專利名稱：一種新型等離子刻蝕夾具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池制造領域，尤其是涉及一種新型等離子刻蝕夾具。
背景技術：
現有等離子刻蝕夾具存在調節(jié)夾緊范圍偏小的問題。需要在底部墊3-4cm的鋁板才能夾緊硅片，減小了刻蝕腔體的有效氣體容積，且阻擋了腔體下部氣體的流動?，F有夾具采用鋁制材料，上部一個旋緊螺母，側邊四根檔桿的結構，限制了可以裝載的硅片的片數， 且沒有起到很好的壓緊硅片的效果。

實用新型內容本實用新型的目的就是為了克服上述現有技術存在的缺陷而提供一種結構簡單、 刻蝕效果好的新型等離子刻蝕夾具。本實用新型的目的可以通過以下技術方案來實現一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，該夾具包括螺桿、底座及壓板，所述的螺桿有兩根，設在兩側，所述的底座設在下部，兩端套設在螺桿上，所述的壓板設在底座的上方，兩端套設在螺桿上。所述的螺桿上設有旋緊螺母。所述的底座為可在螺桿上自由移動的底座，經旋緊螺母固定定位。所述的底座包括兩塊底板，兩塊底板之間經支柱連接。所述的支柱設有5根。所述的壓板為可在螺桿上自由移動的壓板，經旋緊螺母固定定位。所述的壓板由底板及壓緊撐手構成，所述的壓緊撐手設在底板頂部的中間位置。與現有技術相比，本實用新型具有以下優(yōu)點(1)結構簡單利用鋼板的材料特性用最簡單的結構達到了夾緊的目的；(2)刻蝕效果佳架空的底座使下部的硅片也能受到等離子體充分的物理轟擊， 且使裝載硅片整體抬高，位于刻蝕腔體的上部，能得到更高的并阻值和電池效率；(3)有助于提高產量螺桿的高度可調，使可裝載硅片數的范圍更大。

圖1為本實用新型的結構示意圖。圖中1為底板、2為壓緊撐手、3為螺桿、4為旋緊螺母、5為硅片。
具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細說明。實施例一種新型等離子刻蝕夾具，其結構如圖1所示，該夾具主要由螺桿3、底座及壓板構成，螺桿3有兩根，設在兩側，上面設置有旋緊螺母4。底座設在下部，兩端套設在螺桿3 上，可以在螺桿3上自由移動，經旋緊螺母4固定定位，該底座由兩塊底板1構成，兩塊底板之間經5根支柱連接，從而形成一個架空的結構。壓板設在底座的上方，兩端套設在螺桿3 上，可以在螺桿3上自由移動，經旋緊螺母4固定定位，壓板由底板1及壓緊撐手2構成，壓緊撐手2設在底板1頂部的中間位置，底板1可采用合金鋼等金屬材料制成。 底座和壓板之間夾設有硅片5，螺桿和3旋緊螺母4組成高度調節(jié)結構，起到了高度調節(jié)和定位的作用5個支柱起到了架空和抬高的作用，使硅片5下部的等離子氣體也能自由流動，底座整體抬高了硅片5的位置，使硅片5位于等離子刻蝕腔體的上部，得到更好的并阻值和電池效率。構成壓板的底板1和壓緊撐手2起到了壓緊硅片5的作用，利用了鋼板的自身重力和螺桿3的自由調節(jié)功能，使硅片5能被方便地夾緊，并且能調節(jié)裝載硅片 5的厚度。
權利要求1.一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，該夾具包括螺桿、底座及壓板，所述的螺桿有兩根，設在兩側，所述的底座設在下部，兩端套設在螺桿上，所述的壓板設在底座的上方， 兩端套設在螺桿上。
2.根據權利要求1所述的一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，所述的螺桿上設有旋緊螺母。
3.根據權利要求1所述的一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，所述的底座為可在螺桿上自由移動的底座，經旋緊螺母固定定位。
4.根據權利要求1所述的一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，所述的底座包括兩塊底板，兩塊底板之間經支柱連接。
5.根據權利要求4所述的一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，所述的支柱設有5根。
6.根據權利要求1所述的一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，所述的壓板為可在螺桿上自由移動的壓板，經旋緊螺母固定定位。
7.根據權利要求1所述的一種新型等離子刻蝕夾具，其特征在于，所述的壓板由底板及壓緊撐手構成，所述的壓緊撐手設在底板頂部的中間位置。
專利摘要本實用新型涉及一種新型等離子刻蝕夾具，包括螺桿、底座及壓板，螺桿有兩根，設在兩側，底座設在下部，兩端套設在螺桿上，壓板設在底座的上方，兩端套設在螺桿上。與現有技術相比，本實用新型結構簡單，刻蝕效果佳，架空的底座使下部的硅片也能受到等離子體充分的物理轟擊，且使裝載硅片整體抬高，位于刻蝕腔體的上部，能得到更高的并阻值和電池效率，螺桿的高度可調，使可裝載硅片數的范圍更大，有助于提高產量。
文檔編號H01L31/18GK202013874SQ20112007463
公開日2011年10月19日 申請日期2011年3月21日 優(yōu)先權日2011年3月21日
發(fā)明者張安生, 徐自然, 黃晶晶 申請人:上海神舟新能源發(fā)展有限公司