缺陷檢查裝置以及缺陷檢查方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對偏光膜、相位差膜等片狀成形體的缺陷進行檢查的缺陷檢查裝置以及缺陷檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，缺陷檢查裝置使用被稱為行傳感器的一維攝像機，對偏光膜、相位差膜等片狀成形體的缺陷進行檢查。缺陷檢查裝置在使用熒光管等線狀光源來對片狀成形體進行照明的狀態(tài)下，使用行傳感器(line sensor)，沿著片狀成形體的長邊方向，從長邊方向的一端到另一端掃描片狀成形體表面，并獲取多個一維圖像數(shù)據(jù)(靜止圖像數(shù)據(jù))。然后，通過按照獲取時間順序鋪滿多個一維圖像數(shù)據(jù)從而生成二維圖像數(shù)據(jù)，基于該二維圖像數(shù)據(jù)來檢查片狀成形體的缺陷。
[0003]在通過行傳感器來獲取的一維圖像數(shù)據(jù)中，通常包括線狀光源像。線狀光源像是在線狀光源與行傳感器被配置在片狀成形體的一側(cè)的情況下，從線狀光源出射，被片狀成形體正反射，并到達行傳感器的光的像。此外，線狀光源像是在片狀成形體被配置在線狀光源與行傳感器之間的情況下，從線狀光源出射，透過片狀成形體，并到達行傳感器的光的像。在缺陷檢查裝置中，在片狀成形體的寬度寬的情況下，按照能夠檢查片狀成形體的寬度方向整個區(qū)域的方式，將多臺行傳感器在寬度方向上并列使用。
[0004]由于在該以往的缺陷檢查裝置中，是基于通過鋪滿多個一維圖像數(shù)據(jù)而生成的、表示片狀成形體整個區(qū)域的二維圖像數(shù)據(jù)，來檢查片狀成形體的缺陷，因此構(gòu)成二維圖像數(shù)據(jù)的各個一維圖像數(shù)據(jù)中的檢查對象像素與線狀光源像的位置關(guān)系為一個確定了的位置關(guān)系。在檢查對象像素(關(guān)注像素)與線狀光源像的位置關(guān)系處于特定的位置關(guān)系的情況下，缺陷可能只出現(xiàn)在一維圖像數(shù)據(jù)上。例如，作為缺陷的I種的氣泡在處于線狀光源像的周邊或者附近的情況下，很可能僅出現(xiàn)在一維圖像數(shù)據(jù)上。這樣，缺陷可能由于其位置，而沒有被檢測到。因此，使用由通過行傳感器來獲取的多個一維圖像數(shù)據(jù)構(gòu)成的二維圖像數(shù)據(jù)來檢查片狀成形體的缺陷的、上述以往的缺陷檢查裝置只具有被限定了的缺陷檢測能力。
[0005]作為解決這種問題點的缺陷檢查裝置，專利文獻I以及專利文獻2中公開了以下裝置:使用熒光管等線狀光源來照明片狀成形體，將片狀成形體在規(guī)定的輸送方向上連續(xù)地輸送，并且使用被稱為區(qū)域傳感器的二維攝像機來獲取二維圖像數(shù)據(jù)(動態(tài)圖像數(shù)據(jù))，基于該二維圖像數(shù)據(jù)來檢查片狀成形體的缺陷。
[0006]根據(jù)專利文獻1、2中公開的缺陷檢查裝置，由于能夠基于檢查對象像素與線狀光源像的位置關(guān)系不同的多個二維圖像數(shù)據(jù)，對是否存在缺陷進行判定，因此能夠比使用行傳感器的以往的缺陷檢查裝置更可靠地檢測缺陷。因此，專利文獻1、2中公開的使用了區(qū)域傳感器的缺陷檢查裝置比使用了行傳感器的以往的缺陷檢查裝置更提高了缺陷檢測能力。
[0007]在先技術(shù)文獻
[0008]專利文獻
[0009]專利文獻1:日本特開2007-218629號公報
[0010]專利文獻2:日本特開2010-122192號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]發(fā)明要解決的課題
[0012]專利文獻1、2中公開的使用了區(qū)域傳感器的缺陷檢查裝置以從區(qū)域傳感器輸出的二維圖像數(shù)據(jù)為對象，在通過個人計算機(PC)來實現(xiàn)的圖像解析部中對缺陷位置等進行解析。此時，由于二維圖像數(shù)據(jù)的信息量多，因此基于圖像解析部的二維圖像數(shù)據(jù)的解析處理時間具有變長的趨勢。
[0013]這樣，若基于圖像解析部的解析處理時間變長，則需要使根據(jù)解析處理時間而被控制的片狀成形體的輸送速度降低，導致檢查效率降低。
[0014]本發(fā)明的目的在于，提供一種在維持尚的缺陷檢測能力的基礎(chǔ)上，能夠?qū)崿F(xiàn)基于圖像解析部的圖像處理的高速化，并能夠提高檢查效率的缺陷檢查裝置以及缺陷檢查方法。
[0015]解決課題的手段
[0016]本發(fā)明是一種缺陷檢查裝置，具備:
[0017]輸送部，其輸送片狀成形體；
[0018]照射部，其對被輸送的所述片狀成形體照射光；
[0019]攝像部，其拍攝被輸送的所述片狀成形體，并生成基于被照射到片狀成形體的光的反射光或者透射光的二維圖像數(shù)據(jù)；
[0020]特征量計算部，其通過預(yù)定的算法處理來對構(gòu)成所述二維圖像數(shù)據(jù)的各個像素的基于亮度值的特征量進行計算；
[0021]處理圖像數(shù)據(jù)生成部，其將構(gòu)成所述二維圖像數(shù)據(jù)的各個像素區(qū)別為基于所述亮度值的特征量為預(yù)定閾值以上的像素即缺陷像素、和基于所述亮度值的特征量小于所述閾值的像素即剩余像素，生成針對所述缺陷像素賦予與基于所述亮度值的特征量相對應(yīng)的灰度值、針對所述剩余像素賦予零灰度值的處理圖像數(shù)據(jù)；
[0022]解析用圖像數(shù)據(jù)生成部，其基于所述處理圖像數(shù)據(jù)，至少生成一個由I個或者多個一維圖像數(shù)據(jù)構(gòu)成的解析用圖像數(shù)據(jù)群；和
[0023]圖像解析部，其基于通過所述解析用圖像數(shù)據(jù)生成部生成的所述解析用圖像數(shù)據(jù)群來進行圖像解析，并對所述片狀成形體的缺陷進行檢測。
[0024]此外，在本發(fā)明的缺陷檢查裝置中，優(yōu)選所述解析用圖像數(shù)據(jù)群包括所述片狀成形體中的缺陷的位置信息、亮度信息、尺寸信息、以及種類信息中的至少一個信息。
[0025]此外，在本發(fā)明的缺陷檢查裝置中，優(yōu)選所述特征量計算部通過多個算法處理來對基于所述亮度值的特征量進行計算，
[0026]所述解析用圖像數(shù)據(jù)生成部，將賦予與用于對計算所述特征量的算法處理的種類進行確定的預(yù)定的種類編號相當?shù)幕叶戎底鳛橄袼氐幕叶戎档慕馕鲇脠D像數(shù)據(jù)群生成為包括所述種類信息的解析用圖像數(shù)據(jù)群。
[0027]此外，本發(fā)明是一種缺陷檢查方法，包括:
[0028]輸送步驟，其輸送片狀成形體；
[0029]照射步驟，其對被輸送的所述片狀成形體照射光；
[0030]拍攝步驟，其通過攝像部拍攝被輸送的所述片狀成形體，并生成基于被照射到片狀成形體的光的反射光或者透射光的二維圖像數(shù)據(jù)；
[0031]特征量計算步驟，其通過預(yù)定的算法處理，來對構(gòu)成所述二維圖像數(shù)據(jù)的各個像素的基于亮度值的特征量進行計算；
[0032]處理圖像數(shù)據(jù)生成步驟，其將構(gòu)成所述二維圖像數(shù)據(jù)的各個像素區(qū)別為基于所述亮度值的特征量為預(yù)定閾值以上的像素即缺陷像素、和基于所述亮度值的特征量小于所述閾值的像素即剩余像素，生成針對所述缺陷像素賦予與基于所述亮度值的特征量相對應(yīng)的灰度值、針對所述剩余像素賦予零灰度值的處理圖像數(shù)據(jù)；
[0033]解析用圖像數(shù)據(jù)生成步驟，其基于所述處理圖像數(shù)據(jù)，至少生成一個由I個或者多個一維圖像數(shù)據(jù)構(gòu)成的解析用圖像數(shù)據(jù)群；和
[0034]圖像解析步驟，其基于通過所述解析用圖像數(shù)據(jù)生成步驟生成的所述解析用圖像數(shù)據(jù)群來進行圖像解析，并對所述片狀成形體的缺陷進行檢測。
[0035]發(fā)明效果
[0036]根據(jù)本發(fā)明，缺陷檢查裝置具備:輸送部、照射部、攝像部、特征量計算部、處理圖像數(shù)據(jù)生成部、解析用圖像數(shù)據(jù)生成部、以及圖像解析部。在缺陷檢查裝置中，攝像部生成基于通過照射部照射在片狀成形體的光的反射光或者透射光的二維圖像數(shù)據(jù)。特征量計算部通過利用預(yù)定的算法來處理所述二維圖像數(shù)據(jù)，從而對構(gòu)成二維圖像數(shù)據(jù)的各個像素的基于亮度值的特征量進行計算。處理圖像數(shù)據(jù)生成部將構(gòu)成所述二維圖像數(shù)據(jù)的各個像素區(qū)別為基于所述亮度值的特征量為預(yù)定閾值以上的像素即缺陷像素、和基于所述亮度值的特征量小于所述閾值的像素即剩余像素。并且，處理圖像數(shù)據(jù)生成部生成針對所述缺陷像素賦予與基于所述亮度值的特征量相對應(yīng)的灰度值、針對所述剩余像素賦予零灰度值的處理圖像數(shù)據(jù)。解析用圖像數(shù)據(jù)生成部基于所述處理圖像數(shù)據(jù)，至少生成一個由I個或者多個一維圖像數(shù)據(jù)構(gòu)成的解析用圖像數(shù)據(jù)群，并輸出生成的解析用圖像數(shù)據(jù)群。從解析用圖像數(shù)據(jù)生成部輸出的解析用圖像數(shù)據(jù)群被輸入到圖像解析部。圖像解析部基于所述解析用圖像數(shù)據(jù)群來進行圖像解析，并檢測片狀成形體的缺陷。
[0037]在這樣構(gòu)成的本發(fā)明的缺陷檢查裝置中，由于基于通過攝像部來拍攝的片狀成形體的二維圖像數(shù)據(jù)，來進行片狀成形體的缺陷檢測，因此例如與基于利用行傳感器的一維圖像數(shù)據(jù)來進行缺陷檢測的情況相比，能夠維持高的缺陷檢測能力。
[0038]進一步，在本發(fā)明的缺陷檢查裝置中，從攝像部輸出的、信息量多的二維圖像數(shù)據(jù)通過處理圖像數(shù)據(jù)生成部被變換為處理圖像數(shù)據(jù)，進一步通過解析用圖像數(shù)據(jù)生成部被變換為由I個或者多個一維圖像數(shù)據(jù)構(gòu)成的解析用圖像數(shù)據(jù)群。由于基于這樣從二維圖像數(shù)據(jù)變換來的、由I個或者多個一維圖像數(shù)據(jù)構(gòu)成的解析用圖像數(shù)據(jù)群，圖像解析部進行圖像解析來檢測片狀成形體的缺陷，因此能夠?qū)崿F(xiàn)基于圖像解析部的圖像處理的高速化，并能夠提高檢查效率。
[0039]此外，根據(jù)本發(fā)明，解析用圖像數(shù)據(jù)生成部生成的解析用圖像數(shù)據(jù)群包括片狀成形體中的缺陷的位置信息、亮度信息、尺寸信息、以及種類信息中的至少一個信息。由此，在缺陷檢查裝置中，圖像解析部基于位置信息、亮度信息、尺寸信息、以及種類信息等與缺陷有關(guān)的信息，能夠檢測片狀成形體的缺陷。
[0040]此外，根據(jù)本發(fā)明，特征量計算部通過多個算法處理來計算特征量。并且，解析用圖像數(shù)據(jù)生成部生成賦予與用于對計算出所述特征量的算法處理的種類進行確定的預(yù)定的種類編號相當?shù)幕叶戎底鳛橄袼氐幕叶戎档慕馕鲇脠D像數(shù)據(jù)群。這樣，解析用圖像數(shù)據(jù)生成部所生成的解析用圖像數(shù)據(jù)群成為包括與缺陷有關(guān)的所述種類信息的解析用圖像數(shù)據(jù)群。
[0041]此外，根據(jù)本發(fā)明，缺陷檢查方法包括輸送步驟、照射步驟、拍攝步驟、特征量計算步驟、處理圖像數(shù)據(jù)生成步驟、解析用圖像數(shù)據(jù)生成步驟、以及圖像解析步驟。在缺陷檢查方法中，在拍攝步驟中，生成基于照射步驟中被照射在片狀成形體的光的反射光或者透射光的二維圖像數(shù)據(jù)。在特征量計算步驟中，通過利用預(yù)定的算法來處理所述二維圖像數(shù)據(jù)，從而對構(gòu)成二維圖像數(shù)據(jù)的各個像素的基于亮度值的特征量進行計算。在處理圖像數(shù)據(jù)生成步驟中，在所述二維圖像數(shù)據(jù)中，將基于所述亮度值的特征量為預(yù)定的閾值以上的像素提取為缺陷像素，生成針對缺陷像素賦予與基于所述亮度值的特征量相對應(yīng)的灰度值、針對缺陷像素以外的剩余像素賦予零灰度值的處理圖像數(shù)據(jù)。在解析用圖像數(shù)據(jù)生成步驟中，基于所述處理圖像數(shù)據(jù)，至少生成一個由I個或者多個一維圖像數(shù)據(jù)構(gòu)成的解析用圖像數(shù)據(jù)群。在圖像解析步驟中，基于所述解析用圖像數(shù)據(jù)群來進行圖像解析，并對片狀成形體的缺陷進行檢測。
[0042]在這樣構(gòu)成的本發(fā)明的缺陷檢查方法