置也可以采用可同樣起到定位識(shí)別作用的其他結(jié)構(gòu)，例如可采用銷釘(包括活動(dòng)銷釘)與銷孔的配合結(jié)構(gòu)，以及卡扣與卡口的配合結(jié)構(gòu)等等。在底盤(pán)20與主體21進(jìn)行裝配時(shí)，通過(guò)突塊25(第一結(jié)構(gòu))和凹槽24(第二結(jié)構(gòu))之間的配合，可使得底盤(pán)20與主體21之間的裝配方向具有唯一性。如果將底盤(pán)以其他方向(例如顛倒180度)與主體進(jìn)行裝配時(shí)，就會(huì)因主體的其他裝配面缺少與之配合的凹槽，而將底盤(pán)上突出的突塊擋住，使底盤(pán)的裝配面不能進(jìn)入主體而被識(shí)別出裝配方向的錯(cuò)誤。
[0024]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。作為一可選的實(shí)施方式，所述突塊25和凹槽24在底盤(pán)20和主體21的一側(cè)裝配面22可設(shè)置一至若干對(duì)。作為優(yōu)選，本實(shí)施例采用了在底盤(pán)20和主體21的同一側(cè)裝配面22(圖示為上端裝配面)設(shè)置兩對(duì)相配合的突塊25和凹槽24結(jié)構(gòu)形式。
[0025]作為進(jìn)一步可選的實(shí)施方式，所述突塊25可為柱形，所述凹槽24即為形狀相配合的槽形。例如，所述柱形可為三角柱形、半圓柱形或方柱形(以及多邊柱形等)，所述凹槽即為可使這些柱形進(jìn)入的形狀相配合的槽形。本實(shí)用新型不限于此。圖3中本實(shí)施例采用了在底盤(pán)和主體的同一側(cè)裝配面設(shè)置兩對(duì)相配合的半圓柱形突塊25和半圓柱形凹槽24結(jié)構(gòu)形式。并且，在采用柱形的突塊時(shí)，所述柱形可以垂直或水平方式設(shè)置在底盤(pán)的裝配面上。本實(shí)施例采用了沿裝配方向以水平方式設(shè)置在底盤(pán)裝配面上的半圓柱形突塊25，對(duì)應(yīng)的，在主體的裝配面沿裝配方向加工有相配合的半圓柱形凹槽24。
[0026]作為其他進(jìn)一步可選的實(shí)施方式，所述突塊還可為半球形或錐形，所述凹槽為相配合的具有半球形或錐形截面的長(zhǎng)形槽。請(qǐng)參閱圖4，圖4是本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的一種用于FOUP的識(shí)別裝置的一種半球形突塊結(jié)構(gòu)示意圖，其顯示底盤(pán)的一個(gè)側(cè)面。如圖4所示，突塊為半球形突塊26(俯視方向)，在底盤(pán)20的同側(cè)裝配面22設(shè)置兩個(gè)。同理，在主體的對(duì)應(yīng)側(cè)面也設(shè)置有兩個(gè)半球形長(zhǎng)槽(圖略)。
[0027]綜上所述，本實(shí)用新型通過(guò)在FOUP底盤(pán)和主體的裝配面之間設(shè)置例如相配合的突塊和凹槽結(jié)構(gòu)的識(shí)別裝置，使得底盤(pán)只能以規(guī)定的一種方向與主體進(jìn)行裝配，可有效避免在安裝底盤(pán)時(shí)出現(xiàn)方向性錯(cuò)誤，保證FOUP安裝過(guò)程的正確性，從而防止因裝配錯(cuò)誤導(dǎo)致的設(shè)備損壞事故的發(fā)生。
[0028]以上所述的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本實(shí)用新型的說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于FOUP的識(shí)別裝置，所述FOUP包括相配合的主體和底盤(pán)，其特征在于，所述識(shí)別裝置包括設(shè)于底盤(pán)的第一結(jié)構(gòu)和設(shè)于主體的第二結(jié)構(gòu)，第一、第二結(jié)構(gòu)分別位于底盤(pán)和主體的裝配面;其中，通過(guò)第一、第二結(jié)構(gòu)之間的配合，使底盤(pán)與主體之間的裝配方向?yàn)槲∣2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于FOUP的識(shí)別裝置，其特征在于，所述第一、第二結(jié)構(gòu)為分設(shè)于底盤(pán)和主體裝配面相配合的一對(duì)突塊和凹槽。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于FOUP的識(shí)別裝置，其特征在于，所述第一、第二結(jié)構(gòu)在底盤(pán)和主體的一側(cè)裝配面設(shè)置一至若干對(duì)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于FOUP的識(shí)別裝置，其特征在于，所述突塊為半球形、錐形或柱形。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于FOUP的識(shí)別裝置，其特征在于，所述柱形為三角柱形、半圓柱形或方柱形。6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的用于FOUP的識(shí)別裝置，其特征在于，所述柱形垂直或水平設(shè)置。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于FOUP的識(shí)別裝置，所述FOUP包括相配合的主體和底盤(pán)，所述識(shí)別裝置包括設(shè)于底盤(pán)的第一結(jié)構(gòu)和設(shè)于主體的第二結(jié)構(gòu)，第一、第二結(jié)構(gòu)分別位于底盤(pán)和主體的裝配面；通過(guò)第一、第二結(jié)構(gòu)之間的配合，使得底盤(pán)只能以規(guī)定的一種方向與主體進(jìn)行裝配，可有效避免在安裝底盤(pán)時(shí)出現(xiàn)方向性錯(cuò)誤，保證FOUP安裝過(guò)程的正確性，從而防止因裝配錯(cuò)誤而導(dǎo)致的設(shè)備損壞事故的發(fā)生。
【IPC分類】H01L21/68
【公開(kāi)號(hào)】CN205211724
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521087486
【發(fā)明人】顧曉冬
【申請(qǐng)人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年12月23日