技術(shù)編號：7175074
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種硅片裝片裝置，尤其是涉及一種簡易硅片裝片裝置。 背景技術(shù)1)目前因PECVD工序CT機臺處空間狹小，而老式裝片房體積又大，所以現(xiàn)在每臺 CT機臺都只能配有兩個大型裝片房，但是硅片片量產(chǎn)時生產(chǎn)人員上下片的速度趕不上機臺爐管生產(chǎn)的速度，造成會有1至2個爐管閑置情況，嚴重影響機臺的產(chǎn)能。2)為了提高產(chǎn)能，生產(chǎn)人員在生產(chǎn)硅片時會將小推車上的石墨舟抬到工作臺上進行上下片作業(yè)，導致石墨舟經(jīng)常會與工作臺表面接觸，產(chǎn)生不必要的摩擦，極易損壞石墨舟腳。另外...
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