專利名稱：一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片裝片裝置，尤其是涉及一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置。
背景技術(shù)：
1)目前因PECVD工序CT機(jī)臺(tái)處空間狹小，而老式裝片房體積又大，所以現(xiàn)在每臺(tái) CT機(jī)臺(tái)都只能配有兩個(gè)大型裝片房，但是硅片片量產(chǎn)時(shí)生產(chǎn)人員上下片的速度趕不上機(jī)臺(tái)爐管生產(chǎn)的速度，造成會(huì)有1至2個(gè)爐管閑置情況，嚴(yán)重影響機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能。2)為了提高產(chǎn)能，生產(chǎn)人員在生產(chǎn)硅片時(shí)會(huì)將小推車上的石墨舟抬到工作臺(tái)上進(jìn)行上下片作業(yè)，導(dǎo)致石墨舟經(jīng)常會(huì)與工作臺(tái)表面接觸，產(chǎn)生不必要的摩擦，極易損壞石墨舟腳。另外，在搬運(yùn)過(guò)程中石墨舟的震動(dòng)也會(huì)增加晶片掉片或破片的風(fēng)險(xiǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種節(jié)省空間、 提高產(chǎn)能、易操作、減少碎片的簡(jiǎn)易硅片裝片裝置。本實(shí)用新型的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，其特征在于，包括頂板、左側(cè)板、右側(cè)板、后板、底座、薄承板，所述的左側(cè)板、右側(cè)板、后板分別安裝在底座上，所述的頂板分別與左側(cè)板、右側(cè)板、后板連接，形成開放式容置空間，所述的薄承板兩端分別安裝在左側(cè)板、右側(cè)板上。所述的頂板、后板、薄承板均為不銹鋼板。所述的左側(cè)板、右側(cè)板均為透明PVC板。所述的底座上設(shè)有定位柱、防撞塑膠、水平調(diào)整腳，所述的定位柱固定在底座的后橫梁上，所述的防撞塑膠固定在底座的兩邊側(cè)橫梁上，所述的水平調(diào)整腳固定在底座的四個(gè)角上。還包括日光燈管、日光燈開關(guān)，所述的日光燈管與日光燈開關(guān)連接，所述的日光燈管設(shè)在頂板的下表面，所述的日光燈開關(guān)設(shè)在左側(cè)板上。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)1、節(jié)省空間體積差不多是現(xiàn)用裝片房的二分之一，大大節(jié)省了空間。2、提高產(chǎn)能由于體積小，可以在現(xiàn)有空間內(nèi)再多加兩個(gè)裝片房，充分滿足了生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的需求量，有效提高了機(jī)臺(tái)產(chǎn)能。3、易操作由于底部裝有定位柱，可以有效防止小推車滑動(dòng)，便于生產(chǎn)人員進(jìn)行上下硅片的操作。4、減少碎片底部的防撞塑膠具有減震作用，減少石墨舟小推車在進(jìn)出過(guò)程中因?yàn)檎饎?dòng)而增加的晶片掉片或破片的風(fēng)險(xiǎn)。

圖1為本實(shí)用新型的正視結(jié)構(gòu)示意圖；[0017]圖2為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。實(shí)施例如圖1、圖2所示，一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，包括頂板1、左側(cè)板2、右側(cè)板4、后板8、 底座、薄承板3、日光燈管6、日光燈開關(guān)7，所述的左側(cè)板2、右側(cè)板4、后板8分別安裝在底座上，所述的頂板1分別與左側(cè)板2、右側(cè)板4、后板8連接，形成開放式容置空間，所述的薄承板3兩端分別安裝在左側(cè)板2、右側(cè)板4上。所述的日光燈管6與日光燈開關(guān)7連接，所述的日光燈管6設(shè)在頂板1的下表面，所述的日光燈開關(guān)7設(shè)在左側(cè)板2上。所述的底座上設(shè)有定位柱52、防撞塑膠51、水平調(diào)整腳53，所述的定位柱52固定在底座的后橫梁上，所述的防撞塑膠51固定在底座的兩邊側(cè)橫梁上，所述的水平調(diào)整腳53固定在底座的四個(gè)角上。所述的左側(cè)板2、右側(cè)板4均為透明PVC板增加裝的可視性；不銹鋼薄承板3 用來(lái)放置裝有硅片的PVC花籃；不銹鋼定位柱52 用來(lái)固定石墨舟小推車位置；水平調(diào)整腳 53 用來(lái)調(diào)整本實(shí)用新型的水平；防撞塑膠51 對(duì)石墨舟小推車起減震作用；日光燈管6 起照明作用；開關(guān)7:開關(guān)日光燈。本實(shí)用新型以石墨舟小推車尺寸為標(biāo)準(zhǔn)訂制，體積小，最大程度的節(jié)省了使用空間，并裝有定位柱，防止小推車滑動(dòng)。
權(quán)利要求1.一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，其特征在于，包括頂板、左側(cè)板、右側(cè)板、后板、底座、薄承板，所述的左側(cè)板、右側(cè)板、后板分別安裝在底座上，所述的頂板分別與左側(cè)板、右側(cè)板、后板連接，形成開放式容置空間，所述的薄承板兩端分別安裝在左側(cè)板、右側(cè)板上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，其特征在于，所述的頂板、后板、薄承板均為不銹鋼板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，其特征在于，所述的左側(cè)板、右側(cè)板均為透明PVC板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，其特征在于，所述的底座上設(shè)有定位柱、防撞塑膠、水平調(diào)整腳，所述的定位柱固定在底座的后橫梁上，所述的防撞塑膠固定在底座的兩邊側(cè)橫梁上，所述的水平調(diào)整腳固定在底座的四個(gè)角上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，其特征在于，還包括日光燈管、日光燈開關(guān)，所述的日光燈管與日光燈開關(guān)連接，所述的日光燈管設(shè)在頂板的下表面，所述的日光燈開關(guān)設(shè)在左側(cè)板上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種簡(jiǎn)易硅片裝片裝置，包括頂板、左側(cè)板、右側(cè)板、后板、底座、薄承板，所述的左側(cè)板、右側(cè)板、后板分別安裝在底座上，所述的頂板分別與左側(cè)板、右側(cè)板、后板連接，形成開放式容置空間，所述的薄承板兩端分別安裝在左側(cè)板、右側(cè)板上。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有節(jié)省空間、提高產(chǎn)能、易操作、減少碎片等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202013870SQ20112007464
公開日2011年10月19日 申請(qǐng)日期2011年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月21日
發(fā)明者劉輝, 陳平, 高博文 申請(qǐng)人:上海神舟新能源發(fā)展有限公司