技術(shù)編號：7230242
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于基板的缺陷檢查的缺陷檢查裝置。本發(fā)明基于2006年4月10日在日本國提出申請的日本國特許出愿第2006-107466號而主張優(yōu)先權(quán)，并在此援用其內(nèi)容。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體晶片或者液晶玻璃基板、印刷布線板等的制造工序中，實(shí)施使用線傳感器照相機(jī)(line sensor camera)來檢查基板表面缺陷的缺陷檢查。在用于這種缺陷檢查的缺陷檢查裝置中，采用了利用線傳感器照相機(jī)來讀取攝像對象物的圖像的圖像讀取裝置(例如，參照日本國特許出愿公開公報第200...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。