專(zhuān)利名稱(chēng)：缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及 一 種防止在對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行檢查時(shí)的過(guò)度的 檢查從而提高檢查效率的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。
背景技術(shù)：
通常，在對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行自動(dòng)檢查的自動(dòng)檢查裝置中， 因在檢查中發(fā)生的接觸不良或灰塵的附著等而造成的缺陷未被 與檢查對(duì)象物的普通的缺陷區(qū)分開(kāi)，而被直接判斷為缺陷。為 了消除這種情況，在不清楚所檢測(cè)出的缺陷是因接觸不良等而 造成的缺陷還是檢查對(duì)象物的普通的缺陷的情況下，反復(fù)進(jìn)行 檢查。有專(zhuān)利文獻(xiàn)l作為這種例子。
在該專(zhuān)利文獻(xiàn)l的平板畫(huà)質(zhì)檢查裝置中，當(dāng)檢測(cè)到線缺陷
時(shí)，啟動(dòng)接觸重試(contact retry)裝置，例如反復(fù)檢查三次。反 復(fù)檢查后，如果線缺陷沒(méi)有減少，則判斷為次品。 專(zhuān)利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)2000-146756號(hào)/>才艮

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題
但是，上述以往的檢查裝置作為次品檢測(cè)單元是一種有效 的裝置，但是，在連續(xù)檢查多個(gè)檢查對(duì)象物時(shí)，檢查效率較差。 即、存在如下問(wèn)題如果對(duì)一個(gè)檢查對(duì)象物反復(fù)檢查三次，則 對(duì)于 一 個(gè)檢查對(duì)象物進(jìn)行了過(guò)度的檢查，從而導(dǎo)致檢查時(shí)間變 長(zhǎng)，檢查效率變差。
本發(fā)明的目的在于提供一種抑制檢查對(duì)象物的過(guò)度的檢查 從而提高檢查效率的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。用于解決問(wèn)題的方案
本發(fā)明所涉及的缺陷檢查方法是為了解決上述問(wèn)題而完成 的，是一種檢查檢查對(duì)象物是否存在缺陷并且連續(xù)檢查多個(gè)檢 查對(duì)象物的缺陷檢查方法，其特征在于，在被連續(xù)檢查的多個(gè) 檢查對(duì)象物中的同 一位置或者其附近位置上檢測(cè)出多個(gè)相同的 缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷 而進(jìn)行排除。
本發(fā)明所涉及的缺陷檢查裝置的特征在于，具備輸送單 元，其連續(xù)輸送上述4企查對(duì)象物；；險(xiǎn)查部，其連續(xù);險(xiǎn)查由該輸 送單元輸送的上述檢查對(duì)象物；圖像處理部，其對(duì)由該檢查部 進(jìn)行了連續(xù)檢查的檢查對(duì)象物的圖像進(jìn)行處理從而檢測(cè)缺陷； 以及控制部，其在由該圖像處理部在^皮連續(xù)4全查的多個(gè)4全查對(duì) 象物中的同 一位置或者其附近位置上檢測(cè)出多個(gè)相同的缺陷的 情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷而進(jìn)行 排除。
發(fā)明的效果
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在被進(jìn)行了連續(xù)檢查的多個(gè)檢查 對(duì)象物中的相同或者近似位置上檢測(cè)出多個(gè)相同的缺陷的情況 下，將該缺陷判斷為不是因檢查對(duì)象物而引起的缺陷而進(jìn)行排 除，因此，能夠抑制檢查對(duì)象物的過(guò)度的檢查，從而能夠提高 檢查效率。


圖l是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的 制部中的處理功能的流程圖。
圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的 體圖。
點(diǎn)亮檢查裝置的控 點(diǎn)亮檢查裝置的立圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的點(diǎn)亮檢查裝置的檢
查單元的結(jié)構(gòu)圖。
測(cè)出線缺陷的例子的示意圖。
圖5是表示用本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的點(diǎn)亮檢查裝置檢 測(cè)出因灰塵附著而造成的缺陷的例子的示意圖。 附圖標(biāo)記j兌明
1:點(diǎn)亮檢查裝置；2:輸送單元；3:檢查單元；6:輸送 裝置；7:輥式輸送機(jī)(roller conveyer); 11:才聶像裝置；12:圖 像處理裝置；13:圖像顯示裝置；14:液晶面板；15:透鏡系 統(tǒng)；16:攝像元件；17:面板控制部；18:控制單元；19:暗 室；22: LCD面板用電源；23: LCD面板驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器；24: 鍵盤(pán)；25:鼠標(biāo)；27:缺陷圖像用監(jiān)視器；28:操作用監(jiān)視器。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的缺陷檢查方 法以及缺陷檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。在此，作為檢查對(duì)象物以液晶 面板為例進(jìn)行說(shuō)明。另外，作為用于實(shí)施缺陷才全查方法的缺陷 檢查裝置以點(diǎn)亮檢查裝置為例進(jìn)行說(shuō)明。
如圖2以及圖3所示，點(diǎn)亮檢查裝置l是一種如下的裝置通 過(guò)使未圖示的纟笨針(觸頭)與液晶面^反的各電招j妄觸來(lái)施加;險(xiǎn)查 信號(hào)，并且點(diǎn)亮背景燈，從而檢查是否存在缺陷，并且連續(xù)檢 查多個(gè)液晶面4反。
點(diǎn)亮檢查裝置1主要具備輸送單元2和檢查單元3。
輸送單元2是用于連續(xù)輸送液晶面板的單元。該輸送單元2 構(gòu)成為具備輸送裝置6和輸送用機(jī)器人(未圖示)。
輸送裝置6構(gòu)成為具備輥式輸送機(jī)7。輥式輸送機(jī)7在其兩側(cè)分別連接有上流側(cè)傳送帶(未圖示)以及下流側(cè)傳送帶(未圖示)，
連續(xù)輸送多個(gè)液晶面板。由檢查單元3對(duì)通過(guò)該輸送裝置6從上 流側(cè)輸送過(guò)來(lái)的液晶面々反進(jìn)行;險(xiǎn)查，4企查結(jié)束后的液晶面拓j皮 輸送到下流側(cè)。
輸送用機(jī)器人(未圖示)是如下的裝置將被輥式輸送機(jī)7運(yùn) 送過(guò)來(lái)的液晶面板搬入到檢查單元3中，并將檢查結(jié)束后的液晶 面板從檢查單元3送回到輥式輸送機(jī)7。能夠使用現(xiàn)有的裝置作 為該輸送用機(jī)器人。
檢查單元3是如下的裝置使探針與被搬入的液晶面板的各 電極接觸，點(diǎn)亮該液晶面板(或者從背后用背景燈進(jìn)行照明)， 施加檢查信號(hào)來(lái)檢查是否存在缺陷。
如圖3所示，檢查單元3主要由攝像裝置11、圖像處理裝置 12以及圖像顯示裝置13構(gòu)成。
攝像裝置ll是對(duì)顯示在作為檢查對(duì)象的液晶面板14上的圖 像進(jìn)行攝影的攝像單元。該攝像裝置11由透鏡系統(tǒng)15、攝像元 件16、聚焦單元(未圖示)、面板控制部17以及控制單元18構(gòu)成。 此外，液晶面板14、透鏡系統(tǒng)15以及攝像元件16被容納在暗室 19內(nèi)，從而遮蔽外部光。另外，在暗室19內(nèi)還i殳有支撐液晶面 板14并進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)等的檢查臺(tái)、探針單元(都未圖示)等。
透鏡系統(tǒng)15是位于暗室19內(nèi)的上述液晶面板14與攝像元件 16之間而用于調(diào)整焦點(diǎn)的光學(xué)裝置。透鏡系統(tǒng)15由一個(gè)透鏡構(gòu) 成或者組合多個(gè)透鏡、濾光片等而構(gòu)成。攝像元件16是用于從 上方拍攝液晶面板14的元件。具體地說(shuō)，攝像元件16由使用了 CCD元件的照相才幾構(gòu)成。
聚焦單元是使上述透鏡系統(tǒng)15和攝像元件16成一體地移動(dòng) 而對(duì)上述液晶面板14的圖像進(jìn)行聚焦的裝置。
面板控制部17由LCD面板用電源22、 LCD面板驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器23構(gòu)成。由LCD面;tl用電源22向液晶面才反14才是供電源，通 過(guò)由LCD面板驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器23產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)液晶面 板14。由此，液晶面板14發(fā)光，從而適當(dāng)顯示4企查用的圖<象。
控制單元18是用于控制點(diǎn)亮檢查裝置1整體的裝置。具體地 說(shuō)，控制單元18由具備控制功能的計(jì)算才幾構(gòu)成。在本實(shí)施方式 中，由一臺(tái)計(jì)算機(jī)具有圖像處理裝置12和控制單元18的兩種功 能。此外，也可以由一臺(tái)計(jì)算機(jī)構(gòu)成4空制單元18而由另 一臺(tái)計(jì) 算機(jī)構(gòu)成圖像處理裝置12。另外，也可以是其它結(jié)構(gòu)。
控制單元18具備聚焦處理功能、近攝處理功能以及圖1所示 的處理功能。
聚焦處理功能是如下的處理功能在從由上述攝像裝置ll 拍攝的圖像中檢查上述液晶面板14的缺陷時(shí)，通過(guò)控制上述攝 像裝置ll的上述聚焦單元來(lái)對(duì)上述液晶面板14進(jìn)行聚焦。聚焦 單元使上述透鏡系統(tǒng)15移動(dòng)，在對(duì)于普通間距的液晶面板的圖 像的普通攝影狀態(tài)或者對(duì)于窄像素間距的小型液晶面板的圖像 的微距攝影(macro photography)(近攝)狀態(tài)下進(jìn)行聚焦之后，不 移動(dòng)透鏡系統(tǒng)15，而將透鏡系統(tǒng)15與液晶面4反14之間的距離保 持為固定。
控制單元18控制攝影裝置11來(lái)取入圖像，將該圖像信息存 儲(chǔ)到后述的存儲(chǔ)單元中，并根據(jù)后述的圖l的處理功能適當(dāng)?shù)刈x 出圖像信息并進(jìn)行處理。
圖像處理裝置12是用于對(duì)由攝像裝置ll拍攝的圖像進(jìn)行處 理而顯示在圖像顯示裝置13上的裝置。圖像處理裝置12具備存 儲(chǔ)由攝像裝置ll拍攝的圖像的存儲(chǔ)單元(未圖示)。適當(dāng)?shù)刈x出 存儲(chǔ)在該存儲(chǔ)單元中的圖像信息并進(jìn)行比較處理，以此檢測(cè)缺 陷。具體地說(shuō)，圖像處理裝置12由具備圖像處理功能的計(jì)算機(jī) 構(gòu)成。如上所述，在本實(shí)施方式中，由一臺(tái)計(jì)算機(jī)具有圖像處理裝置12和控制單元18的功能。另外，在圖像處理裝置12上適 當(dāng)?shù)剡B接有鍵盤(pán)24、鼠標(biāo)25。
圖像顯示裝置13是用于顯示由攝像裝置ll拍攝并由圖像處 理裝置12進(jìn)行圖像處理得到的圖像數(shù)據(jù)的裝置。圖像顯示裝置 13由缺陷圖像用監(jiān)視器27和操作用監(jiān)視器28構(gòu)成。缺陷圖像用 監(jiān)視器27顯示由攝像裝置11拍攝并由圖像處理裝置12進(jìn)行處理 得到的液晶面板14的表面的圖像。操作用監(jiān)視器2 8在攝像裝置 11的聚焦等時(shí)顯示液晶面板14。操作員 一邊觀察該操作用監(jiān)視 器2 8 —邊進(jìn)行攝像裝置11的聚焦等操作，觀察缺陷圖像用監(jiān)視 器27來(lái)檢查在液晶面板14上是否存在顯示不均。
控制單元18還控制液晶面板14的輸送?？刂茊卧?8控制輸 送裝置6、輸送用機(jī)器人等，并根據(jù)如下的一系列動(dòng)作來(lái)控制各 裝置的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)等將液晶面板14從上流側(cè)開(kāi)始輸送，搬入到 檢查單元3中，并將檢查結(jié)束后的液晶面板14從檢查單元3送回 到輸送裝置6側(cè)而輸送到下流。
控制單元18還進(jìn)行如下控制等驅(qū)動(dòng)檢查臺(tái)等而使探針與 液晶面板14的各電極接觸的控制；從該液晶面4反14的背后用背 景燈照明的控制；以及從探針對(duì)各電才及施加4企查信號(hào)的控制。 在檢查單元3中連續(xù)檢查由輸送單元2輸送的液晶面板"。
控制單元18還具有如下處理功能(圖l所示的處理功能)在 由檢查單元3進(jìn)行了連續(xù)檢查的多個(gè)液晶面板14中在同 一 位置 或者近似位置上檢測(cè)出相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為 不是由液晶面板14引起的缺陷而進(jìn)行排除，并不視為缺陷。
接著，對(duì)使用了以上結(jié)構(gòu)的點(diǎn)亮檢查裝置l的缺陷檢查方法 進(jìn)行說(shuō)明。在此，根據(jù)圖l的流程圖以控制單元18的動(dòng)作為中心 進(jìn)行說(shuō)明。
首先，搬入液晶面板14(步驟S1)。液晶面板14從上流側(cè)傳送帶被輸送到輥式輸送機(jī)7，通過(guò)輸送用機(jī)器人從輥式輸送機(jī)7 被搬入到片企查單元3內(nèi)。沖般入的液晶面一反14^皮載置于4全查臺(tái)上。
接著，開(kāi)始進(jìn)行檢查(步驟S2)。對(duì)載置在檢查臺(tái)上的液晶 面板14一邊進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn) 一邊對(duì)其電極和#罙針單元的探針進(jìn)行 匹配而<吏其相互"1妻觸。另外，用LCD面^反用電源22點(diǎn)亮液晶面 板14，用LCD面板驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器23從探針對(duì)各電極施加驅(qū)動(dòng) 信號(hào)，進(jìn)行液晶面板14的點(diǎn)亮檢查。
接著，進(jìn)行攝像處理(步驟S3)。通過(guò)攝像裝置ll取入被點(diǎn) 亮的液晶面板14的表面的圖像。取入的圖像信,包-被臨時(shí)存儲(chǔ)在 控制單元18的存儲(chǔ)單元中。
接著，進(jìn)行圖像處理(步驟S4)。通過(guò)圖像處理裝置12對(duì)存 儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)單元中的圖像信息進(jìn)行處理來(lái)檢查是否存在缺 陷。
接著，獲取檢查結(jié)果(步驟S5),與其它檢查結(jié)果進(jìn)行比較。 因此，/人上述存4諸單元讀出前后M個(gè)液晶面寺反14的沖企查結(jié)果， 對(duì)它們進(jìn)行比較(步驟S6)。在此，雖然將比較對(duì)象個(gè)數(shù)設(shè)為M 個(gè)，但是，根據(jù)各種條件來(lái)設(shè)定具體的個(gè)數(shù)。例如，根據(jù)處理 總數(shù)或所要求的精確度等條件來(lái)設(shè)定具體的個(gè)數(shù)。在本實(shí)施方 式中設(shè)為10個(gè)。讀出前后10個(gè)液晶面4反14的沖全查結(jié)果來(lái)進(jìn)行比 4交。即、對(duì)一皮連續(xù)4全查的IO個(gè)液晶面4反14進(jìn)行比較。
由此，判斷在士A的范圍內(nèi)是否存在地址一致的缺陷(步驟 S7)。即、判斷在同一位置或者其附近位置上是否存在相同的缺 陷。在此，根據(jù)各種條件來(lái)設(shè)定士A的范圍。具體地說(shuō)，士A的范 圍是為了識(shí)別因探針與電極的接觸不良造成的線缺陷、因附著 在背景燈側(cè)的灰塵等而造成的不是由液晶面板14引起的缺陷的 缺陷(由外部引起的缺陷)而設(shè)定的值。因探針與電極的接觸不 良而造成的線缺陷等是即使改變液晶面板14也會(huì)發(fā)生在同 一位置上，但是，根據(jù)檢查臺(tái)的位置對(duì)準(zhǔn)精確度或照相機(jī)的精確度 等的各種條件的不同，在所取入的圖像上，同一位置的缺陷在 多個(gè)圖像上存在略微的偏差。將士A的范圍設(shè)定為該偏差的范 圍。在檢查臺(tái)的位置對(duì)準(zhǔn)精確度等較高的情況下士A的范圍變得 較小，在檢查臺(tái)的位置對(duì)準(zhǔn)精確度等較低的情況下± A的范圍變 得較大。即，根據(jù)上述各精確度而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定偏差的范圍。
在步驟S7中，在士A的范圍內(nèi)不存在地址一致的缺陷的情況 下，將其圖像上的缺陷作為普通的缺陷進(jìn)行處理(步驟S8)。作 為普通的缺陷，其位置信息被存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)單元中。
在步驟S7中，在士A的范圍內(nèi)存在地址一致的缺陷的情況 下，判斷該缺陷在前后的M個(gè)(10個(gè))液晶面^反14的4企查中是否 被檢測(cè)出N次以上(步驟S9)。在此，將N次設(shè)定為三次。雖然在 兩次的情況下也可能存在偶然 一 致的情況，但是在三次的情況 下，偶然的可能性較低，因此，設(shè)定為三次。只要不存在振動(dòng) 或風(fēng)等外部因素，因線缺陷或灰塵等而造成的缺陷幾乎不發(fā)生 變化。因此，只要探針的針壓的變化等檢測(cè)條件不發(fā)生變動(dòng)， 一旦檢測(cè)出缺陷，該缺陷在相同地址上反復(fù)被檢測(cè)。為了利用 該特征來(lái)區(qū)分由面板引起的缺陷和除此以外的缺陷，判斷在土A 的范圍內(nèi)是否三次以上^r測(cè)出地址一致的缺陷。此外，在上述 檢測(cè)條件等的變動(dòng)幅度較大的情況下，也可能存在設(shè)定為兩次 或者四次以上的情況。
具體地說(shuō)，以如圖4、 5所示的方式進(jìn)行判斷。圖4是線缺陷 的檢測(cè)例。在此，第一次檢測(cè)出一條線缺陷，第二次檢測(cè)出兩 條線缺陷，第十次檢測(cè)出一條線缺陷。并且，第一次和第十次 的線缺陷的地址與第二次的兩條線缺陷中的 一條的地址一致， 因此，在圖4的例子中，將不是由液晶面板14引起的缺陷的缺陷 作為因失誤而檢測(cè)出的缺陷，而不視為缺陷并進(jìn)行排除。另夕卜，
i圖5是因灰塵而造成的缺陷的檢測(cè)例。在此，第一次檢測(cè)出一個(gè) 點(diǎn)缺陷，第二次檢測(cè)出一個(gè)點(diǎn)缺陷，第三次檢測(cè)出兩個(gè)點(diǎn)缺陷， 第四次檢測(cè)出一個(gè)點(diǎn)缺陷。并且，第一次的點(diǎn)缺陷在畫(huà)面上的 右上部裙j全測(cè)出 一 個(gè)，第二次的點(diǎn)缺陷在畫(huà)面上的左上部纟皮才全 測(cè)出 一個(gè)，第三次的點(diǎn)缺陷在畫(huà)面上的左上部和靠近中央的部 分^皮才企測(cè)出兩個(gè)，第四次的點(diǎn)缺陷在畫(huà)面上的左上部^皮才企測(cè)出 一個(gè)。并且，第二次和第四次的點(diǎn)缺陷的地址與第三次的兩個(gè)
點(diǎn)缺陷中的一個(gè)地址一致，因此，在圖5的例子中，將不是由液 晶面板14引起的缺陷的缺陷作為因失誤而檢測(cè)出的缺陷，而不 視為缺陷并進(jìn)行排除。
在步驟S9中未滿N次(三次)檢測(cè)出缺陷的情況下，將其圖像 上的缺陷作為普通的缺陷進(jìn)行處理(步驟S8)。
在步驟S9中N次(三次)以上檢測(cè)出缺陷的情況下，其圖像上 的缺陷被當(dāng)作因失誤而4企測(cè)出的如下的缺陷，乂人而不一見(jiàn)為缺陷 并進(jìn)行排除，并將其位置信息記錄到存儲(chǔ)部14中(步驟S10):該 缺陷為因接觸不良而造成的線缺陷或因附著在背景燈側(cè)的灰塵 等而造成的不是由液晶面板14引起的缺陷的缺陷。另外，根據(jù) 需要在缺陷圖像用監(jiān)視器27或者操作用監(jiān)視器28上顯示警告顯 示、警報(bào)等來(lái)引起注意。操作員基于該警告顯示等，根據(jù)需要 確認(rèn)原因，進(jìn)行維修。
接著，結(jié)束檢查(步驟Sll),將液晶面板14排出到外部并與 新的液晶面板14進(jìn)行交換(步驟12),返回到步驟S1重復(fù)上述處 理，連續(xù)地進(jìn)行;險(xiǎn)查。
如上所述，無(wú)需反復(fù)檢查同一液晶面板14,而根據(jù)與其它 液晶面板14的檢查結(jié)果之間的比較，判斷所檢測(cè)出的缺陷是否 為由該液晶面々反14引起的缺陷，對(duì)判斷為不是由該液晶面4反14 引起的缺陷的缺陷進(jìn)行排除而進(jìn)行檢查，因此，能夠防止過(guò)度的檢查，能夠穩(wěn)定地得到由液晶面板14引起的缺陷。其結(jié)果， 能夠提高檢查效率。 [變形例]
在上述實(shí)施方式中，作為缺陷檢查裝置以液晶面板14的點(diǎn)
亮檢查裝置為例進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明并不限于點(diǎn)亮檢查 裝置，本發(fā)明也能夠適用于本申請(qǐng)人之前提出的聯(lián)機(jī)自動(dòng)檢查
裝置(日本特愿2007-41247)等其它檢查裝置。另外，也能夠適 用于除了液晶面板以外的檢查對(duì)象物。
在上述實(shí)施方式中，以探針與電極接觸的方式的檢查裝置 為例進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明也能夠適用于以非接觸方式進(jìn) 行檢查的檢查裝置的情況。
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢查方法，該缺陷檢查方法檢查檢查對(duì)象物是否存在缺陷并且連續(xù)檢查多個(gè)檢查對(duì)象物，其特征在于，在被連續(xù)檢查的多個(gè)檢查對(duì)象物中的同一位置或者其附近位置上檢測(cè)出多個(gè)相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷而進(jìn)行排除。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的缺陷檢查方法，其特征在于， 通過(guò)對(duì)多個(gè)檢查對(duì)象物的圖像進(jìn)行比較處理來(lái)檢測(cè)是否存在上述相同的缺陷。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷檢查方法，其特征在于， 在上述圖像的預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)檢測(cè)是否存在上述相同的缺陷。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的缺陷檢查方法，其特征在于，在多次檢測(cè)出上述相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為 不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷而進(jìn)行排除。
5. —種缺陷檢查裝置，該缺陷檢查裝置檢查檢查對(duì)象物是 否存在缺陷并且連續(xù)檢查多個(gè)檢查對(duì)象物，其特征在于，具備輸送單元，其連續(xù)輸送上述檢查對(duì)象物；檢查部，其連續(xù)檢查由該輸送單元輸送的上述檢查對(duì)象物；圖像處理部，其對(duì)由該檢查部進(jìn)行了連續(xù)檢查的檢查對(duì)象 物的圖<象進(jìn)行處理乂人而4全測(cè)缺陷；以及控制部，其在由該圖像處理部在被連續(xù)檢查的多個(gè)檢查對(duì) 象物中的同一位置或者其附近位置上檢測(cè)出多個(gè)相同的缺陷的 情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷而進(jìn)行 排除。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述控制部通過(guò)對(duì)多個(gè)檢查對(duì)象物的圖像進(jìn)行比較處理來(lái)才企測(cè)是否存在上述相同的缺陷。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述控制部在上述圖像的預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)檢測(cè)是否存在 上述相同的缺陷。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述控制部在多次檢測(cè)出上述相同的缺陷的情況下，將該 缺陷判斷為不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷而進(jìn)行排除。
全文摘要
本發(fā)明提供一種缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置，防止過(guò)度的檢查從而提高檢查效率。缺陷檢查裝置檢查檢查對(duì)象物是否存在缺陷并且連續(xù)檢查多個(gè)檢查對(duì)象物。缺陷檢查裝置具備輸送單元，連續(xù)輸送檢查對(duì)象物；檢查部，連續(xù)檢查由輸送單元輸送的檢查對(duì)象物；圖像處理部，對(duì)由檢查部連續(xù)檢查的檢查對(duì)象物的圖像進(jìn)行處理而檢測(cè)缺陷；控制部，在由圖像處理部在被連續(xù)檢查的多個(gè)檢查對(duì)象物中的相同或近似位置上檢測(cè)出多個(gè)相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷而進(jìn)行排除。缺陷檢查方法也同樣地在多個(gè)檢查對(duì)象物中的相同或近似位置上檢測(cè)出多個(gè)相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對(duì)象物引起的缺陷而進(jìn)行排除。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101620190SQ200910157228
公開(kāi)日2010年1月6日 申請(qǐng)日期2009年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月1日
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