專利名稱：缺陷檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于基板的缺陷檢查的缺陷檢查裝置。
本發(fā)明基于2006年4月10日在日本國(guó)提出申請(qǐng)的日本國(guó)特許出愿第2006-107466號(hào)而主張優(yōu)先權(quán)，并在此援用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體晶片或者液晶玻璃基板、印刷布線板等的制造工序中，實(shí)施使用線傳感器照相機(jī)(line sensor camera)來(lái)檢查基板表面缺陷的缺陷檢查。在用于這種缺陷檢查的缺陷檢查裝置中，采用了利用線傳感器照相機(jī)來(lái)讀取攝像對(duì)象物的圖像的圖像讀取裝置(例如，參照日本國(guó)特許出愿公開(kāi)公報(bào)第2002-77874號(hào))。在這種圖像讀取裝置中，線傳感器照相機(jī)構(gòu)成為能夠使用遮光板來(lái)部分地遮光。對(duì)多種電子部件使用同一線傳感器照相機(jī)，并對(duì)應(yīng)于攝像對(duì)象物的大小和形狀來(lái)使用遮光板。由于僅使線傳感器照相機(jī)的必要范圍受光，從而能夠縮小圖像尺寸。
另外，作為檢測(cè)缺陷的方法，已公知如下技術(shù)(例如參照日本國(guó)特許出愿公開(kāi)公報(bào)第2002-83303號(hào))對(duì)由線傳感器照相機(jī)所得到的二維原始圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行壓縮，對(duì)壓縮后的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理來(lái)檢測(cè)缺陷位置，并根據(jù)原始圖像數(shù)據(jù)來(lái)復(fù)原缺陷位置的圖像。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的缺陷檢查裝置，其特征在于，具有攝像裝置，其取入圖像數(shù)據(jù)作為被檢查體的光學(xué)圖像信息；圖像壓縮部，其將由前述攝像裝置取入的圖像數(shù)據(jù)作為原始圖像而對(duì)其進(jìn)行壓縮，來(lái)生成壓縮圖像數(shù)據(jù)；缺陷提取部，其從所述壓縮圖像數(shù)據(jù)中提取含有所述被檢查體的缺陷的缺陷區(qū)域；以及區(qū)域指定部，其指定由所述缺陷提取部提取出的所述缺陷區(qū)域，所述缺陷檢查裝置對(duì)由所述區(qū)域指定部指定而取得的區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行缺陷檢查。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的缺陷檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。
圖2是表示缺陷檢查裝置的檢查部的具體結(jié)構(gòu)的圖。
圖3是說(shuō)明取得原始圖像的處理的具體例子的圖。
圖4是說(shuō)明僅取得缺陷區(qū)域的圖像的處理的具體例子的圖。
圖5是說(shuō)明從原始圖像提取邊緣切線的處理的具體例子的圖。
圖6是說(shuō)明從原始圖像切取缺陷區(qū)域的圖像的處理的具體例子的圖。
具體實(shí)施例方式
參照附圖對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
如圖1所示，缺陷檢查裝置1具有取得半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等板狀的被檢查體W的圖像的檢查部2；進(jìn)行檢查部2的控制的同時(shí)取入被檢查體W的圖像，從而進(jìn)行圖像處理的預(yù)處理的控制部3；接受來(lái)自控制部3的信息而進(jìn)行缺陷提取等圖像處理的圖像處理部4；預(yù)先保存經(jīng)過(guò)圖像處理的缺陷圖像和判定結(jié)果等的圖像保存部5。
如圖1和圖2所示，檢查部2具有掃描臺(tái)10(保持部)，在掃描臺(tái)10上設(shè)有包含電動(dòng)機(jī)11A的掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11。掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11是使搭載于掃描臺(tái)10上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)12(保持部)在箭頭A所示的直線方向上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部。旋轉(zhuǎn)臺(tái)12通過(guò)包含搭載于內(nèi)部的電動(dòng)機(jī)13A的旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)部13，而在箭頭B所示的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)自由。旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)部13是進(jìn)行被檢查體W的旋轉(zhuǎn)方向的位置對(duì)準(zhǔn)的驅(qū)動(dòng)部。在旋轉(zhuǎn)臺(tái)12上端上搭載有臺(tái)14。臺(tái)14連接于吸附電磁閥15，能夠通過(guò)真空吸附來(lái)固定被檢查體W。
在臺(tái)14的上方朝向被檢查體W配置有照明部20。照明部20具有照明用的光源和光學(xué)系統(tǒng)。在照明用的光源中例如使用內(nèi)部具有鹵素?zé)簟⒓t外線吸收濾光片、聚光透鏡的光源。在照明用的光學(xué)系統(tǒng)中例如采用使來(lái)自光源的光束收斂的聚光透鏡和為了進(jìn)行線照明而使出射端形成為直線狀的光纖束。照明部20以入射角θ0對(duì)被檢查體W進(jìn)行照明，因此在其與被檢查體W之間配置有使光束收斂的圓柱透鏡21和縫隙22。照明部20、圓柱透鏡21和縫隙22構(gòu)成為一體，而能夠通過(guò)照明角度驅(qū)動(dòng)部23來(lái)任意改變相對(duì)于被檢查體W表面的角度，例如能夠以比入射角θ0大的入射角θ1對(duì)被檢查體W表面進(jìn)行照明。
另外，臺(tái)14的上方，獲取被檢查體W的光學(xué)圖像信息的線傳感器照相機(jī)25(攝像裝置)配置成使來(lái)自照明部20的反射光能夠入射。線傳感器照相機(jī)25的多個(gè)攝像元件(傳感器)在垂直于掃描方向的方向上呈直線狀的配置，并對(duì)被檢查體W的直線狀的區(qū)域進(jìn)行成像。在線傳感器照相機(jī)25和被檢查體W之間有濾光片26。在濾光片26中采用窄帶濾光片，以便能夠限制照明光的波段以獲得干涉像。通過(guò)濾光片驅(qū)動(dòng)部27相對(duì)于光學(xué)路徑可插拔，或能夠切換濾光片26的種類。
圖1所示的檢查部2的各種傳感器28，是能夠檢測(cè)被檢查體W的吸附保持和照明部20的傾斜角度等而進(jìn)行準(zhǔn)確檢查的傳感器。操作輸入部29用于接受作業(yè)者的操作而實(shí)施后述的各種處理。另外，如此構(gòu)成的檢查部2收納于未圖示的暗箱狀的殼體內(nèi)，以便不會(huì)受到外來(lái)光的影響。另外，為了防止被檢查體W上的微粒附著，下行氣流從殼體上部通過(guò)空氣凈化用的過(guò)濾器而流過(guò)。
接著，控制部3具有圖像取入電路31(圖像取入部)。在圖像取入電路31中，與掃描臺(tái)10的移動(dòng)同步，或者與旋轉(zhuǎn)臺(tái)12的旋轉(zhuǎn)同步地取入由線傳感器照相機(jī)25所拍攝到的一線的數(shù)據(jù)。實(shí)施將一線的數(shù)據(jù)垂直(臺(tái)10、12的移動(dòng)方向)地連接起來(lái)的處理而使被檢查體W整體的圖像成為一張二維圖像(原始圖像)。
在圖像取入電路31上連接有校正部32。校正部32對(duì)原始圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行各種校正。例如，照明部20的配光通常不是均勻的，在被檢查體W的被照射部分上存在光量不均。另外，線傳感器照相機(jī)25的各個(gè)攝像元件的靈敏度不相同。因此，已知在線傳感器照相機(jī)25的輸出數(shù)據(jù)中出現(xiàn)暗影。校正部32使用預(yù)先存儲(chǔ)的暗影的數(shù)據(jù)，對(duì)本來(lái)的圖像中需要修正的原始圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行校正。另外，當(dāng)在從被檢查體W的照明部20到線傳感器照相機(jī)25的光路上插入有各種透鏡時(shí)，由于透鏡的偏差或者像差等而在線傳感器照相機(jī)25的輸出數(shù)據(jù)中產(chǎn)生失真。對(duì)于這種失真也利用預(yù)先存儲(chǔ)于校正部32中的失真數(shù)據(jù)，修正為乘以本來(lái)倍率后的圖像。
在校正部32上連接有圖像預(yù)處理部33，能夠根據(jù)需要進(jìn)行濾波等預(yù)處理。在圖像預(yù)處理部33上連接有圖像壓縮部34和圖像存儲(chǔ)部35。
圖像壓縮部34對(duì)在圖像預(yù)處理部33中實(shí)施了預(yù)處理的原始圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)與接近的像素的運(yùn)算來(lái)壓縮原始圖像數(shù)據(jù)而實(shí)施減小圖像尺寸的處理。作為圖像的壓縮方法，例如可以選擇以下方法取得2×2像素區(qū)域的各個(gè)像素?cái)?shù)據(jù)的平均，或者舍棄8×8像素區(qū)域的最大亮度數(shù)據(jù)以外的數(shù)據(jù)，或者相反舍棄最小亮度數(shù)據(jù)以外的數(shù)據(jù)等。
圖像存儲(chǔ)部35除了存儲(chǔ)從圖像預(yù)處理部33輸出的原始圖像數(shù)據(jù)和由圖像壓縮部34壓縮后的圖像數(shù)據(jù)等以外，還能夠存儲(chǔ)任意的圖像，并且能夠使這些圖像被讀出。另外，實(shí)施從原始圖像數(shù)據(jù)切出由區(qū)域指定部36所指定的區(qū)域的處理。另外，圖像存儲(chǔ)部35能夠向圖像處理部4的缺陷提取部41和缺陷分類部42輸出圖像數(shù)據(jù)。
區(qū)域指定部36接收來(lái)自操作輸入部29的指令，或者接收來(lái)自圖像處理部4的指令，從而對(duì)驅(qū)動(dòng)控制部37指定要從被檢查體W取得的圖像區(qū)域。另外，指令圖像處理部35以從原始圖像數(shù)據(jù)或者壓縮圖像數(shù)據(jù)提取預(yù)定區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)。
驅(qū)動(dòng)控制部37進(jìn)行用于移動(dòng)被檢查體W的控制以及對(duì)上述光學(xué)系統(tǒng)的各種驅(qū)動(dòng)部的控制，連接有濾光片驅(qū)動(dòng)部27、掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11、照明角度驅(qū)動(dòng)部23、旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)部13、吸附電磁閥15、各種傳感器28等。以由操作輸入部29所指定的區(qū)域或由缺陷提取部41所提取的缺陷區(qū)域?yàn)榛A(chǔ)，進(jìn)行各個(gè)驅(qū)動(dòng)部和圖像取入電路31的控制，能夠通過(guò)圖像取入電路31僅將由區(qū)域指定部36所指定的區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)取入。
與控制部3連接的圖像處理部4具有缺陷提取部41。缺陷提取部41獲取存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中的圖像數(shù)據(jù)，將作為被檢查體W的固有圖像的被檢查體外形圖像以及特定圖案圖像等除去，利用圖案匹配等提取缺陷區(qū)域。另外，將提取出了缺陷的區(qū)域通知給區(qū)域指定部36。
缺陷分類部42對(duì)在缺陷提取部41中提取出的缺陷區(qū)域的圖像，以及存儲(chǔ)于缺陷辭典44中的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，來(lái)對(duì)缺陷進(jìn)行分類，并確定缺陷種類。對(duì)所確定的缺陷生成缺陷信息(缺陷的分類和種類)。
缺陷判定部43在通過(guò)缺陷提取部41未提取出缺陷時(shí)則認(rèn)為是合格品，當(dāng)通過(guò)缺陷提取部41提取出缺陷時(shí)，則根據(jù)缺陷分類部42所確定的缺陷信息的內(nèi)容來(lái)判斷被檢查體W中是否存在缺陷。另外，根據(jù)缺陷的內(nèi)容和位置來(lái)判定是否適合將被檢查體W向生產(chǎn)線下游傳遞。這里作為判斷基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，使用預(yù)先登記的數(shù)據(jù)。缺陷判定部43的判定結(jié)果被轉(zhuǎn)接給圖像保存部5。
圖像保存部5具有圖像判定結(jié)果保存部51。圖像判定結(jié)果保存部51對(duì)在由缺陷提取部41提取出的缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)、和改變攝像條件而進(jìn)行攝影的情況下的缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)、由缺陷分類部42進(jìn)行了分類的缺陷的種類和名稱信息、缺陷判定部43中的判定結(jié)果等進(jìn)行保存。
下面對(duì)本實(shí)施方式的作用進(jìn)行說(shuō)明。
首先，從生產(chǎn)線上游送來(lái)的多個(gè)被檢查體W，通過(guò)人手或者生產(chǎn)線的搬運(yùn)裝置(以下稱為搬運(yùn)裝置等)，被裝填設(shè)置在未圖示的載體中。然后，通過(guò)搬運(yùn)裝置等對(duì)圖1的操作輸入部29輸入檢查開(kāi)始，從而使缺陷檢查裝置1開(kāi)始動(dòng)作。
搬運(yùn)裝置等從載體取出特定的被檢查體W，并以取得偏芯的狀態(tài)把被檢查體W正確地載置于臺(tái)14上。當(dāng)被檢查體W被正確地載置于臺(tái)14上時(shí)，圖1的驅(qū)動(dòng)控制部37使吸附電磁閥15為接通(ON)，來(lái)吸附固定臺(tái)14上的被檢查體W。然后，驅(qū)動(dòng)控制部37對(duì)掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11輸出命令，使掃描臺(tái)10移動(dòng)，使被檢查體W的周緣部移動(dòng)到各種傳感器28中含有的凹口(notch)檢測(cè)傳感器的測(cè)定區(qū)域內(nèi)。另外，驅(qū)動(dòng)控制部37對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)部13輸出命令，以使旋轉(zhuǎn)臺(tái)12旋轉(zhuǎn)。一旦凹口檢測(cè)傳感器檢測(cè)到被檢查體W的周緣部的凹口，則將其位置作為基準(zhǔn)進(jìn)行登記。然后，使旋轉(zhuǎn)臺(tái)12旋轉(zhuǎn)以使得被檢查體W的旋轉(zhuǎn)位置始終相同。
一旦決定了凹口檢測(cè)傳感器和旋轉(zhuǎn)臺(tái)12的旋轉(zhuǎn)位置，則驅(qū)動(dòng)控制部37向?yàn)V光片驅(qū)動(dòng)部27輸出命令而把窄帶濾光片26從光路上拔去。另外，向照明角度驅(qū)動(dòng)部23輸出命令，以對(duì)照明部20進(jìn)行角度調(diào)整而例如以入射角θ1的角度對(duì)被檢查體W進(jìn)行照明。至此為止的處理中，完成了準(zhǔn)備階段，因此照明部20對(duì)被檢查體W進(jìn)行照明，并開(kāi)始整體圖像的獲取。
照明部20對(duì)被檢查體W進(jìn)行照明，但從照明部20發(fā)出的光束中的入射角θ1以外的擴(kuò)散的不需要的光束通過(guò)縫隙22被遮擋，因此僅有基本上以入射角θ1的角度入射的光到達(dá)被檢查體W。此時(shí)，線傳感器照相機(jī)25被配置于相對(duì)于被檢查體W為角度θ0’的位置上，因此在被檢查體W上完全沒(méi)有凹凸的情況下成為暗視野照明的狀態(tài)，由被檢查體W的表面正反射的光束不在線傳感器照相機(jī)25上成像。但是，當(dāng)被檢查體W上存在損傷或者塵埃、缺陷或者正常的圖案等的情況下，在以入射角θ1的角度入射的光束中產(chǎn)生以反射角θ0’(＝θ0)擴(kuò)散的光束，線傳感器照相機(jī)25對(duì)該反射光進(jìn)行攝像。
線傳感器照相機(jī)25將成像光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，按照每一線向圖像取入電路31輸出。驅(qū)動(dòng)控制部37對(duì)圖像取入電路31輸出攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)，并且使掃描臺(tái)10沿著箭頭A所示的一軸方向開(kāi)始掃描。由此，由于被檢查體W相對(duì)于線傳感器照相機(jī)25移動(dòng)，因而當(dāng)按照取入的順序把從線傳感器照相機(jī)25輸出的數(shù)據(jù)相加匹配時(shí)，獲得被檢查體W的整體像。
參照?qǐng)D3對(duì)此前的預(yù)處理的具體例子進(jìn)行說(shuō)明。在圖3中，橫向表示掃描臺(tái)10的掃描方向、即時(shí)間的經(jīng)過(guò)?？v向?qū)?yīng)于線傳感器照相機(jī)25的像素(受光面)的排列。通過(guò)攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)使圖像取入電路31開(kāi)始接收從線傳感器照相機(jī)25輸出的電信號(hào)(圖像數(shù)據(jù))。圖像取入電路31不取入一線的圖像LP中的兩端的電信號(hào)，而從獲取開(kāi)始像素位置SP開(kāi)始取入，在獲取結(jié)束像素位置EP結(jié)束取入。獲取開(kāi)始像素位置SP和獲取結(jié)束像素位置EP在驅(qū)動(dòng)控制部37中被預(yù)先定義，設(shè)定成使被檢查體W收斂于所獲取的范圍內(nèi)，并且切去被檢查體W未進(jìn)入的區(qū)域，而使圖像的數(shù)據(jù)尺寸減小。
另外，根據(jù)攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)而取入圖像的線數(shù)(獲取線數(shù))也由驅(qū)動(dòng)控制部37預(yù)先設(shè)定，圖像取入電路31僅取入獲取線數(shù)條線的圖像。其結(jié)果，獲取區(qū)域CA成為把獲取線數(shù)條線的從獲取開(kāi)始像素位置SP到獲取結(jié)束像素位置EP的圖像相加匹配而得到的四邊形圖像。另外，獲取區(qū)域CA比成像于線傳感器照相機(jī)25上的區(qū)域(攝像區(qū)域PA)小。
對(duì)于與如此取得的獲取區(qū)域CA的圖像對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)，使用在校正部32中預(yù)先存儲(chǔ)的暗影數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行暗影校正，從而修正為本來(lái)的圖像。另外，使用預(yù)先存儲(chǔ)的失真數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行失真校正，從而修正為乘以了本來(lái)倍率后的圖像。另外，在必要情況下，在圖像預(yù)處理部33中進(jìn)行濾波等處理，然后生成被檢查體W整體的原始圖像數(shù)據(jù)(二維圖像數(shù)據(jù))并存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。
下面對(duì)原始圖像進(jìn)行壓縮處理，并縮小數(shù)據(jù)尺寸之后進(jìn)行缺陷提取。
圖像壓縮部34根據(jù)原始圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)與接近圖像的運(yùn)算來(lái)壓縮原始圖像數(shù)據(jù)，使圖像尺寸縮小，以此來(lái)生成壓縮圖像數(shù)據(jù)。例如，如果取5×5像素的平均而壓縮為一個(gè)像素，則能夠成為原始圖像的1/25的圖像數(shù)據(jù)尺寸。該壓縮圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。
存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中的壓縮圖像數(shù)據(jù)被傳送至圖像處理部4的缺陷提取部41，與存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中的理想的合格品的被檢查體的圖像進(jìn)行比較。在除去了作為被檢查體W的固有圖像的被檢查體外形圖像、曝光范圍的外形圖像或者特定圖案圖像等之后，通過(guò)圖像處理提取出與合格品的被檢查體的圖像之間的不同點(diǎn)。把包含不同點(diǎn)的規(guī)定區(qū)域，作為由缺陷提取部41判定為缺陷的區(qū)域(缺陷區(qū)域)來(lái)進(jìn)行處理。由缺陷提取部41提取出的缺陷區(qū)域的坐標(biāo)數(shù)據(jù)被傳送至區(qū)域指定部36。
接著，缺陷檢查裝置1再次取得缺陷區(qū)域的圖像，僅取得作為未壓縮的圖像并且是必要區(qū)域的圖像，以便能夠詳細(xì)地精度良好地檢查缺陷。另外，也可以根據(jù)需要而改變攝像條件來(lái)進(jìn)行檢查。例如根據(jù)需要向照明角度驅(qū)動(dòng)部23輸出命令，設(shè)定與對(duì)被檢查體W整體進(jìn)行攝像時(shí)的條件不同的條件，以便能夠進(jìn)行詳細(xì)的檢查。另外，也可以變更線傳感器照相機(jī)25的攝像角度。其中，把照明部20設(shè)定成能夠以入射角θ0(＝θ0’)的角度對(duì)被檢查體W進(jìn)行照明。(圖1的實(shí)線)另外，驅(qū)動(dòng)控制部37向?yàn)V光片驅(qū)動(dòng)部27輸出命令而把窄帶濾光片26插入到光路上。由此，如果被檢查體W是半導(dǎo)體晶片等在基板上涂布有抗蝕劑等的薄膜的部件，則也能夠檢測(cè)膜的不均。區(qū)域指定部36基于從缺陷提取部41輸出的缺陷區(qū)域的坐標(biāo)數(shù)據(jù)而對(duì)驅(qū)動(dòng)控制部37設(shè)定輸出攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)的定時(shí)，并對(duì)圖像取入電路31設(shè)定獲取線數(shù)、獲取開(kāi)始像素位置、獲取結(jié)束像素位置。圖1的驅(qū)動(dòng)控制部37對(duì)掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11輸出命令，使載置了被檢查體W的掃描臺(tái)10沿著箭頭A所示的一軸方向移動(dòng)。在由區(qū)域指定部36所設(shè)定的定時(shí)從驅(qū)動(dòng)控制部37向圖像取入電路31輸出攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)。
線傳感器照相機(jī)25將由照明部20照明的被檢查體W的反射光取入，將該成像光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。對(duì)應(yīng)于每一線而把電信號(hào)向圖像取入電路31輸出。此時(shí)，圖像取入電路31在由驅(qū)動(dòng)控制部37所產(chǎn)生的攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)被輸入之前不進(jìn)行圖像取入，而僅實(shí)施從攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)被輸入時(shí)的線開(kāi)始到由區(qū)域指定部36所指定的獲取線數(shù)為止的電信號(hào)的取入。另外，在各獲取線中，僅取入從獲取開(kāi)始像素位置到獲取結(jié)束像素位置之間的電信號(hào)。
參照?qǐng)D4對(duì)到此為止的處理的具體的例子進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)在缺陷提取部41中提取了八個(gè)缺陷區(qū)域DA1～DA8的情況下，區(qū)域指定部36對(duì)應(yīng)于缺陷區(qū)域DA1～DA8的每一個(gè)缺陷區(qū)域來(lái)運(yùn)算攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)、獲取線數(shù)、獲取開(kāi)始像素位置、獲取結(jié)束像素位置并設(shè)定。對(duì)于缺陷區(qū)域DA1，設(shè)定攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)T1、與掃描方向的圖像長(zhǎng)度LG1相當(dāng)?shù)墨@取線數(shù)、與線傳感器照相機(jī)25的長(zhǎng)度方向的圖像長(zhǎng)度WH1相當(dāng)?shù)墨@取開(kāi)始像素位置SP1和獲取結(jié)束像素位置EP1。線傳感器照相機(jī)25連續(xù)取得包含被檢查體W的圖像，而圖像取入電路31取入獲取線數(shù)條線的從獲取開(kāi)始像素位置SP1到獲取結(jié)束像素位置EP1的范圍的電信號(hào)。其結(jié)果，僅取入與圖像長(zhǎng)度LG1×圖像長(zhǎng)度WH1相當(dāng)?shù)娜毕輩^(qū)域DA1。缺陷區(qū)域DA1的圖像尺寸與相當(dāng)于圖像長(zhǎng)度LG1的線傳感器照相機(jī)25的攝像區(qū)域PA1相比也足夠小。
以下，對(duì)于其它的缺陷區(qū)域DA2～DA8也同樣地取入圖像。另外，缺陷區(qū)域DA7和缺陷區(qū)域DA8在掃描方向上有局部重疊的部分，但此時(shí)，在一條線中平行地實(shí)施從獲取開(kāi)始像素位置SP8到獲取結(jié)束像素位置EP8的圖像取入、與從獲取開(kāi)始像素位置SP7到獲取結(jié)束像素位置EP7的圖像取入。缺陷區(qū)域DA7和缺陷區(qū)域DA8的圖像尺寸，與相當(dāng)于圖像長(zhǎng)度LG2的線傳感器照相機(jī)25的攝像區(qū)域PA2相比也足夠小。
僅對(duì)這樣指定的缺陷區(qū)域的數(shù)據(jù)通過(guò)校正部32同樣地進(jìn)行暗影校正、失真校正，并在必要情況下通過(guò)圖像預(yù)處理部33進(jìn)行濾波等，然后生成每個(gè)缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。此時(shí)，與前述同樣地圖像壓縮部34可以根據(jù)需要對(duì)原始圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行壓縮并存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。圖像存儲(chǔ)部35將原始圖像數(shù)據(jù)、或者根據(jù)需要而改變照明角度條件進(jìn)行攝像所得的原始圖像數(shù)據(jù)發(fā)送給缺陷分類部42。
缺陷分類部42根據(jù)詳細(xì)的缺陷區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)，將預(yù)先存儲(chǔ)的缺陷信息從缺陷辭典44中讀出并進(jìn)行比較，以確定缺陷種類。對(duì)特性化的缺陷賦予預(yù)先登記的缺陷名稱。根據(jù)如此生成的缺陷信息的內(nèi)容，通過(guò)缺陷判定部43判定被檢查體W是否存在缺陷，并且判定是否將被檢查體W向生產(chǎn)線下游輸送。例如在缺陷存在于不會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量的位置的情況下，以及缺陷的尺寸為不會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量的尺寸的情況下，判定為可以向生產(chǎn)線下游輸送。在缺陷影響產(chǎn)品質(zhì)量的情況下，把該被檢查體W作為不合格品，而輸出從生產(chǎn)線撤出的指示。此時(shí)，該被檢查體W自動(dòng)地撤出生產(chǎn)線，或者由接收到通知的作業(yè)者將該被檢查體W從生產(chǎn)線撤出。
另外，在通過(guò)缺陷判定部43進(jìn)行了是否合格的判定之后，將由缺陷提取部41提取出的缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)、改變攝像條件而進(jìn)行攝像得到的缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)、缺陷信息、缺陷判定部43的判定結(jié)果等保存于圖像保存部5的圖像判定結(jié)果保存部51中。
根據(jù)本實(shí)施方式，根據(jù)被檢查體W整體的圖像而生成壓縮圖像數(shù)據(jù)，使用壓縮圖像數(shù)據(jù)提取出缺陷，從而與對(duì)容量大的原始圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理的情況相比能夠縮短檢查時(shí)間。在壓縮圖像數(shù)據(jù)中進(jìn)行了缺陷提取以后，再次取得所提取出的區(qū)域的未壓縮的圖像，因此能夠利用未壓縮的圖像進(jìn)行缺陷區(qū)域的詳細(xì)檢查。由于僅取得缺陷區(qū)域的圖像，從而能夠縮短圖像處理等的時(shí)間。另外，當(dāng)再度僅取得所提取出的缺陷區(qū)域時(shí)，代替在線傳感器照相機(jī)25側(cè)使用機(jī)械的遮光板等，而是僅取出控制部3的處理所必需的信息，從而能夠簡(jiǎn)化裝置結(jié)構(gòu)，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)獲取區(qū)域的變更等。另外，當(dāng)改變攝像條件而再度獲取圖像時(shí)，能夠更詳細(xì)地進(jìn)行精度良好的檢查。
參照附圖對(duì)本發(fā)明第二實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
本實(shí)施方式的主要特征在于，對(duì)晶片的周緣部(晶片邊緣部)進(jìn)行檢查。即，如果在晶片上產(chǎn)生裂紋的狀態(tài)下繼續(xù)生成，則會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)中途發(fā)生晶片斷裂，因此希望能夠在盡早的工序中檢查晶片邊緣部是否存在裂紋，以此來(lái)確定晶片是否合格。
另外，在光刻工序中，當(dāng)在晶片表面上涂布光致抗蝕劑的薄膜后，使適量的漂洗液滴下，而將晶片周緣的光致抗蝕劑切下預(yù)定寬度，使晶片邊緣部露出。這是為了防止由于不必要地流到背面的光致抗蝕劑而產(chǎn)生微粒，導(dǎo)致缺陷。
本實(shí)施方式中，要注意的是，在該階段進(jìn)行晶片邊緣部的檢查，這對(duì)于在以后的工序中推進(jìn)處理制造合格品的半導(dǎo)體晶片是重要的檢查項(xiàng)目。另外，裝置結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同而省略重復(fù)的說(shuō)明。
在作為晶片的被檢查體W的邊緣切線寬度的測(cè)定中，不對(duì)晶片邊緣部整個(gè)區(qū)域進(jìn)行測(cè)定，而是僅在例如周向上各錯(cuò)開(kāi)90°的共計(jì)四個(gè)位置上測(cè)定被檢查體W的邊緣切線寬度，也能夠推定晶片邊緣部的分布。以下說(shuō)明通過(guò)向操作輸入部29輸入檢查開(kāi)始而使本裝置開(kāi)始動(dòng)作的情況。
最初，從圖1的操作輸入部29對(duì)區(qū)域指定部36進(jìn)行測(cè)定區(qū)域的設(shè)定。設(shè)定的區(qū)域是與前述的各90°的晶片邊緣部相當(dāng)?shù)膮^(qū)域。
區(qū)域指定部36基于所設(shè)定的區(qū)域而對(duì)驅(qū)動(dòng)控制部37設(shè)定輸出旋轉(zhuǎn)臺(tái)攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)的脈沖數(shù)，并對(duì)圖形取入電路31設(shè)定獲取線數(shù)、獲取開(kāi)始像素位置、獲取結(jié)束像素位置。當(dāng)從操作輸入部29輸入了檢查開(kāi)始信號(hào)時(shí)，與前述實(shí)施例同樣地進(jìn)行被檢查體W的定位，然后圖1的驅(qū)動(dòng)控制部37向掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11輸出命令，使載置了被檢查體W的掃描臺(tái)10移動(dòng)到使線傳感器照相機(jī)25的攝像線和被檢查體W的中心重疊的位置。
接著，驅(qū)動(dòng)控制部37向旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)部13發(fā)出命令，使載置了被檢查體W的旋轉(zhuǎn)臺(tái)12旋轉(zhuǎn)180°。此時(shí)從驅(qū)動(dòng)控制部37在由區(qū)域指定部36設(shè)定的定時(shí)向圖像取入電路31輸出攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)。
此時(shí)，圖像取入電路31接收從驅(qū)動(dòng)控制部37輸出的攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)，從接收到該信號(hào)的線開(kāi)始，僅取入由區(qū)域指定部36指定的獲取線數(shù)條線中的、從所指定的獲取開(kāi)始像素位置到所指定的獲取結(jié)束像素位置的電信號(hào)。
參照?qǐng)D5對(duì)這里的處理的具體例子進(jìn)行說(shuō)明。圖5中所謂掃描方向表示旋轉(zhuǎn)臺(tái)12的旋轉(zhuǎn)量。由于旋轉(zhuǎn)臺(tái)12旋轉(zhuǎn)，但線傳感器照相機(jī)25不移動(dòng)，因此被檢查體W的圖像成為四邊形，在沿著掃描方向的兩端出現(xiàn)晶片邊緣。在晶片邊緣的內(nèi)側(cè)出現(xiàn)除去了抗蝕劑而露出作為被檢查體W的晶片的表面的邊緣切線。圖像取入電路31根據(jù)攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)T2，取入從獲取開(kāi)始像素位置SP21到獲取結(jié)束像素位置EP21的圖像，以及從獲取開(kāi)始像素位置SP22到獲取結(jié)束像素位置EP22的圖像，以與圖像長(zhǎng)度LG3相當(dāng)?shù)墨@取線數(shù)而結(jié)束取入圖像。檢查區(qū)域EA1、EA2與相當(dāng)于圖像長(zhǎng)度LG3的線傳感器照相機(jī)25的攝像區(qū)域PA3相比也足夠小。
另外，由于在與使旋轉(zhuǎn)臺(tái)12旋轉(zhuǎn)了90°后的位置相當(dāng)?shù)亩〞r(shí)輸出攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)T3，因此，圖像取入電路31在與前述相同的像素位置SP21、EP21取入檢查區(qū)域EA3的圖像，在像素位置SP22、EP22取入檢查區(qū)域EA4的圖像。檢查區(qū)域EA3、EA4與使檢查對(duì)象EA1、EA2繞被檢查體W的中心旋轉(zhuǎn)90°后的位置的圖像相當(dāng)。檢查區(qū)域EA3、EA4的圖像尺寸與相當(dāng)于圖像長(zhǎng)度LG3的線傳感器照相機(jī)25的攝像區(qū)域PA3相比也足夠小。
僅對(duì)該指定的缺陷區(qū)域的數(shù)據(jù)通過(guò)校正部32與上述同樣地進(jìn)行暗影校正、失真校正，并在必要的情況下通過(guò)圖像預(yù)處理部33進(jìn)行濾波等，然后生成被檢查體W整體的原始圖像數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。
另外，此時(shí)與前述同樣地，通過(guò)圖像壓縮部34對(duì)原始圖像數(shù)據(jù)使用與接近像素的運(yùn)算來(lái)壓縮原始圖像數(shù)據(jù)，并將壓縮圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。
圖像存儲(chǔ)部35將壓縮圖像數(shù)據(jù)或者原始圖像數(shù)據(jù)向缺陷提取部41發(fā)送。在缺陷提取部41中與存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中的理想的合格品的圖像進(jìn)行比較，并測(cè)定晶片的邊緣切線的寬度，僅提取出產(chǎn)生了裂紋或者異物等的缺陷區(qū)域。通過(guò)缺陷提取部41提取出的缺陷區(qū)域數(shù)據(jù)被傳送至缺陷分類部42，在缺陷分類部42中基于該缺陷區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)，從缺陷辭典44中讀入預(yù)先存儲(chǔ)的缺陷信息來(lái)進(jìn)行比較，以此來(lái)確定缺陷種類。在發(fā)現(xiàn)了登記于缺陷辭典44中的缺陷的情況下，對(duì)提取出的缺陷區(qū)域賦予該缺陷的名稱。
另外，根據(jù)缺陷信息的內(nèi)容，通過(guò)缺陷判定部43來(lái)判斷被檢查體W是否存在缺陷，并且判定是否將被檢查體W向生產(chǎn)線下游輸送。在通過(guò)缺陷判定部43進(jìn)行了是否合格的判定以后，將由缺陷提取部41提取出的缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)、缺陷信息、判定結(jié)果等保存到圖像保存部5的圖像判定結(jié)果保存部51中。另外，在通過(guò)缺陷提取部41未提取出缺陷的情況下，也可以直接通過(guò)缺陷判定部43判定為是合格品。
這里根據(jù)需要而與第一實(shí)施方式同樣地，也可以改變攝像條件而再度取得由缺陷提取部41提取出的缺陷區(qū)域的圖像，以便能夠?qū)θ毕葸M(jìn)行詳細(xì)的精度良好的檢查。由此能夠進(jìn)行缺陷的詳細(xì)檢查。
根據(jù)本實(shí)施方式，在預(yù)先決定了檢查區(qū)域的情況下，通過(guò)設(shè)定檢查區(qū)域而開(kāi)始檢查，從而能夠僅對(duì)檢查所必要的區(qū)域的容量小的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行高效的檢查。通過(guò)迅速地進(jìn)行邊緣切線的檢查，能夠盡早發(fā)現(xiàn)被檢查體W的損傷等。
另外，本實(shí)施方式并不限于邊緣切線的檢查，也適用于進(jìn)行螺旋測(cè)定的情況等，對(duì)作業(yè)者所設(shè)定的多個(gè)檢查點(diǎn)進(jìn)行檢查的情況。即使在這種情況下也能夠迅速地進(jìn)行檢查。
參照附圖對(duì)本發(fā)明第三實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
本實(shí)施方式目的在于解決以下課題即雖然在利用壓縮后的圖像進(jìn)行檢查的情況下，能夠?qū)Υ蟮娜毕葸M(jìn)行檢查，但是不能通過(guò)缺陷種類和尺寸進(jìn)行正確判斷。另外，通過(guò)對(duì)缺陷種類進(jìn)行自動(dòng)分類而能夠提高檢查效率。另外，裝置結(jié)構(gòu)與圖1和圖2所示的第一實(shí)施方式相同，所以省略說(shuō)明，以下說(shuō)明作用。
搬運(yùn)裝置等從載體取出特定的被檢查體W，并以取得偏芯的狀態(tài)將被檢查體W正確載置于臺(tái)14上。當(dāng)在臺(tái)14上正確載置了被檢查體W后，圖1的驅(qū)動(dòng)控制裝置37使吸附電磁閥15接通(ON)，吸附固定臺(tái)上的被檢查體W。然后，驅(qū)動(dòng)控制部37向掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11發(fā)出命令，使掃描臺(tái)10移動(dòng)，使被檢查體W的周緣部移動(dòng)到各種傳感器28中所包含的凹口檢測(cè)傳感器的測(cè)定區(qū)域內(nèi)。另外，驅(qū)動(dòng)控制部37向旋轉(zhuǎn)臺(tái)驅(qū)動(dòng)部13輸出命令，使旋轉(zhuǎn)臺(tái)12旋轉(zhuǎn)。一旦凹口檢測(cè)傳感器檢測(cè)出被檢查體W的周緣部的凹口，則將其位置作為基準(zhǔn)進(jìn)行登記。然后使旋轉(zhuǎn)臺(tái)12旋轉(zhuǎn)以使被檢查體W的旋轉(zhuǎn)位置始終相同。
一旦決定了凹口檢測(cè)傳感器和旋轉(zhuǎn)臺(tái)12的旋轉(zhuǎn)位置，則驅(qū)動(dòng)控制部37向掃描臺(tái)驅(qū)動(dòng)部11發(fā)出命令，使載置了被檢查體W的掃描臺(tái)12沿一軸移動(dòng)。當(dāng)被檢查體W沿一軸移動(dòng)時(shí)，通過(guò)圖2的照明部20和圓柱透鏡21而收斂的光以入射角θ0的角度對(duì)被檢查體W進(jìn)行照明。
從被檢查體W的被照明的直線上的部分反射來(lái)的光束，通過(guò)插入該光學(xué)系統(tǒng)中的窄帶濾光片26而僅有光線的特定波長(zhǎng)的部分成像于線傳感器照相機(jī)25上。此時(shí)，在被檢查體W的表面存在膜厚變化等的情況下，通過(guò)窄帶濾光片26的波長(zhǎng)彼此發(fā)生干涉，能夠?qū)⒛ず褡兓鳛楣饬孔兓M(jìn)行檢測(cè)。
線傳感器照相機(jī)25將成像光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并對(duì)應(yīng)于每一線而傳送給圖像取入電路31。圖像取入電路31與圖3所示具體例子同樣，對(duì)應(yīng)于被檢查體W的移動(dòng)而把各線的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)。另外，通過(guò)校正部32對(duì)通過(guò)圖像取入電路31取入的數(shù)據(jù)進(jìn)行暗影校正以及失真校正。另外，在必要的情況下通過(guò)圖像預(yù)處理部33來(lái)進(jìn)行濾波等，然后生成被檢查體W整體的原始圖像數(shù)據(jù)并存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。另外，此時(shí)由圖像壓縮部34通過(guò)與接近像素的運(yùn)算來(lái)壓縮原始圖像數(shù)據(jù)，并將壓縮圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中。
其中，圖像存儲(chǔ)部35存儲(chǔ)有多個(gè)理想的合格品的被檢查體W的圖像。存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中的壓縮圖像數(shù)據(jù)被傳送到圖像處理部4的缺陷提取部41，與存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部35中的理想的合格品的被檢查體W的圖像進(jìn)行比較，并除去被檢查體W中作為固有圖像的被檢查體外形圖像、曝光范圍的外形圖像以及特定圖案圖像等，并通過(guò)圖像處理提取出與合格品的被檢查體的圖像之間的不同點(diǎn)。把包含不同點(diǎn)的規(guī)定區(qū)域作為由缺陷提取部41判定為缺陷的區(qū)域(缺陷區(qū)域)來(lái)進(jìn)行處理。通過(guò)缺陷提取部41提取出的缺陷區(qū)域的坐標(biāo)數(shù)據(jù)被傳送至區(qū)域指定部36。
圖像存儲(chǔ)部35基于被傳送至區(qū)域指定部36的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，從原始圖像數(shù)據(jù)中僅切取缺陷區(qū)域部分，并向缺陷分類部42發(fā)送切取缺陷區(qū)域而生成的詳細(xì)圖像數(shù)據(jù)。例如，圖6所示，當(dāng)原始圖像I0中存在由坐標(biāo)數(shù)據(jù)所定義的缺陷區(qū)域DA31時(shí)，將與缺陷區(qū)域DA31相當(dāng)?shù)膱D像數(shù)據(jù)作為詳細(xì)圖像數(shù)據(jù)而取出。
在缺陷分類部42中，基于該詳細(xì)的缺陷區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)，從缺陷辭典44中讀入預(yù)先存儲(chǔ)的缺陷信息來(lái)進(jìn)行比較，確定缺陷種類，對(duì)所確定的缺陷賦予所登記的名稱。
如果通過(guò)缺陷提取部41未提取出缺陷，則缺陷判定部43認(rèn)為是合格品，當(dāng)通過(guò)缺陷提取部41提取了缺陷時(shí)，則缺陷分類部42參照缺陷辭典44，確定該缺陷的分類和種類，通過(guò)缺陷判定部43并根據(jù)該缺陷信息的內(nèi)容來(lái)判斷被檢查體W中是否存在缺陷。另外，判定是否將被檢查體W向生產(chǎn)線下游傳輸。與前述同樣，將缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)、缺陷信息、判定結(jié)果等保存于圖像判定結(jié)果保存部51中。此后，通過(guò)來(lái)自操作輸入部29的操作，不管何時(shí)都能夠參照所保存的缺陷區(qū)域圖像數(shù)據(jù)和判定結(jié)果。
根據(jù)本實(shí)施方式，通過(guò)利用適當(dāng)?shù)膲嚎s數(shù)據(jù)來(lái)提取缺陷，從而能夠省去傳送容量大的原始圖像數(shù)據(jù)的時(shí)間。在缺陷提取時(shí)，不需要利用容量大的原始圖像數(shù)據(jù)來(lái)花費(fèi)時(shí)間進(jìn)行處理。利用容量小的壓縮數(shù)據(jù)進(jìn)行了缺陷提取后，僅取出被提取出的缺陷區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行詳細(xì)的缺陷分類，并判定是否合格，從而能夠高效地進(jìn)行缺陷檢查。通過(guò)使用缺陷分類部42和缺陷辭典44，能夠和預(yù)先登記的缺陷進(jìn)行比較來(lái)實(shí)施缺陷檢查，從而能夠易于確認(rèn)發(fā)生頻度高的缺陷，或者容易在相同位置發(fā)生的缺陷等。
另外，本發(fā)明并不限于上述各個(gè)實(shí)施方式而能夠廣泛應(yīng)用。
例如，在指定了缺陷區(qū)域后使用的圖像數(shù)據(jù)，不一定是原始圖像數(shù)據(jù)，也可以是根據(jù)需要進(jìn)行了壓縮的壓縮圖像數(shù)據(jù)。在僅對(duì)較大的缺陷進(jìn)行檢查時(shí)，能縮短處理時(shí)間。
雖然構(gòu)成了能夠通過(guò)線傳感器照相機(jī)25對(duì)被檢查體W整體進(jìn)行攝像的結(jié)構(gòu)，但是為了進(jìn)一步提高分辨率，也可以構(gòu)成為分多次對(duì)被檢查體W進(jìn)行攝像。
在第一實(shí)施方式中，敘述了對(duì)于利用壓縮圖像數(shù)據(jù)而檢測(cè)出的缺陷區(qū)域，改變照明部20的角度而僅再次取得缺陷區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)的方法，但是不限于這種方法，也可以是具有其它觀察的裝置。也可以通過(guò)明視野觀察、暗視野觀察、衍射光觀察、背面觀察等不同的觀察方法再次取得缺陷區(qū)域圖像。另外，如果是具有其它光學(xué)條件的裝置，則也可以通過(guò)改變?yōu)V光片的種類，或者通過(guò)插拔偏光板，或改變照明光等，在不同的光學(xué)條件下再次取得缺陷區(qū)域圖像。
另外，通過(guò)變更參數(shù)(攝像開(kāi)始觸發(fā)信號(hào)定時(shí)、獲取線數(shù)、獲取開(kāi)始像素位置、獲取結(jié)束像素位置)設(shè)定，即使對(duì)于尺寸小的晶片等尺寸不同的被檢查體也能夠高效地進(jìn)行檢查。
在該缺陷檢查裝置中，在提取缺陷的階段使用壓縮圖像數(shù)據(jù)。當(dāng)利用壓縮圖像數(shù)據(jù)確認(rèn)了存在缺陷時(shí)，從未壓縮的原始圖像中取得已確認(rèn)了有缺陷存在的區(qū)域的圖像。另外，對(duì)提取的原始圖像和預(yù)先登記的缺陷信息進(jìn)行比較等而實(shí)施詳細(xì)的檢查。
根據(jù)本發(fā)明，能夠使用壓縮圖像數(shù)據(jù)高效地進(jìn)行缺陷提取，對(duì)于提取了缺陷的區(qū)域，進(jìn)行原始圖像和關(guān)于預(yù)先登記的缺陷的信息的比較等檢查，從而能夠進(jìn)行缺陷的再確認(rèn)以及詳細(xì)的檢查。
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢查裝置，其特征在于，所述缺陷檢查裝置具有攝像裝置，其取入圖像數(shù)據(jù)作為被檢查體的光學(xué)圖像信息；圖像壓縮部，其將由前述攝像裝置取入的圖像數(shù)據(jù)作為原始圖像而對(duì)其進(jìn)行壓縮，來(lái)生成壓縮圖像數(shù)據(jù)；缺陷提取部，其從所述壓縮圖像數(shù)據(jù)中提取含有所述被檢查體的缺陷的缺陷區(qū)域；以及區(qū)域指定部，其指定由所述缺陷提取部提取出的所述缺陷區(qū)域，所述缺陷檢查裝置對(duì)通過(guò)所述區(qū)域指定部指定而取得的區(qū)域的原始圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行缺陷檢查。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述缺陷檢查裝置具有保持部，其移動(dòng)自由地保持被檢查體；圖像取入部，其取入從所述攝像裝置輸出的圖像數(shù)據(jù)，生成關(guān)于所述被檢查體的圖像，所述攝像裝置為直線狀地配置有多個(gè)攝像元件的線傳感器，所述區(qū)域指定部從所述攝像裝置的所述多個(gè)攝像元件中設(shè)定取入圖像數(shù)據(jù)的所述攝像元件，并且設(shè)定為使通過(guò)該攝像元件取入圖像數(shù)據(jù)的次數(shù)與所述保持部的移動(dòng)同步，所述圖像取入部從所述攝像元件的輸出中取入由所述區(qū)域指定部設(shè)定的區(qū)域的圖像。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述攝像裝置構(gòu)成為能夠變更獲取用于生成所述壓縮圖像數(shù)據(jù)的整體圖像的攝像條件、以及進(jìn)行了區(qū)域指定的情況下的攝像條件。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述圖像取入部構(gòu)成為在未進(jìn)行區(qū)域指定的情況下，能夠取得所述被檢查體的整體圖像。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述保持部具有圓形的使所述被檢查體旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述區(qū)域指定部構(gòu)成為獲取所述被檢查體的外緣部的圖像。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述缺陷檢查裝置具有存儲(chǔ)所述原始圖像數(shù)據(jù)或者所述壓縮圖像數(shù)據(jù)中的至少一方的圖像存儲(chǔ)部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述缺陷檢查裝置還具有缺陷分類部，其對(duì)從所述原始圖像數(shù)據(jù)取得的缺陷區(qū)域中所包含的缺陷進(jìn)行分類，并且確定缺陷的種類；缺陷辭典，其預(yù)先存儲(chǔ)了缺陷信息；以及缺陷判定部，其對(duì)由所述缺陷分類部進(jìn)行了分類的缺陷信息、以及在所述缺陷辭典中包含的缺陷信息進(jìn)行比較，來(lái)判定所述被檢查體是合格品還是不合格品。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述缺陷檢查裝置具有可參照地保存所述缺陷判定部的判定結(jié)果、以及用于判定的缺陷區(qū)域的圖像的圖像判定結(jié)果保存部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述缺陷檢查裝置具有存儲(chǔ)所述原始圖像數(shù)據(jù)的圖像存儲(chǔ)部，所述缺陷檢查裝置從存儲(chǔ)于所述圖像存儲(chǔ)部中的原始圖像數(shù)據(jù)中切取而取得缺陷區(qū)域的未壓縮的圖像數(shù)據(jù)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種缺陷檢查裝置。缺陷檢查裝置(1)構(gòu)成為具有沿一軸方向進(jìn)行掃描而取得被檢查體的表面圖像的照相機(jī)(25)，照相機(jī)(25)的輸出被交接給控制部(3)的圖像取入電路(31)。圖像取入電路(31)在接收到攝像開(kāi)始觸發(fā)的位置、獲取開(kāi)始像素位置和獲取結(jié)束像素位置劃分獲取由照相機(jī)(25)取入的圖像數(shù)據(jù)，從而僅生成缺陷區(qū)域的圖像，并進(jìn)行圖像處理等。根據(jù)本缺陷檢查裝置，能夠從基板等被檢查體盡早地提取出必要的信息，迅速地實(shí)施檢查。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101055256SQ20071009106
公開(kāi)日2007年10月17日 申請(qǐng)日期2007年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月10日
發(fā)明者加藤洋 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社