專利名稱：臺架裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及門形架移動型的臺架裝置，具體地說，涉及例如對液 晶板用的玻璃基板涂敷密封劑或液晶材料、含有間隔基的樹脂等各種 骨狀材時使用的臺架裝置，或者在采用照相機(jī)的表面檢查或表面不平 度計測等時使用的臺架裝置。
背景技術(shù)：
已往，例如在對液晶板用的玻璃基板涂敷密封劑或液晶材料、含 有間隔基的樹脂等各種骨狀材的涂敷工序中，或者在采用照相機(jī)的表 面檢查工序等中，要使用門形架移動型的臺架裝置，該門形架移動型 的臺架裝置使噴出骨狀材的噴嘴或照相機(jī)沿玻璃基板的面內(nèi)兩個方向 移動(例如見下述專利文獻(xiàn)l)。圖9是表示此種已往臺架裝置的概略構(gòu)造的平面圖。圖示的已往 臺架裝置1備有在XY面內(nèi)支承被處理基板的載置臺2、夾著該載置2 設(shè)置并沿X軸方向延伸的一對導(dǎo)架3X、在該一對導(dǎo)架之間延伸的門 形架3Y、和設(shè)在該門形架3Y上的基板處理單元4。門形架3Y能沿著導(dǎo)架3X、 3X的上面移動地安裝在該導(dǎo)架3X、 3X上。基板處理單元4由噴出密封劑、液晶材料、含有間隔基的樹脂 等各種青狀材的噴嘴、或者觀察基板表面的照相機(jī)單元等構(gòu)成，能沿著門形架3Y的下面自由移動地安裝在該門形架3Y上。門形架3Y和 基板處理單元4被線性馬達(dá)等的驅(qū)動源驅(qū)動，分別沿著導(dǎo)架3X和門 形架3Y移動。在上述構(gòu)造的已往的臺架裝置1中，基板處理單元4與支承在栽 置臺2上的被處理基板表面相向地被移送，對被處理基板表面進(jìn)行上4述各種骨狀材的涂敷、或表面性狀的攝影。并且，使基板處理單元4 分別沿著X軸、Y軸移動，用該基板處理單元4連續(xù)地或間歇地對被 處理基板整個區(qū)域進(jìn)行預(yù)定的處理動作。另外，在這種臺架裝置中，為了將被處理基板運(yùn)入、運(yùn)出載置臺 2，或者為了基板處理單元4的維護(hù)、檢修等，導(dǎo)架3X設(shè)有作業(yè)區(qū)域 Rl和非作業(yè)區(qū)域R2，作業(yè)區(qū)域Rl規(guī)定出進(jìn)行基板處理所必需的門 形架3Y的移動路徑，非作業(yè)區(qū)域R2與作業(yè)區(qū)域R1不同，用于使門 形架3Y避開載置臺2正上方位置。即，已往的臺架裝置l中的導(dǎo)架 3X要具有能形成作業(yè)區(qū)域R1和非作業(yè)區(qū)域R2的長度。專利文獻(xiàn)1:日本特許第3701882號7>才艮專利文獻(xiàn)2:日本特開2006-12911號公才艮發(fā)明要解決的課題近年來，被處理基板有日益大型化的傾向，隨之，對被處理基板 進(jìn)行處理的臺架裝置也必須大型化。但是，隨著臺架裝置的大型化，存在不能運(yùn)輸該臺架裝置的問題。 例如，當(dāng)被處理基板的尺寸為3000mm x 2800mm時，臺架裝置的短 邊必須在3500mm以上，這樣的尺寸在現(xiàn)有的道路上是不能實現(xiàn)陸路 運(yùn)輸?shù)?。為了解決這一問題，已往提出了將臺架裝置分割成若干部分的方 法(例如專利文獻(xiàn)2)。但是，在圖9所示那樣的門形架移動型的臺架 裝置1中，如果在門形架3Y的移動路徑上存在導(dǎo)架3X的接縫，則在 通過該接縫時，會誘發(fā)門形架3Y的振動或移動速度的變化，這樣， 基板處理單元4就不能準(zhǔn)確地進(jìn)行基板處理。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題而做出的，其目的是提供一種臺架裝置， 該臺架裝置能分割而適應(yīng)陸路運(yùn)輸，并且能確保對被處理基板進(jìn)行準(zhǔn) 確的處理。解決課題的技術(shù)方案為了解決上迷課題，本發(fā)明的臺架裝置備有支承被處理基板的 基板支承面；夾著上述基板支承面地相向配置的一對導(dǎo)架；在上述一 對導(dǎo)架之間延伸并可移動地支承在上述一對導(dǎo)架上的門形架；設(shè)置在 上述門形架上的基板處理單元；其特征在于，上述導(dǎo)架由主架部和副 架部的結(jié)合體構(gòu)成；上述主架部形成上述基板處理單元進(jìn)行基板處理 所需的上述門形架的移動路徑；上述副架部與上述主架部的長度方向 一端部或兩端部相接，形成上述門形架的到達(dá)非作業(yè)位置的移動路徑。在上述構(gòu)造的本發(fā)明臺架裝置中，由于引導(dǎo)門形架移動的導(dǎo)架， 做成為上述主架部和副架部的分割構(gòu)造，所以，可以將臺架裝置縮短 到能進(jìn)行陸路運(yùn)輸?shù)拈L度。另外，由于導(dǎo)架的分割位置不在門形架的 作業(yè)區(qū)域內(nèi)，所以，門形架不會產(chǎn)生振動及移動速度的變化，可以確 保對被處理基板進(jìn)行準(zhǔn)確的處理。另外，在本發(fā)明的臺架裝置中，只要至少對形成基板處理所需的 門形架移動路徑的區(qū)域確保高的移送精度即可。因此，上述主架部與 副架部相比，門形架的移送精度設(shè)計得較高。這樣，無需將整個導(dǎo)架 做成為高精度，所以，可以減低導(dǎo)架的制作成本及設(shè)置作業(yè)工作量。另外，在導(dǎo)架上，敷設(shè)了引導(dǎo)門形架直行移動的線性引導(dǎo)件；該線性引導(dǎo)件在與導(dǎo)架的分割位置不同的位置處接合。這樣，可以減少 導(dǎo)架分割位置處的門形架移送精度的降低，同時，可以緩和上述主架 部與副架部之間的組裝精度，提高作業(yè)性。另外，本發(fā)明的另一個臺架裝置，設(shè)置著被處理基板，具有第1 引導(dǎo)部、第2引導(dǎo)部、第1架部、第2架部。上述第l引導(dǎo)部包含上 述門形架在被處理基板上移動時起引導(dǎo)作用的部分；上述第2引導(dǎo)部 不包含門形架在被處理基板上移動時起引導(dǎo)作用的部分；上述第l架 部設(shè)置著第l引導(dǎo)部，載置著被處理基板；上述笫2架部設(shè)置著第2 引導(dǎo)部；第1架部和第2架部可以分離地進(jìn)行運(yùn)輸。上述第、第2引導(dǎo)部相當(dāng)于例如引導(dǎo)門形架直行移動的線性引導(dǎo) 件。把該第1、第2引導(dǎo)部分別設(shè)置在可自由分離的上述第1、第2 架部上，可得與上迷同樣的作用效果。這時，第1、第2引導(dǎo)部可分別在第1、第2架部上各設(shè)置一對。 發(fā)明效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明，由于把引導(dǎo)門形架移動的導(dǎo)架做成為分 割的構(gòu)造，所以，可將臺架裝置縮短到能陸路運(yùn)輸?shù)拈L度。另外，由 于導(dǎo)架的分割位置不在門形架的作業(yè)區(qū)域上，所以，門形架上不會產(chǎn) 生振動及移動速度的變化，可確保對被處理基板進(jìn)行準(zhǔn)確的處理。


圖1是本發(fā)明實施方式的臺架裝置的概略構(gòu)造圖，A是表示組裝 后狀態(tài)的整體立體圖，B是表示組裝前狀態(tài)的整體立體圖。圖2是本發(fā)明實施方式的臺架裝置的、從X軸方向看時的斷面圖。 圖3是表示本發(fā)明實施方式的臺架裝置的、可動部概略構(gòu)造的斷 面立體圖。圖4是本發(fā)明實施方式的臺架裝置的、導(dǎo)架的主要部分側(cè)面圖。 圖5是本發(fā)明實施方式的臺架裝置的、導(dǎo)架的主要部分側(cè)面圖。 圖6是表示本發(fā)明實施方式的臺架裝置的、導(dǎo)架變型例的主要部 分側(cè)面圖。圖7是表示本發(fā)明實施方式的臺架裝置的變型例的概略平面圖。 圖8是表示本發(fā)明實施方式的臺架裝置的變型例的概略立體圖。 圖9是表示已往的臺架裝置構(gòu)造的概略平面圖。 附圖標(biāo)記說明
11 臺架裝置
12 載置臺 13X 導(dǎo)架 13Y 門形架
14 基板處理單元 15A 主架部(笫1架部) 15B 副架部(第2架部) 16 架臺17 線性引導(dǎo)件 17a 導(dǎo)軸17al、 17a2 第1、第2引導(dǎo)部 17b 引導(dǎo)軸承18 磁鐵19 電樞線圏20 可動部21 位置檢測傳感器22 直線標(biāo)尺22a、 22b 第1、笫2標(biāo)尺具體實施方式
下面，參照

本發(fā)明的實施方式。圖1A、 B是表示本發(fā)明實施方式的臺架裝置11的概略構(gòu)造的整 體立體圖，A表示組裝后的狀態(tài)，B表示組裝前的狀態(tài)。圖2是從X 軸方向看臺架裝置11時的斷面圖。本實施方式的臺架裝置11,備有支承玻璃基板等被處理基板W 的載置臺12、夾著該載置臺12設(shè)置并沿X軸方向延伸的一對導(dǎo)架 13X、 13X、在該一對導(dǎo)架13X、 13X之間延伸的門形架13Y、設(shè)在該 門形架13Y上的基板處理單元14。栽置臺12具有在XY面內(nèi)支承被處理基板W的基板支承面。載 置臺12設(shè)置在架臺16的上，該架臺16用于使一對導(dǎo)架13X、 13X保 持相互平行并且具有一定的間隔地相向配置著。 一對導(dǎo)架13X、 13X 通過架臺16固定成一體。載置臺20備有例如利用真空吸附等方式將 被處理基板W保持在基板支承面上的機(jī)構(gòu)。在圖1A、 B中未示出栽 置臺12。另外，架臺16的一部分也可以構(gòu)成上述的基板支承面。門形架13Y沿著與導(dǎo)架13X、 13X的延伸方向(X軸方向)交叉 的方向、在本實施方式中是直交的方向(Y軸方向)延伸。門形架13Y 的兩腳部，通過可動部20，相對于導(dǎo)架13X、 13X可沿該導(dǎo)架13X、13X的上面移動地受到支承?；逄幚韱卧?4由對支承在載置臺12上的被處理基板W的表面 噴出密封劑或液晶材料、含有間隔基的樹脂等各種骨狀材的噴嘴、或 者觀察基板表面的照相機(jī)單元等構(gòu)成。該基板處理單元14，相對于門 形架13Y可沿該門形架13Y的下面移動地受到支承。門形架13Y和基板處理單元14，以線性馬達(dá)作為驅(qū)動源，分別沿 著導(dǎo)架13X和門形架13Y移動。圖3表示設(shè)在導(dǎo)架13X、 13X與門形 架13Y之間的可動部20的一例構(gòu)造。下述的構(gòu)造也同樣地適用于門 形架13Y與基板處理單元14之間。如圖3所示，可動部20備有線性引導(dǎo)件17、磁鐵18、和電樞線 圏19。線性引導(dǎo)件17由敷設(shè)在導(dǎo)架13X上面的一對導(dǎo)軸17a、 17a、 和設(shè)置在門形架13Y的腳部下面的一對引導(dǎo)軸承17b、 17b構(gòu)成。磁 鐵18在一對導(dǎo)軸17a、 17a之間呈直線地設(shè)置在導(dǎo)架13X的上面。電 樞線圏19與磁鐵18隔開間隔相向地安裝在門形架13Y的腳部下面。 由這些磁鐵18和電樞線圏19構(gòu)成了線性馬達(dá)。在可動部20上，還設(shè)有用于檢測門形架13Y相對于導(dǎo)架13X的 相對位置的位置檢測傳感器21。位置檢測傳感器21通過光學(xué)地檢測 設(shè)置在導(dǎo)架13X側(cè)面的線性標(biāo)尺22,進(jìn)行門形架13Y的位置檢測。另外，臺架裝置11還備有控制部(圖未示)，該控制部接受上迷 構(gòu)成的位置檢測傳感器的檢測輸出，進(jìn)行門形架13Y及基板處理單元 14的移動控制，該控制部的說明從略。借助門形架13Y相對于導(dǎo)架13X、 13X的X軸方向的水平移動、 以及基板處理單元14相對于門形架13Y的Y軸方向的水平移動，可 以在XY面內(nèi)的兩個方向，將基板處理單元14與支承在載置臺12上 的被處理基板W的表面整個區(qū)域相向地配置。這樣，臺架裝置ll作 為XY臺架，其可以用基板處理單元14對被處理基板W連續(xù)地或間 歇地進(jìn)行預(yù)定的基板處理動作(本例中是密封劑或液晶材料、含間隔 基的樹脂的涂敷、或者表面檢查)。另外，在本實施方式的臺架裝置11中，導(dǎo)架13X、 13X是由在其延伸方向分割的主架部(第1架部)15A和副架部(第2架部)15B 的結(jié)合體構(gòu)成的。因此，臺架裝置11如圖1B所示，導(dǎo)架13X、 13X 在主架部15A與副架部15B之間是可分割的。這時，被處理基板W 載置在主架部15A側(cè)。如上所述，由于把導(dǎo)架13X、 13X做成為在其延伸方向可以分離 的構(gòu)造，所以，可以把臺架裝置11在X軸方向分割成兩部分進(jìn)行運(yùn) 輸。例如，即使臺架裝置11具有X軸方向的長度尺寸為5500mm以 上、Y軸方向的寬度尺寸為4500mm以上的大小時，只要把臺架裝置 ll在X軸方向分割成兩部分，對于每個分割結(jié)構(gòu)體單位，X軸方向長 度可抑制在3500mm以下。這樣，可以避免道路狀況等的限制，實現(xiàn) 臺架裝置11的陸路運(yùn)輸。在本實施方式中，導(dǎo)架13X、 13X的分割位置、即主架部15A與 副架部15B之間的交界線D，設(shè)定在導(dǎo)架13X、 13X上的、作業(yè)區(qū)域 R1與非作業(yè)區(qū)域R2的交界位置。作業(yè)區(qū)域Rl規(guī)定出基板處理單元 14進(jìn)行基板處理所必需的門形架13Y的移動路徑。非作業(yè)區(qū)域R2用 于使門形架13Y避開載置臺12上的正上方位置。另外，非作業(yè)區(qū)域R2規(guī)定出了在被處理基板W運(yùn)入、運(yùn)出載置 臺12時以及對基板處理單元14進(jìn)行維護(hù)、檢修等時作為門形架13Y 的退避位置，即非動作位置。因此，主架部15A形成了基板處理單元14進(jìn)行基板處理所必需 的、門形架13Y的移動路徑。另外，副架部15B與主架部15A的長 度方向的一端側(cè)連接，形成了門形架13Y的到達(dá)非作業(yè)位置的移動路 徑。如上所述，把構(gòu)成導(dǎo)架13X、 13X的主架部15A和副架部15B的 交界D，設(shè)置在導(dǎo)架13X、 13X上的門形架13Y的作業(yè)區(qū)域R1與非 作業(yè)區(qū)域R2的交界線上，可得到以下的效果。第一， 一般在門形架移動型的臺架裝置中，對基板處理時，必須 要進(jìn)行門形架的高精度的移送控制，但根據(jù)本實施方式，只要把劃定出門形架13Y的作業(yè)區(qū)域Rl的主架部15A設(shè)計成具有可獲得預(yù)定的 高標(biāo)準(zhǔn)移送精度的構(gòu)造即可。因此，副架部15B與主架部15A相比， 不需要嚴(yán)密的移送精度，所以，可減低臺架裝置11的整體制作成本。這里，所說的門形架13Y的移送精度，包含門形架13Y的移動面 的剛性、平坦度、門形架13Y的等速移動性等，為了得到這些特性， 導(dǎo)架通常是采用花崗巖或大理石等的石材、SiC等的硬質(zhì)陶瓷那樣的 加工精度高的較高價的材料。在本實施方式中，可以僅對主架部15A 用這些材料制作，與其相比，副架部15B可以用能得到一定移送精度 那樣程度的比較低價的材料制作。第二，由于在門形架13Y的作業(yè)區(qū)域R1內(nèi)，導(dǎo)架13X、 13X上 沒有接縫(交界D),所以，可以避免在通過接縫時產(chǎn)生的門形架13Y 的振動及速度變化，可以確?；逄幚韱卧?4對被處理基板W進(jìn)行 準(zhǔn)確的基板處理。第三，由于把導(dǎo)架13X、 13X的分割位置(交界D)設(shè)定在門形 架13Y的作業(yè)區(qū)域Rl與非作業(yè)區(qū)域R2的交界上，所以，可以提高 臺架裝置11的組裝作業(yè)性。即，如果導(dǎo)架13X、 13X的分割位置在門形架13Y的作業(yè)區(qū)域 Rl內(nèi)，則為了確保門形架13Y的高移送精度，必須高精度地進(jìn)行導(dǎo) 架的連接，這樣，設(shè)置作業(yè)工作量增大，根據(jù)本實施方式，則可以避 免這一問題，可以減輕導(dǎo)架13X、 13X的設(shè)置作業(yè)工作量。另外，如圖1B所示，由于可在將門形架13Y組裝在主架部15A 上的狀態(tài)下進(jìn)行運(yùn)輸，所以，可以省略掉現(xiàn)場的可動部20的組裝作業(yè)。 這樣，可提高臺架裝置11的設(shè)置作業(yè)性。另外，可以在確保了門形架 13Y被高精度地組裝在主架部15A上的狀態(tài)，將臺架裝置11裝貨運(yùn) 出。另一方面，在導(dǎo)架13X上引導(dǎo)門形架13Y移動的線性引導(dǎo)件17, 也與導(dǎo)架13X、 13X同樣地做成為分割構(gòu)造，本實施方式中，線性引 導(dǎo)件17在與導(dǎo)架13X、 13X的分割位置不同的位置處接合。圖4是表示導(dǎo)架13X的分割位置的側(cè)面圖。導(dǎo)架13X是由主架部15A和副架部15B結(jié)合構(gòu)成的，在主架部15A和副架部15B的上面， 分別敷設(shè)了線性引導(dǎo)件17的導(dǎo)軸(第1、第2引導(dǎo)部)17al、 17a2。 第1引導(dǎo)部17al包含了在門形架13Y在被處理基板W上移動時起引 導(dǎo)作用的部分(作業(yè)區(qū)域R1)。另外，第2引導(dǎo)部17a2不包含門形架 13Y在被處理基板W上移動時起引導(dǎo)作用的部分。第l、第2引導(dǎo)部17al、 17a2相互敷設(shè)在同一軸線上，其接縫d 設(shè)定在與導(dǎo)架13X的分割位置(交界D)不同的位置。即，如圖4所 示，第1引導(dǎo)部17al從主架部15A朝副架部15B側(cè)突出，突出的第 1引導(dǎo)部17al的部分固定在副架部15B上。第2引導(dǎo)部17a2在副架 部15B上與第1引導(dǎo)部17al的突出端接合，這樣，構(gòu)成了連續(xù)的導(dǎo) 軸17a。如圖4所示，第1、第2引導(dǎo)部17al、 17a2的接縫d,設(shè)定在與 導(dǎo)架13X的分割位置D不同的位置，這樣，能用第l引導(dǎo)部17al覆 蓋住導(dǎo)架13X的分割位置D的上面，所以，在主架部15A和副架部 15B之間組裝時產(chǎn)生的導(dǎo)架上面的不平度，可以被第1引導(dǎo)部17al吸 收。這樣，可以有效地抑制門形架13Y在通過分割位置D時產(chǎn)生的振 動。另外，主架部15A和副架部15B之間的連接也不需要嚴(yán)密的組裝 精度，可以更加提高導(dǎo)架13X的設(shè)置作業(yè)性。另外，第1、第2引導(dǎo)部17al、 17a2，是在將主架部15A和副架 部15B連接后，用螺絲部件23固定在該組裝好的導(dǎo)架13X上的。為了提高臺架裝置11的設(shè)置作業(yè)性，把門形架13Y的位置檢測 所必須的線性標(biāo)尺22,也做成為相對于導(dǎo)架13X分割的構(gòu)造。即，如 圖5所示，線性標(biāo)尺22被分割成為設(shè)置在主架部15A上的第1標(biāo)尺 22a、和設(shè)置在副架部15B上的第2標(biāo)尺22b。做成這樣的構(gòu)造，可以 避免使用長尺寸的線性標(biāo)尺時因熱膨脹而導(dǎo)致的精度降低，所以，可 提高門形架13Y的移送精度。這時，在門形架13Y上，在其行進(jìn)方向并排地至少設(shè)置2個檢測 第1、第2標(biāo)尺22a、 22b的線性標(biāo)尺檢測部。作為該線性標(biāo)尺檢測部， 可以設(shè)置2個以上的上述位置檢測傳感器21，也可以在一個位置檢測傳感器21上并排配置2個檢測部(元件)。這些檢測部的配置間隔大 于標(biāo)尺22a、 22b的設(shè)置間隔，這樣，可以進(jìn)行跨越標(biāo)尺22a、 22b之 間的位置檢測。在上述構(gòu)造中，門形架13Y在通過主架部15A和副架部15B的 連接部時，上述線性標(biāo)尺檢測部中的一方檢測第1標(biāo)尺22a,另一方 檢測第2標(biāo)尺22b，這樣，進(jìn)行架連接部的位置修正。具體地說，當(dāng) 一方檢測部通過標(biāo)尺的連接部時，根據(jù)另一方的檢測輸出和這些檢測 部之間的配置間隔，計算求出該一方檢測部的位置。這樣，即使標(biāo)尺 22a、 22b分離設(shè)置時，也能高精度地進(jìn)行門形架13Y的位置檢測，并 且，標(biāo)尺22a、 22b的設(shè)置間隔不需要高精度，可提高作業(yè)性。另外，線性標(biāo)尺檢測部的設(shè)置數(shù)目不限定是2個，其個數(shù)也可以 增加。另外，線性標(biāo)尺的分割位置也不是只限定在上述各架部的連接 位置。上面，說明了本發(fā)明的實施方式，當(dāng)然，本發(fā)明并不局限于該實 施方式。在本發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，可作各種變型。例如，上述實施方式中，構(gòu)成導(dǎo)架13X的主架部15A和副架部 15B的各相接面，由與門形架13Y的行進(jìn)方向垂直的面構(gòu)成，但并不 限定于此。圖6表示主架部15A和副架部15B的各相接面傾斜于門形 架13Y的行進(jìn)方向的例子。根據(jù)該構(gòu)造，可容易地實現(xiàn)主架部15A和 副架部15B的交界D處的架上面的高度精度，可提高導(dǎo)架13X的設(shè) 置作業(yè)性。另外，上述實施方式中，是把臺架裝置11的導(dǎo)架13X、 13X分割 為兩部分，但也可以如圖7示意地示出那樣，把導(dǎo)架13X、 13X分割 成為三部分。在該例中示出了這樣的構(gòu)成，即，在主架部15A的兩端 部上，分別連接了副架部15B。另外，也可以進(jìn)一步增加導(dǎo)架13X、 13X的分割數(shù)。這時，如圖 8所示，顯示了由主架部15A和副架部15B交替連接而成的臺架裝置 的構(gòu)造。根據(jù)該構(gòu)造，可以在同一個臺架裝置上，并排地處理若干塊 ,皮處理基板W。
權(quán)利要求
1.一種臺架裝置，其備有支承被處理基板的基板支承面，夾著所述基板支承面而相向配置的一對導(dǎo)架，在所述一對導(dǎo)架之間延伸并可自由移動地支承在所述一對導(dǎo)架上的門形架，和設(shè)置在所述門形架上的基板處理單元；其特征在于，所述導(dǎo)架由主架部和副架部的結(jié)合體構(gòu)成；所述主架部形成由所述基板處理單元進(jìn)行基板處理所需的所述門形架的移動路徑；所述副架部與所述主架部的長度方向一端部或兩端部相接，形成所述門形架的到達(dá)非作業(yè)位置的移動路徑。
2. 如權(quán)利要求l所述的臺架裝置，其特征在于，與所述副架部相 比，所述主架部的所述門形架的移送精度設(shè)計得高。
3. 如權(quán)利要求l所述的臺架裝置，其特征在于，在所述導(dǎo)架上， 敷設(shè)了引導(dǎo)所述門形架直行移動的線性引導(dǎo)件；所述線性引導(dǎo)件在與所述導(dǎo)架的分割位置不同的位置接合。
4. 如權(quán)利要求1所述的臺架裝置，其特征在于，所述基板處理單 元可沿著該門形架的延伸方向自由移動地支承在所述門形架上。
5. —種臺架裝置，其設(shè)置著被處理基板，使門形架在該被處理基 板上移動，用以對所述被處理基板進(jìn)行處理或檢查；其特征在于，具 有第1引導(dǎo)部、第2引導(dǎo)部、第1架部和第2架部；所述第1引導(dǎo)部包含所述門形架在所述被處理基板上移動時進(jìn)行 引導(dǎo)的部分；所述第2引導(dǎo)部不包含所述門形架在所述被處理基板上移動時進(jìn) 行引導(dǎo)的部分；所述第1架部設(shè)置著所述第1引導(dǎo)部，載置著所述被處理基板；所述第2架部設(shè)置著所述第2引導(dǎo)部；所述第1架部和所述第2架部能夠分離并運(yùn)輸。
6. 如權(quán)利要求5所述的臺架裝置，其特征在于，所述第l架部的所述門形架的移送精度比所述第2架部高。
7. 如權(quán)利要求5所述的臺架裝置，其特征在于，所述第1引導(dǎo)部 的一部分從所述第1架部突出，該突出的所述第1引導(dǎo)部固定在所述 第2架部上，所述第1引導(dǎo)部和所述第2引導(dǎo)部構(gòu)成連續(xù)的引導(dǎo)部。
8. 如權(quán)利要求5所述的臺架裝置，其特征在于，所述第l架部和 所述第2架部的相接面相對于所述門形架的移動方向傾斜地形成。
9. 如權(quán)利要求5所述的臺架裝置，其特征在于，備有設(shè)置在所 述第1架部上的第1標(biāo)尺、設(shè)置在所述第2架部上的第2標(biāo)尺、和設(shè) 置在所述門形架上用于檢測標(biāo)尺而確定出所述門形架的位置的至少2個線性標(biāo)尺檢測部；當(dāng)所述門形架通過所述第1架部和所述第2架部的連接部時，所 述線性標(biāo)尺檢測部中的一方利用所述第l標(biāo)尺檢測位置，所述線性標(biāo) 尺檢測部的另一方利用所述第2標(biāo)尺檢測位置，由此進(jìn)行所述連接部 的位置修正。
全文摘要
本發(fā)明的臺架裝置能分割地進(jìn)行陸路運(yùn)輸，同時確保對被處理基板進(jìn)行準(zhǔn)確處理。臺架裝置備有支承被處理基板(W)的基板支承面、夾著基板支承面相向配置的一對導(dǎo)架(13X)、在一對導(dǎo)架(13X)之間延伸并可移動地支承在一對導(dǎo)架(13X)上的門形架(13Y)、和設(shè)置在門形架(13Y)上的基板處理單元(14)；導(dǎo)架(13X)由主架部(15A)和副架部(15B)的結(jié)合體構(gòu)成；主架部(15A)形成基板處理單元(14)進(jìn)行基板處理所需的門形架(13Y)的移動路徑(作業(yè)區(qū)域(R1))，副架部(15B)與主架部(15A)的長度方向一端部或兩端部連接，形成門形架(13Y)的到達(dá)非作業(yè)位置(非作業(yè)區(qū)域(R2))的移動路徑。
文檔編號H01L21/68GK101326626SQ20078000063
公開日2008年12月17日 申請日期2007年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月28日
發(fā)明者南展史, 湯山純平, 田中保三, 矢作充 申請人:株式會社愛發(fā)科