專利名稱：臺(tái)架裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及門形架移動(dòng)型的臺(tái)架裝置，具體地說(shuō)，涉及例如對(duì)液 晶板用的玻璃基板涂敷密封劑或液晶材料、含有間隔基的樹(shù)脂等各種 膏狀材時(shí)使用的臺(tái)架裝置，或者在采用照相機(jī)的表面檢查或表面不平 度計(jì)測(cè)等時(shí)使用的臺(tái)架裝置。
背景技術(shù)：
已往，例如在對(duì)液晶板用的玻璃基板涂敷密封劑或液晶材料、含 有間隔基的樹(shù)脂等各種骨狀材的涂敷工序中，或者在釆用照相機(jī)的表 面檢查工序等中，要使用門形架移動(dòng)型的臺(tái)架裝置，該門形架移動(dòng)型 的臺(tái)架裝置使噴出青狀材的噴嘴或照相機(jī)沿玻璃基板的面內(nèi)兩個(gè)方向 移動(dòng)(例如見(jiàn)專利文獻(xiàn)l)。圖4是表示此種已往臺(tái)架裝置的概略構(gòu)造的平面圖。圖示的已往 臺(tái)架裝置l備有在XY面內(nèi)支承被處理基板的載置臺(tái)2，夾著該載 置2設(shè)置并沿X軸方向延伸的一對(duì)導(dǎo)架3X、 3X，在該一對(duì)導(dǎo)架3X、 3X之間延伸的門形架3Y，設(shè)在該門形架3Y上的基板處理單元4。門形架3Y能沿著導(dǎo)架3X、 3X移動(dòng)地安裝在該導(dǎo)架3X、 3X的上 面?；逄幚韱卧?由噴出密封劑或液晶材料、含有間隔基的樹(shù)脂等 各種膏狀材的噴嘴、或者觀察基板表面的照相機(jī)單元等構(gòu)成，能沿著 門形架3Y的下面自由移動(dòng)地安裝在該門形架3Y上。門形架3Y和基 板處理單元4被線性馬達(dá)等的驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)，分別沿著導(dǎo)架3X、 3X和 門形架3Y移動(dòng)。在上述構(gòu)造的已往的臺(tái)架裝置1中，基板處理單元4與支承在載 置臺(tái)2上的被處理基板表面相向地被移送，對(duì)被處理基板表面進(jìn)行上述各種膏狀材的涂敷、或表面性狀的攝影等。而且，使基板處理單元4分別沿著X軸、Y軸移動(dòng)，用該基板處理單元4連續(xù)地或間歇地對(duì) 被處理基板整個(gè)區(qū)域進(jìn)行預(yù)定的處理動(dòng)作。另外，在這種臺(tái)架裝置中，為了將被處理基板運(yùn)入、運(yùn)出載置臺(tái) 2，或者為了基板處理單元4的維護(hù)、檢修等，導(dǎo)架3X設(shè)有作業(yè)區(qū)域 Rl和非作業(yè)區(qū)域R2,該作業(yè)區(qū)域Rl規(guī)定出進(jìn)行基板處理所必需的 門形架3Y的移動(dòng)路徑。非作業(yè)區(qū)域R2用于使門形架3Y避開(kāi)載置臺(tái) 2正上方位置。即，導(dǎo)架3X按照能形成作業(yè)區(qū)域Rl和非作業(yè)區(qū)域 R2的長(zhǎng)度構(gòu)成。專利文獻(xiàn)1:日本特許第3701882號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2006-12911號(hào)公報(bào)發(fā)明要解決的課題近年來(lái)，被處理基板有日益大型化的傾向，隨之，對(duì)被處理基板 進(jìn)行處理的臺(tái)架裝置，也必須大型化。但是，隨著臺(tái)架裝置的大型化，存在不能運(yùn)輸該臺(tái)架裝置的問(wèn)題。 例如，當(dāng)被處理基板的尺寸為3000mmx 2800mm時(shí)，臺(tái)架裝置的短 邊必須在3500mm以上，這樣的尺寸在現(xiàn)有的道路上是不能實(shí)現(xiàn)陸路 運(yùn)輸?shù)?。為了解決這一問(wèn)題，已往提出了將臺(tái)架裝置分割成若干部分的方 法(參照例如專利文獻(xiàn)2)。但是，在圖4所示那樣的門形架移動(dòng)型的 臺(tái)架裝置1中，如果在門形架3Y的移動(dòng)路徑上有導(dǎo)架3X的接縫，則 在通過(guò)該接縫時(shí)，會(huì)誘發(fā)門形架3Y的振動(dòng)或使移動(dòng)速度變化，這樣， 基板處理單元4就不能準(zhǔn)確地進(jìn)行基板處理。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而做出的，其目的是提供一種臺(tái)架裝置， 該臺(tái)架裝置能分割而適應(yīng)陸路運(yùn)輸，并且能確保對(duì)被處理基板進(jìn)行準(zhǔn) 確的處理。解決課題的技術(shù)方案4為了解決上述課題，本發(fā)明的臺(tái)架裝置，備有支承被處理基板 的基板支承面；夾著基板支承面地相向配置的一對(duì)導(dǎo)架；在一對(duì)導(dǎo)架 之間延伸并可移動(dòng)地支承在該一對(duì)導(dǎo)架上的門形架；設(shè)置在門形架上 的基板處理單元；其特征在于，由含有一對(duì)導(dǎo)架中的一方導(dǎo)架的第1 構(gòu)造體、含有一對(duì)導(dǎo)架中的另一方導(dǎo)架的第2構(gòu)造體、和含有門形架 的第3構(gòu)造體的結(jié)合體構(gòu)成。上述構(gòu)造的本發(fā)明臺(tái)架裝置中，由于門形架、和引導(dǎo)該門形架移 動(dòng)的一對(duì)導(dǎo)架的各導(dǎo)架是分割的構(gòu)造，所以，可以將臺(tái)架裝置縮短到 能陸路運(yùn)輸?shù)拈L(zhǎng)度。另外，由于各導(dǎo)架本身不是分割構(gòu)造，所以，在 門形架的移動(dòng)路徑上沒(méi)有接縫。因此，在門形架上不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)或移 動(dòng)速度的變化，可以確保對(duì)被處理基材進(jìn)行準(zhǔn)確的處理。另外，本發(fā)明的另一個(gè)臺(tái)架裝置，設(shè)置著被處理基板，使門形架 在該被處理基板上移動(dòng)，對(duì)被處理基板進(jìn)行處理或檢查；其特征在于， 備有將門形架的兩腳部可移動(dòng)地支承著的一對(duì)引導(dǎo)部，該一對(duì)引導(dǎo)部 構(gòu)成為可以分離地進(jìn)行運(yùn)輸。上述一對(duì)引導(dǎo)部，例如相當(dāng)于引導(dǎo)門形架直線移動(dòng)的線性引導(dǎo)件。 把該一對(duì)引導(dǎo)部設(shè)置在能彼此分離的導(dǎo)架上，可得到與上述同樣的作 用效果。發(fā)明效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明，由于把引導(dǎo)門形架移動(dòng)的一對(duì)導(dǎo)架或引 導(dǎo)部做成為可相互分離的構(gòu)造，所以，可將臺(tái)架裝置縮短到能陸路運(yùn) 輸?shù)拈L(zhǎng)度。另外，由于導(dǎo)架的分割位置不在門形架的作業(yè)區(qū)域內(nèi)，所 以，門形架不產(chǎn)生振動(dòng)及移動(dòng)速度的變化，可確保對(duì)被處理基板進(jìn)行 準(zhǔn)確的處理。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的臺(tái)架裝置的概略構(gòu)造圖，A是表示組裝 后狀態(tài)的整體立體圖，B是表示組裝前狀態(tài)的整體立體圖。圖2是本發(fā)明實(shí)施方式的臺(tái)架裝置的從X軸方向看時(shí)的斷面圖。圖3是表示本發(fā)明實(shí)施方式的臺(tái)架裝置的可動(dòng)部概略構(gòu)造的斷面 立體圖。圖4是表示已往的臺(tái)架裝置構(gòu)造的概略平面圖。 附圖標(biāo)記說(shuō)明11 臺(tái)架裝置12 載置臺(tái) 13X1、 13X2 導(dǎo)架13 Y 門形架14 基板處理單元 16、 16a、 16b 架臺(tái)17 線性引導(dǎo)件17a 導(dǎo)軸(第1、第2引導(dǎo)部) 17b 引導(dǎo)軸承18 磁鐵19 電樞線圏20 可動(dòng)部21 位置檢測(cè)傳感器22 直線標(biāo)尺具體實(shí)施方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。但本發(fā)明并不局限于該 實(shí)施方式，在本發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，可作各種變型。圖1A、 B是表示本發(fā)明實(shí)施方式的臺(tái)架裝置11的概略構(gòu)造的整 體立體圖，A表示組裝后的狀態(tài)，B表示組裝前的狀態(tài)。圖2是從X 軸方向看臺(tái)架裝置11的斷面圖。本實(shí)施方式的臺(tái)架裝置11備有支承玻璃基板等被處理基板W 的載置臺(tái)12、夾著該載置12設(shè)置并沿X軸方向延伸的一對(duì)導(dǎo)架13X1、 13X2、在該一對(duì)導(dǎo)架13X1、 13X2之間延伸的門形架13Y、設(shè)在該門 形架13Y上的基板處理單元14。載置臺(tái)12具有在XY面內(nèi)支承被處理基板W的基板支承面。載 置臺(tái)12設(shè)置在架臺(tái)16的上面，該架臺(tái)16用于使一對(duì)導(dǎo)架13X1 、13X2 保持相互平行并且具有一定間隔地相向配置。另外，載置臺(tái)12備有例 如利用真空吸附等方式將被處理基板W保持在基板支承面上的機(jī)構(gòu)。 在圖1A、 B中未示出載置臺(tái)12。另外，架臺(tái)16的一部分也可以構(gòu)成 上述的基板支承面。一對(duì)導(dǎo)架13X1、 13X2通過(guò)架臺(tái)16固定成一體。導(dǎo)架13X1、 13X2 形成為這樣的長(zhǎng)度，即，該長(zhǎng)度構(gòu)成了規(guī)定出基板處理所必需的門形 架13Y的作業(yè)區(qū)域的移動(dòng)路徑、和規(guī)定出使門形架13Y避開(kāi)被處理基 板W正上方位置的非作業(yè)區(qū)域的移動(dòng)路徑。門形架13Y沿著與導(dǎo)架13X1、 13X2的延伸方向(X軸方向)交 叉的方向、在本實(shí)施方式中是正交的方向(Y軸方向)延伸。門形架 13Y的兩腳部，通過(guò)可動(dòng)部20，相對(duì)于導(dǎo)架13X1、 13X2可沿該導(dǎo)架 13X1、 13X2的上面自由移動(dòng)地受到支承?；逄幚韱卧?4，由對(duì)支承在載置臺(tái)12上的被處理基板W的表 面噴出密封劑、液晶材料、含有間隔基的樹(shù)脂等各種骨狀材的噴嘴、 或者觀察基板表面的照相機(jī)單元等構(gòu)成。該基板處理單元14，相對(duì)于 門形架13Y可沿該門形架13Y的下面自由移動(dòng)地受到支承。門形架13Y和基板處理單元14，以線性馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)源，分別沿 著導(dǎo)架13X1、 13X2和門形架13Y移動(dòng)。圖3表示設(shè)在導(dǎo)架13X1與 門形架13Y之間的可動(dòng)部20的一例構(gòu)造。下述的構(gòu)造也同樣地適用 于導(dǎo)架13X2與門形架13Y之間以及門形架13Y與基板處理單元14 之間。如圖3所示，可動(dòng)部20備有線性引導(dǎo)件17、磁鐵18、和電樞線 圏19。線性引導(dǎo)件17由敷設(shè)在導(dǎo)架13X1上面的一對(duì)導(dǎo)軸17a、 17a、 和設(shè)置在門形架13Y的腳部下面的一對(duì)引導(dǎo)軸承17b、 17b構(gòu)成。磁 鐵18在一對(duì)導(dǎo)軸17a、 17a之間呈直線地設(shè)置在導(dǎo)架13X1的上面。 電樞線圏19與磁鐵18隔開(kāi)間隔相向地安裝在門形架13Y的腳部下面。 由這些》茲鐵18和電樞線圏19構(gòu)成了線性馬達(dá)。在可動(dòng)部20上，還設(shè)有用于檢測(cè)門形架13Y相對(duì)于導(dǎo)架13X1的 相對(duì)位置的位置檢測(cè)傳感器21。位置檢測(cè)傳感器21光學(xué)地檢測(cè)設(shè)置 在導(dǎo)架13X1側(cè)面的直線標(biāo)尺22，進(jìn)行門形架13Y的位置檢測(cè)。另外，臺(tái)架裝置ll還備有控制部(圖未示)，該控制部接受上述 位置檢測(cè)傳感器的檢測(cè)輸出，進(jìn)行門形架13Y及基板處理單元14的 移動(dòng)控制，該控制部的說(shuō)明從略。借助門形架13Y相對(duì)于導(dǎo)架13X1、13X2的X軸方向的水平移動(dòng)、 以及基板處理單元14相對(duì)于門形架13Y的Y軸方向的水平移動(dòng)，可 以在XY面內(nèi)的兩個(gè)方向上，將基板處理單元14與支承在載置臺(tái)12 上的被處理基板W的表面整個(gè)區(qū)域相向地配置。這樣，臺(tái)架裝置11 作為XY臺(tái)架構(gòu)成，可以用基板處理單元14對(duì)被處理基板W連續(xù)地 或間歇地進(jìn)行預(yù)定的基板處理動(dòng)作(本例中是密封劑或液晶材料、含 間隔基的樹(shù)脂的涂敷處理、或表面檢查)。另外，在本實(shí)施方式的臺(tái)架裝置11中，如圖1B所示，是由含有 一側(cè)導(dǎo)架13X1的第1構(gòu)造體V1、含有另一側(cè)導(dǎo)架13X2的第2構(gòu)造 體V2、和含有門形架13Y的第3構(gòu)造體V3的結(jié)合體構(gòu)成的。因此， 臺(tái)架裝置ll在導(dǎo)架13X1、導(dǎo)架13X2和門形架13Y之間是可分離的。第i構(gòu)造體VI由導(dǎo)架13X1和架臺(tái)16的一部分16a等構(gòu)成，第 2構(gòu)造體V2由導(dǎo)架13X2和架臺(tái)16的一部分16b等構(gòu)成。在導(dǎo)架13Xl、 13X2上，也可以預(yù)先敷設(shè)線性引導(dǎo)件的導(dǎo)軸17a或磁鐵18等。另夕卜， 分別敷設(shè)在導(dǎo)架13X1及導(dǎo)架13X2上的導(dǎo)軸17a，相當(dāng)于本發(fā)明中的 "一對(duì)引導(dǎo)部"。第3構(gòu)造體V3由門形架13Y、基板處理單元14等構(gòu)成，也可以 把可動(dòng)部20的一部分設(shè)置在門形架13Y的兩腳部。另外，載置臺(tái)12 可相對(duì)于架臺(tái)16自由裝卸，在導(dǎo)架13X1、 13X2的組裝后，再安裝在 架臺(tái)16上。如上所述，才艮據(jù)本實(shí)施方式，導(dǎo)架13X1、 13X2在與其延伸方向 直交的方向上分離自如，這樣，可以把臺(tái)架裝置ll的架部分在Y軸 方向分割成兩部分，從而進(jìn)行運(yùn)輸。例如，即使臺(tái)架裝置11具有X軸方向長(zhǎng)度尺寸為5500mm以上、 Y軸方向的寬度尺寸為4500mm以上的大小時(shí)，只要把臺(tái)架裝置11 在Y軸方向分割成兩部分，對(duì)于每個(gè)分割構(gòu)造體單位，短邊的長(zhǎng)度尺 寸可抑制在3500mm以下。這樣，可以避免道路狀況等的限制，實(shí)現(xiàn) 臺(tái)架裝置11的陸路運(yùn)輸。這里， 一方導(dǎo)架13X1側(cè)與另 一方導(dǎo)架13X2側(cè)之間的交界線D(圖 1A), i殳定在連接該一對(duì)導(dǎo)架13X1、 13X2的架臺(tái)16的Y軸方向大致 中央部。分割后的架臺(tái)16a、 16b如圖1B所示，分別固定在導(dǎo)架13X1 和導(dǎo)架13X2上，在臺(tái)架的組裝時(shí)，各架臺(tái)16a、 16b的端部相互接合。另外，交界線D的位置、即架臺(tái)16的分割位置，并不限定于上 述例子。另外，架臺(tái)16的分割面構(gòu)成為其法線方向是Y軸方向。但 是，分割面的法線方向也可以是與Y軸交叉的方向。另外，也可以將 導(dǎo)架13X1、 13X2在其對(duì)角線位置上分割。另外，由于各導(dǎo)架13X1、 13X2本身不是分割構(gòu)造，所以，在門 形架13Y的移動(dòng)路徑上不存在接縫。因此，門形架13Y上不會(huì)產(chǎn)生振 動(dòng)及移動(dòng)速度的變化，可確保對(duì)被處理基材W進(jìn)行準(zhǔn)確的處理。另外， 可確保能得到門形架13Y的所需的移送精度的設(shè)計(jì)精度，導(dǎo)架13X1、 13X2的制作和設(shè)置作業(yè)容易。這里，所說(shuō)的門形架13Y的移送精度，包含門形架13Y的移動(dòng)面 的剛性、平坦度、門形架13Y的等速移動(dòng)性等。為了得到這些特性， 導(dǎo)架13X1、 13X2是采用花崗巖、大理石等的石材、SiC等的硬質(zhì)陶 瓷那樣加工精度高的材料。另外，由于導(dǎo)架13X1、 13X2在其延伸方向不分割，所以，可以 在把線性引導(dǎo)件(引導(dǎo)部)或直線標(biāo)尺敷設(shè)在導(dǎo)架13X1、 13X2上并 進(jìn)行了直動(dòng)引導(dǎo)調(diào)節(jié)的狀態(tài)下裝貨運(yùn)出。這樣，可以簡(jiǎn)化現(xiàn)場(chǎng)的設(shè)置 作業(yè)以及調(diào)節(jié)作業(yè)，提高作業(yè)性。
權(quán)利要求
1.一種臺(tái)架裝置，其備有支承被處理基板的基板支承面，夾著所述基板支承面地相向配置著的一對(duì)導(dǎo)架，在所述一對(duì)導(dǎo)架之間延伸并可相對(duì)于該一對(duì)導(dǎo)架自由移動(dòng)地受到支承的門形架，和設(shè)置在所述門形架上的基板處理單元；其特征在于，由含有所述一對(duì)導(dǎo)架中的一方導(dǎo)架的第1構(gòu)造體、含有所述一對(duì)導(dǎo)架中的另一方導(dǎo)架的第2構(gòu)造體、和含有所述門形架的第3構(gòu)造體的結(jié)合構(gòu)成。
2. —種臺(tái)架裝置，其設(shè)置有被處理基板，使門形架在該被處理基 板上移動(dòng)，對(duì)所述被處理基板進(jìn)行處理或檢查；其特征在于，備有將所述門形架的兩腳部可移動(dòng)地支承著的一對(duì)引導(dǎo)部，所述 一對(duì)引導(dǎo)部能夠分離地進(jìn)行運(yùn)輸。
全文摘要
本發(fā)明的臺(tái)架裝置能分割而進(jìn)行陸路運(yùn)輸、同時(shí)確保對(duì)被處理基板進(jìn)行準(zhǔn)確處理。臺(tái)架裝置(11)備有夾著設(shè)有被處理基板的基板支承面地相向配置的一對(duì)導(dǎo)架(13X1、13X2)、和可移動(dòng)地支承在該對(duì)導(dǎo)架(13X1、13X2)上面的門形架(13Y)。該臺(tái)架裝置(11)由含有一方導(dǎo)架(13X1)的第1構(gòu)造體(V1)、含有另一方導(dǎo)架(13X2)的第2構(gòu)造體(V2)、和含有門形架(13Y)的第3構(gòu)造體(V3)的結(jié)合體構(gòu)成。這樣，即使是大型的臺(tái)架裝置，也能自由分離成各構(gòu)造體(V1～V3)，從而能進(jìn)行陸路運(yùn)輸。另外，由于在門形架(13Y)的移動(dòng)路徑上沒(méi)有接縫，故不損害門形架(13Y)的移送精度，可確保準(zhǔn)確的基板處理。
文檔編號(hào)H01L21/68GK101326625SQ20078000063
公開(kāi)日2008年12月17日 申請(qǐng)日期2007年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月6日
發(fā)明者南展史, 湯山純平, 田中保三, 矢作充 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科