專利名稱：缺陷檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及向例如半導體晶片或平面顯示器(FPD)的玻璃基板等試料照射照明光，并對此時來自試料的光進行攝像后，根據(jù)其圖像數(shù)據(jù)對試料進行缺陷檢查的缺陷檢查裝置。
背景技術(shù)：
一般情況下，在半導體晶片或平面顯示器的玻璃基板等的制造工序中，例如具有照相平版印刷流程的制造工序的途中，在由硅或玻璃板構(gòu)成的基板上形成通過成膜層圖案化后的抗蝕涂層。但是，在照相平版印刷流程中，涂敷在基板表面上的抗蝕涂層上一旦附著膜斑點或塵埃等，由于這些膜斑點或塵埃，就會產(chǎn)生蝕刻后的圖案的線寬不好或圖案內(nèi)有氣泡等缺陷。
由于上述原因，在基板蝕刻前的制造工序中，通常對所有基板進行有無上述缺陷的檢查。該全部檢查方法多采用操作人員對所有基板進行目視觀察的方法。但是，由于根據(jù)操作人員經(jīng)驗的判斷力的差異或在潔凈室中由操作人員自身產(chǎn)生的塵埃的影響是無法忽視的，因而盡量采用操作人員與基板隔離進行觀察的方法或者使裝置具有判斷功能的方法。
圖16所示為日本專利特開平9-61365號公報所記載的現(xiàn)有的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)。在試料1的上方設(shè)有照明部2和攝像部3。照明部2以入射角θ0向試料1照射照明光，其光路上配置有準直透鏡4，使來自照明部2的照明光形成平行光束。
攝像部3設(shè)置在以法線n為基準與照明部2相對的位置，并相對試料1以角度θ0配置。攝像部3具有線路傳感器攝像機5和成像透鏡6。攝像部3和試料1之間配置有準直透鏡7。
通過這樣的結(jié)構(gòu)，從照明部2發(fā)出并擴散的光束由準直透鏡4形成平行光束后對試料1進行線狀照明。在試料1表面反射的光通過準直透鏡7入射到成像透鏡6，并在線路傳感器攝像機5的攝像面上成像，作為試料1表面的像。然后對通過線路傳感器攝像機5的拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理，進行試料1表面的缺陷檢查。
在上述具有照相平版印刷流程的制造工序中，在試料1的表面上涂敷抗蝕劑時，所涂敷的抗蝕劑蔓延到試料1的背面，使其背面的周邊部分鼓起。但是，如果試料1的背面周邊部分有鼓起，或者試料1的背面有傷痕、或者附著塵埃，由于上述公報記載的技術(shù)中沒有檢測試料背面的裝置，因而難以應(yīng)付。
本發(fā)明的目的是提供一種在試料表面缺陷檢查的基礎(chǔ)上也可以進行試料背面的缺陷檢查的缺陷檢查裝置。
發(fā)明的技術(shù)方案本發(fā)明的缺陷檢查裝置，包括移動機構(gòu)，使試料在檢查位置上以一定的速度至少向一個方向直線移動；照明機構(gòu)，對由該移動機構(gòu)移動的所述試料的表面和背面進行照明；拍攝機構(gòu)，在以所述一定的速度移動被該照明機構(gòu)照明的所述試料的同時，對所述試料的整個的表面和背面進行拍攝；以及檢查機構(gòu)，對由所述拍攝機構(gòu)取入的所述試料的整個的表面和背面的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理，對所述試料的表面和背面的缺陷進行檢查。


圖1是本發(fā)明第1實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2A、圖2B是本發(fā)明第1實施例的保持部件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3A、圖3B是本發(fā)明第1實施例的保持部件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是本發(fā)明第2實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5是本發(fā)明第3實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6A、圖6B、圖7是本發(fā)明第1～第3實施例的保持部件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖8、圖9、圖10是本發(fā)明第1～第3實施例的檢查光學系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖11是本發(fā)明第4實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖12是本發(fā)明第5實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖示意圖。
圖13是本發(fā)明第5實施例的變形例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖14是本發(fā)明第6實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖15是本發(fā)明第4～第6實施例的運送臂的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖16是現(xiàn)有例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
以下參照

本發(fā)明的實施例。
圖1是本發(fā)明第1實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖1中，虛線箭頭表示數(shù)據(jù)的走向，實線箭頭表示試料1的走向。
該缺陷檢查裝置用于進行例如由半導體晶片或平面顯示器的玻璃基板等構(gòu)成的試料1的缺陷檢查。該缺陷檢查裝置大致包括運送部10、對試料1的表面及背面進行缺陷檢查的檢查部11、控制全部缺陷檢查動作的控制部12、由顯示缺陷檢查結(jié)果等、例如由帶觸摸傳感器的液晶顯示器構(gòu)成的顯示部13、由操作輸入缺陷檢查動作指示等、例如由鍵盤和鼠標構(gòu)成的操作部14。
運送部10用于將試料1運送到檢查部11，由盒式運進運出部15、對準器16和運送臂17構(gòu)成。盒式運進運出部15用于由人(操作人員)或機器人將容納有多個(例如20個)試料1的盒子運進運出該裝置。
為了提高檢查部11中缺陷檢查的精度，對準器16具有進行試料1的對準的功能。運送臂17具有從被運進盒式運進運出部15的盒子中取出試料1、并分別運送到對準器16和檢查部11的功能。
檢查部11具有保持試料1的邊緣部分且使試料1的表面背面露出的框狀保持部件18。該保持部件18以試料1厚度的大致中心為軸，通過旋轉(zhuǎn)軸19使試料1與保持部件18一起翻轉(zhuǎn)，從而將試料1表面背面中的任何一面設(shè)定在用于缺陷檢查的姿勢位置上。
圖2A、圖2B是保持部件18的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2A所示為沒保持作為試料1的半導體晶片的狀態(tài)，圖2B所示為保持作為試料1的半導體晶片(以下簡單地稱為晶片)的狀態(tài)。
保持部件18設(shè)有成八角形環(huán)狀的具有剛性的框架20，并且在該框架20的相對的2個邊上分別設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸19、19。這2個旋轉(zhuǎn)軸19、19的軸中心通過保持在框架20上的試料1的平面中心(重心位置)和試料1的厚度中心。旋轉(zhuǎn)軸19、19通過180度旋轉(zhuǎn)將保持在框架20上的試料1翻轉(zhuǎn)為表面?zhèn)然虮趁鎮(zhèn)取?br> 另外，在框架20的各邊中4個邊的各內(nèi)側(cè)設(shè)有保持試料1邊緣部分的保持部21。這些保持部21用于吸附試料1背面的邊緣部分，通過例如真空吸附或者靜電吸盤來吸附并保持試料1。
另外，如圖1所示，為了取得試料1的整個表面的圖像數(shù)據(jù)，保持部件18可以沿X軸方向來回移動。在保持部件18的上方，檢查光學系統(tǒng)沿與保持部件18的移動方向(X軸方向)相交的Y軸方向?qū)υ嚵媳砻孢M行線狀照明。另外，設(shè)有線光源22和線路傳感器攝像機23。線光源22向試料1照射線狀的平行光。線路傳感器攝像機23設(shè)置在以法線n為基準與線光源22相對的位置，拍攝來自試料1的反射光。
線光源22被設(shè)定在拍攝試料1表面或背面的正反射(干涉光)圖像的光照射角度θ0處，為了拍攝試料1表面或背面的正反射以外的圖像，可在光照射角度θ1的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。線路傳感器攝像機23被設(shè)定在拍攝試料1表面或背面的正反射圖像的拍攝角度θ0處，為了拍攝試料1表面或背面的正反射以外的圖像，可在拍攝角度θ2的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。
控制部12具有如下功能從操作部14輸入操作人員的操作命令后，控制部12向該裝置的各構(gòu)成部件發(fā)出命令信號，接收線路傳感器攝像機23輸出的圖像信號后做成圖像數(shù)據(jù)，對該圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后抽出試料1表面及背面的各種缺陷，然后在顯示部13上顯示該缺陷抽出結(jié)果。
以下說明如上構(gòu)成的缺陷檢查裝置的動作。以下動作在控制部12的控制下進行。操作人員或機器人將盒子設(shè)置在盒式運進運出部15中，操作人員從操作部14輸入操作開始命令后，開始對試料1進行缺陷檢查。
首先，運送臂17從盒子中真空吸附試料1后保持，并將該試料1運送到對準器16。對準器16完成對試料1的對準后，運送臂17真空吸附試料1并運送到檢查部11，在該檢查部11中被設(shè)置于提前等待在交接位置上的保持部件18上。
然后，在檢查部11開始對試料1進行缺陷檢查。在檢查過程中，運送臂17從盒子內(nèi)真空吸附下一個試料1后運送到對準器16。對準器16對試料1的對準，在檢查部11中對前一試料1的缺陷檢查結(jié)束之前結(jié)束。
如圖2B所示將試料1設(shè)置在檢查部11的保持部件18上之后，由各保持部21真空吸附并保持試料1的背面邊緣部分。此時，線光源22被設(shè)定在為了拍攝試料1表面的正反射圖像而預(yù)先設(shè)定的光照射角度θ0處。同時，線路傳感器攝像機23被設(shè)定在為了拍攝試料1表面的正反射圖像而預(yù)先設(shè)定的拍攝角度θ0處。
這些設(shè)定結(jié)束后，線光源22發(fā)出線狀的照明光，該照明光相對試料1的表面以光照射角度θ0照射。同時，保持部件18開始勻速向X軸方向的去路方向移動。通過該保持部件18的移動，線光源22發(fā)出的線狀照明光在試料1的表面上勻速掃描。
此時，來自試料1表面的反射光被線路傳感器攝像機23接收。線路傳感器攝像機23拍攝在攝像面上成像的來自試料1表面的線狀正反射光，并輸出該圖像信號。
控制部12接收從線路傳感器攝像機23依次輸出的圖像信號，并作成一張試料1的整個表面的正反射圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該正反射圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1表面上的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果顯示在顯示部13上。
然后，為了拍攝試料1表面的正反射以外(例如散射光)的圖像，線光源22被設(shè)定在從光照射角度θ0偏轉(zhuǎn)規(guī)定角度的光照射角度θ1處。這種情況下，也可以不改變線光源22的光照射角度，而是將線路傳感器攝像機23的拍攝角度設(shè)定在從θ0偏轉(zhuǎn)規(guī)定角度的拍攝角度θ2處。
這些設(shè)定結(jié)束后，保持部件18開始勻速向X軸方向的歸路方向移動，線光源22發(fā)出的線狀照明光在試料1的表面上勻速掃描。
控制部12接收線路傳感器攝像機23輸出的圖像信號，并作成一張試料1整個表面的正反射以外的圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該正反射以外的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢出)試料1表面的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果顯示在顯示部13上。
然后，保持部件18以旋轉(zhuǎn)軸19為中心旋轉(zhuǎn)180度，將所保持的試料1翻轉(zhuǎn)后使其背面設(shè)置在檢查光學系統(tǒng)一側(cè)。與上述取得試料1表面的正反射圖像的方法相同，線光源22和線路傳感器攝像機23被設(shè)定在為了取得試料1背面的正反射圖像而預(yù)先設(shè)定的角度θ0處。
這些設(shè)定結(jié)束后，保持部件18勻速向X軸方向的去路方向移動，線光源22發(fā)出的線狀照明光在試料1的背面上勻速掃描。
線路傳感器攝像機23拍攝在攝像面上成像的來自試料1背面的線狀光，并輸出該圖像信號。
控制部12接收線路傳感器攝像機23輸出的圖像信號，并作成一張試料1整個背面的圖像數(shù)據(jù)。控制部12對該圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1背面的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果在顯示部13上顯示。
然后，與上述取得試料表面的正反射以外的圖像的方法相同，再將線光源22設(shè)定在光照射角度θ1處。
這些設(shè)定結(jié)束后，保持部件18勻速向X軸方向的歸路方向移動，線光源22發(fā)出的線狀照明光在試料1的背面上勻速掃描。
控制部12接收線路傳感器攝像機23輸出的圖像信號，并作成一張試料1整個背面的正反射以外的圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1背面上的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果在顯示部13上顯示。
這樣，在試料1背面的歸路方向的拍攝結(jié)束后，保持部件18再次以旋轉(zhuǎn)軸19為中心旋轉(zhuǎn)180度將試料1翻轉(zhuǎn)，與檢查開始時同樣使試料1的表面設(shè)置在檢查光學系統(tǒng)一側(cè)。
然后，保持部件18移動到與運送臂17交接的交接位置。同時，為了拍攝下一個試料1表面的正反射圖像，線光源22和線路傳感器攝像機23被設(shè)定在角度θ0處。
保持部件18移動到與運送臂17交接的交接位置后，運送臂17通過保持下一個要檢查的試料1的一側(cè)機械手和另一側(cè)機械手交換并安置保持部件18上的檢查完畢的試料1和下一個試料1。運送臂17移動到盒式運進運出部15，并將另一側(cè)機械手上保持的檢查完畢的試料1送回盒子里。
在此之后重復(fù)進行上述缺陷檢查動作，對需要進行缺陷檢查的全部試料1進行檢查。
這樣，在上述第1實施例中，在向試料1照射照明光并拍攝來自該試料1的反射光后、根據(jù)其圖像數(shù)據(jù)進行試料1缺陷檢查的檢查部11，設(shè)置有以旋轉(zhuǎn)軸19為中心使試料1翻轉(zhuǎn)、并將試料1表面和背面中的任意一面設(shè)定在用于缺陷檢查的姿勢位置上的保持部件18。這樣就可以對試料1的表面及背面進行缺陷檢查。在具有照相平版印刷流程的制造工序中，在試料1的表面上涂敷抗蝕劑時，所涂敷的抗蝕劑蔓延到試料1的背面，使其背面的周邊部分鼓起，但試料1背面周邊部分的這種鼓起或者試料1背面的傷痕、塵埃的附著等都可以檢查出來。
這樣，因為通過保持部件18使試料1翻轉(zhuǎn)，因而可以設(shè)置一個由線光源22和線路傳感器攝像機23構(gòu)成的光學檢查系統(tǒng)，而不必擴大其設(shè)置空間。
而且，通過使線光源22或線路傳感器攝像機23的光照射角度或拍攝角度可轉(zhuǎn)動，可以利用不同的缺陷檢查方式來進行試料1表面及背面的正反射圖像和正反射以外圖像的缺陷檢測。這樣，通過改變光照射角度，試料1表面及背面狀態(tài)的視角不同，在一個光照射角度上觀察不到的缺陷在另一光照射角度就可觀察到。因此，通過利用檢查方式不同的兩張圖像數(shù)據(jù)進行缺陷檢查，減少了缺陷的遺漏，從而提高了試料1表面及背面的缺陷檢查精度。
例如，可以將正反射圖像和正反射以外的圖像合成后，根據(jù)該合成圖像數(shù)據(jù)進行缺陷檢測，或者將根據(jù)正反射圖像的缺陷檢查結(jié)果和根據(jù)正反射以外圖像的缺陷檢查結(jié)果進行合計后得到缺陷檢出結(jié)果。
在上述第1實施例中，可以用圖3A、圖3B所示的保持部件24代替保持部件18。圖3A為仰視圖，圖3B為側(cè)視圖。該保持部件24由從試料1的相互對置的各端部(試料1的邊緣)夾持試料1的各保持部25、26和設(shè)置在這些保持部25、26上的旋轉(zhuǎn)軸27構(gòu)成。如圖3所示，各保持部25、26與試料1接觸的部分(端部)形成為圓弧狀而與試料1的圓形外形相一致，并且如圖3B所示，其圓弧狀的端部上形成有V形的槽28。這些保持部25、26設(shè)置成可沿Y軸方向移動，在各槽28、28之間夾持試料1的邊緣。
使用這樣的保持部件24可以保持試料1的邊緣，因而不象圖2A、圖2B所示的保持部件18那樣通過真空吸附保持而使試料1背面的一部分被各保持部21覆蓋，而且不必在保持部25、26上形成吸附保持用的吸盤和真空槽，從而可使結(jié)構(gòu)簡單化。
另外，通過高精度地設(shè)定保持部件24的位置，可以常在規(guī)定位置上取出，并且可以使對準器16的對準只朝著定位槽口時的旋轉(zhuǎn)方向，從而可實現(xiàn)檢查速度的高速化并降低成本。
圖4所示為本發(fā)明第2實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)圖。在圖4中，與圖1相同的部分使用相同的標記，省略對其說明。
檢查部30中設(shè)有由玻璃或透明陶瓷等透光材質(zhì)構(gòu)成的保持部件31。該保持部件31具有保持試料1整個表面或其邊緣部的機構(gòu)。保持部件31可以在如此保持試料1的狀態(tài)下沿X軸方向來回移動。保持部件31的上方(試料1的表面一側(cè))設(shè)有線光源22和線路傳感器攝像機23。保持部件31的下方(試料1的背面一側(cè))設(shè)有線光源32和線路傳感器攝像機33。
線光源32被設(shè)定在取得試料1背面的正反射圖像的光照射角度θ0處，為了取得試料1背面的正反射以外的圖像，可在光照射角度θ3的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。線路傳感器攝像機33被設(shè)定在取得試料1背面的正反射圖像的拍攝角度θ0處，為了取得試料1背面的正反射以外的圖像，可在拍攝角度θ4的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。
以下說明如上結(jié)構(gòu)的缺陷檢查裝置的動作。在該裝置中，運送部10中的動作與上述第1實施例相同，因而省略對其的說明，僅說明檢查部30中的動作。以下的動作在控制部12的控制下進行。
如果將試料1設(shè)置在檢查部30的保持部件31上，則與第1實施例的保持部件18同樣地保持試料1的背面邊緣部分。表面及背面兩側(cè)的線光源22、32被設(shè)定在拍攝試料1表面的正反射圖像的光照射角度θ0處。同時，表面及背面兩側(cè)的線路傳感器攝像機23、33被設(shè)定在拍攝試料1表面的正反射圖像的拍攝角度θ0處。
這些設(shè)定結(jié)束后，在試料1的表面一側(cè)，線光源22發(fā)出線狀的照明光，該照明光相對于試料1的表面以光照射角度θ0照射。同時，保持部件31開始勻速向X軸方向的去路方向移動。通過該保持部件31的移動，線光源22發(fā)出的線狀照明光在試料1的表面上勻速掃描。
此時，來自試料1表面的反射光被線路傳感器攝像機23接收。線路傳感器攝像機23拍攝在攝像面上成像的來自試料1表面的線狀正反射光，并將該圖像信號輸出。
同時，在試料1的背面一側(cè)，線光源32發(fā)出線狀的照明光，該照明光相對于試料1的背面以光照射角度θ0照射。此時，照明光入射到透光材質(zhì)的保持部件31內(nèi)，折射后照射到試料1的背面。然后，來自試料1背面的反射光透過保持部件31內(nèi)部，折射后從該保持部件31的背面射出。
保持部件31如上所述地開始勻速向X軸方向的去路方向移動，所以，通過該保持部件31的移動，線光源32發(fā)出的線狀照明光在試料1的背面上勻速掃描。
然后，來自試料1背面的反射光被線路傳感器攝像機33接收。線路傳感器攝像機33拍攝在攝像面上成像的來自試料1背面的線狀正反射光，并將該圖像信號輸出。
控制部12接收線路傳感器攝像機23、33輸出的圖像信號，并作成2張試料1的整個表面及背面的正反射圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該正反射圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1的表面及背面上的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果在顯示部13上顯示。
然后，試料1表面?zhèn)鹊木€光源22被設(shè)定在拍攝試料1表面的正反射以外圖像的光照射角度θ1處。同時，試料1背面?zhèn)鹊木€光源32被設(shè)定在拍攝試料1背面的正反射以外圖像的另一光照射角度θ3處。
這些設(shè)定結(jié)束后，在試料1的表面及背面兩側(cè)，線光源22、32發(fā)出線狀的照明光，該照明光相對于試料1的表面及背面以光照射角度θ1照射。同時，保持部件31開始勻速向X軸方向的去路方向移動，線光源22、32發(fā)出的線狀照明光在試料1的表面及背面上勻速掃描。此時，線路傳感器攝像機23、33拍攝在攝像面上成像的來自試料1表面的線狀光，并將該圖像信號輸出。
控制部12接收線路傳感器攝像機23、33輸出的圖像信號，并在線狀照明光對試料1的整個表面及背面的掃描結(jié)束后，作成2張試料1的整個表面及背面的正反射以外的圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該正反射以外的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1表面及背面上的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果在顯示部13上顯示。
如上所述對試料1的表面及背面的同時拍攝結(jié)束后，保持部件31移動到與運送臂17交接的交接位置。
這樣，在上述第2實施例中，檢查部30中設(shè)有由透光材質(zhì)例如玻璃等構(gòu)成的保持部件31，并且該保持部件31的兩面分別設(shè)有表面用和背面用的各檢查光學系統(tǒng)。從而僅使保持部件31來回移動一次就可同時進行試料1的表面及背面的缺陷檢查，減少了兩面檢查的生產(chǎn)間隔時間。
另外，與上述第1實施例相同，在具有照相平版印刷流程的制造工序中，在試料1的表面上涂敷抗蝕劑時，所涂敷的抗蝕劑蔓延到試料1的背面，使其背面的周邊部分鼓起，但試料1背面周邊部分的這種鼓起或者試料1背面的傷痕、塵埃的附著等都可以檢查出來。
而且，與上述第1實施例相同，利用不同的缺陷檢查方式進行試料1表面及背面的正反射圖像和正反射以外圖像的缺陷檢查，可以提高試料1的表面及背面的缺陷檢查精度。
在上述第2實施例中，以透明材料構(gòu)成保持部件31并全面保持試料1，從而可以提高試料1的水平度，提高檢查精度。
圖5所示為本發(fā)明第3實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖5中，與圖1、圖4相同的部分使用相同的標記。
檢查部40上設(shè)有使試料1豎立來保持該試料1邊緣的保持部件41。該保持部件41具有與例如上述圖3A、圖3B所示保持部件24相同的形狀和功能。因而保持部件41可在豎立狀態(tài)下沿Z軸方向(上下方向)來回移動。
因此，在豎立的保持部件41的一面(試料1的表面?zhèn)?設(shè)有線光源22和線路傳感器攝像機23。保持部件41的另一面(試料1的背面?zhèn)?設(shè)有線光源32和線路傳感器攝像機33。本第3實施例與圖4所示第2實施例不同之處僅在于使檢查部40豎立，缺陷檢查裝置的基本動作相同，因而省略對動作的說明。
在該第3實施例中，在上述第2實施例的效果的基礎(chǔ)上，設(shè)有使試料1豎立來保持該試料1邊緣的保持部件41，因而不會由于試料1自身的重量而向重力方向變形，從而也可以有效地對大型的液晶顯示器的玻璃基板等大型試料1進行缺陷檢查。
上述第1～3實施例的試料1的各保持部件也可以使用圖6A、圖6B所示的保持部件50。圖6A所示為保持試料1的狀態(tài)，圖6B所示為未保持試料1的狀態(tài)。該保持部件50具有形成為“コ”字形的框架51，在該框架51的至少3處、例如4處分別設(shè)有用于分別保持試料1的各導輪52。這些導輪52如圖7的截面圖所示，形成V形的槽53。另外，為了使該保持部件50翻轉(zhuǎn)，可以在框架51上設(shè)置旋轉(zhuǎn)軸54。而且，如果沿箭頭a方向向框架51的開口部施加推壓力，可以提高試料1的裝載力。
另外，上述第1～3實施例的檢查光學系統(tǒng)也可以使用圖8～圖10所示結(jié)構(gòu)的檢查光學系統(tǒng)。圖8所示的檢查光學系統(tǒng)包括向試料1的面照射線狀照明光的線光源60，使該線光源60發(fā)出的線狀照明光反射后照射到試料1的面上、并使來自試料1面的反射光透過的分光鏡(半透半反鏡)61，拍攝透過該分光鏡(半透半反鏡)61的來自試料1面的反射光的線路傳感器攝像機(拍攝裝置)62。
在利用該檢查光學系統(tǒng)取得試料1的面的圖像數(shù)據(jù)的情況下，使試料1向例如箭頭b的方向移動，此時線光源60發(fā)出的線狀照明光照射在試料1的面上，其反射光由線路傳感器攝像機62拍攝。該檢查光學系統(tǒng)也可以將線光源60和線路傳感器攝像機62集成為一個單元。
圖9所示檢查光學系統(tǒng)包括發(fā)出照明光的光源63、使該光源63發(fā)出的照明光成為平行光后一并照射到試料1整個面上的第1透鏡64、使來自試料1整個面上的光成像的第2透鏡65、對通過該第2透鏡65成像后的光進行拍攝的拍攝裝置66。這樣的光學檢查系統(tǒng)不必移動試料1，就可以一并取得試料1的整個面的圖像數(shù)據(jù)。
圖10所示檢查光學系統(tǒng)包括發(fā)出照明光的光源67，使該光源67發(fā)出的照明光成為平行光的第1透鏡68，使來自該第1透鏡68的照明光反射后照射到試料1的面上、并使來自試料1背面的反射光透過的分光鏡(半透半反鏡)69，使透過該分光鏡69的、來自試料1整個面上的光成像的第2透鏡70，對通過該第2透鏡70成像后的光進行拍攝的拍攝裝置71。這樣的光學檢查系統(tǒng)，也可以不必移動試料1就一并取得試料1的整個面的圖像數(shù)據(jù)。
另外，上述第1～3實施例所述的“正反射圖像”也可以是使用干涉濾光器拍攝的干涉圖像。使照明光照射在試料1上時的、來自試料1表面的反射光和來自下層的反射光通過干涉濾光器后，拍攝得到干涉圖像。另外，上述第1～3實施例所述的“正反射以外的圖像”也可以是衍射圖像或散射光觀察圖像。
圖11是本發(fā)明第4實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖11中，與圖1、圖5相同的部分使用相同的標記，省略對其的說明。該第4實施例在圖1所示第1實施例的運送臂17的運送路徑上配置了本實施例的背面檢查部100。
背面檢查部100，設(shè)置在運送部10和表面檢查部200之間的試料1的運送路徑上，向試料1的背面照射照明光，具有對來自該試料1背面的光進行拍攝并取得其圖像數(shù)據(jù)的功能。
背面檢查部100中設(shè)有運送臂101，作為至少對試料1的背面進行開放性保持的保持部件。該運送臂101的前端形成有向下的固定部102，并且下面一側(cè)設(shè)有可沿該運送臂101的本體方向自由滑動的可動保持部103。這樣，運送臂101把從對準器16傳送來的試料1夾持在固定部102和可動保持部103之間，并使其背面朝下方，在這種狀態(tài)下以一定的運送速度(勻速)沿X方向運送到表面檢查部200。
另外，在背面檢查部100中運送臂101的運送路徑下方，設(shè)有向試料1照射線狀平行光的線光源32和線路傳感器攝像機33。線光源32被設(shè)定在取得試料1背面的正反射圖像的光照射角度θ0處，為了拍攝正反射以外的圖像，可以在光照射角度θ1的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。線路傳感器攝像機33被設(shè)定在取得試料1背面的正反射(干涉光)圖像的拍攝角度θ0處，為了拍攝正反射以外的圖像(散射光·衍射光)，可以在拍攝角度θ2的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。
背面檢查部100，在運送臂101保持試料1向表面檢查部200運送時和運送臂101保持試料1從表面檢查部200返回運送部10時，分別切換到上述拍攝角度θ0和θ2，從而以另外的角度拍攝試料1的背面，取得例如干涉光和散射光的2張圖像數(shù)據(jù)。即，通過改變對試料1背面的光照射角度，可使試料1背面狀態(tài)的視角不同，從而，在一個光照射角度觀察不到的缺陷可以由其它的光照射角度觀察到。
表面檢查部200具有保持試料1的保持部件(檢查平臺)201。為了取得試料1整個面的圖像數(shù)據(jù)，該保持部件201可以沿X軸方向來回移動。在保持部件201的上方，作為檢查光學系統(tǒng)設(shè)有線光源22和線路傳感器攝像機23。線光源22向試料1照射線狀的平行光。線路傳感器攝像機23設(shè)置在以法線n為基準與線光源22相對的位置，拍攝來自試料1的反射光。
線光源22被設(shè)定在拍攝試料1表面的正反射圖像的光照射角度θ0處，為了拍攝試料1表面的正反射以外的圖像，可在光照射角度θ3的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。線路傳感器攝像機23被設(shè)定在拍攝試料1表面的正反射(干涉光)圖像的拍攝角度θ0處，為了拍攝試料1表面的正反射以外的圖像，可在拍攝角度θ4的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。
在該上述第4實施例中，運送部10和表面檢查部200之間設(shè)有背面檢查部100，在該背面檢查部100中對由運送臂101以一定的運送速度正在運送的試料1的背面進行拍攝。在表面檢查部200對試料1進行表面缺陷檢查的基礎(chǔ)上，由該背面檢查部100對試料1的背面進行缺陷檢查。而且，對該試料1背面的缺陷檢查是在運送部10和表面檢查部200之間運送試料1的過程中取得圖像數(shù)據(jù)后進行，因此不必設(shè)定對試料1的背面進行缺陷檢查的時間，從而可縮短生產(chǎn)間隔時間。
另外，與上述各實施例相同，在具有照相平版印刷流程的制造工序中，在試料1的表面上涂敷抗蝕劑時，所涂敷的抗蝕劑蔓延到試料1的背面，使其背面的周邊部分鼓起，但試料1背面周邊部分的這種鼓起或試料1背面的傷痕、塵埃的附著等都可以檢查出來。
而且，通過不同的缺陷檢查方式進行試料1表面及背面的正反射圖像和正反射以外圖像的缺陷檢出，可以提高試料1表面及背面的缺陷檢查精度。
上述第4實施例中的運送臂101也可以使用圖6A、圖6B所示的保持部件50。
圖12是本發(fā)明第5實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖12中，與圖1、圖11相同的部分使用相同的標記，省略對其的說明。該第5實施例中的運送部10與圖1相同，表面檢查部200與圖11相同。與圖11的不同之處在于背面檢查部110。
在運送部10和表面檢查部200之間設(shè)有背面攝像部110。運送部10的運送臂17接收由對準器16對準后的試料1，真空吸附該試料1后保持并運送到背面檢查部110。另外，運送臂17具有從被運進盒式運進運出部15的盒子中取出試料1的功能和將試料1分別運送到盒式運進運出部15、對準器16及背面檢查部110中的功能。
背面檢查部110具有以一定的運送速度(勻速)運送試料1并交付給表面檢查部200的2個氣浮等方式的無接觸(非接觸)輸送器111、112。這些輸送器111、112承載試料1并以一定的運送速度運送到表面檢查部200。與圖11的背面檢查部100相同，在這些輸送器111、112之間設(shè)有線光源32和線路傳感器攝像機33。
線光源32通過2個輸送器111、112之間的間隙將照明光照射在試料1的背面上。與第4實施例相同，該線光源32被設(shè)定在取得試料1背面的正反射圖像的光照射角度θ0處，為了拍攝正反射以外的圖像，可在光照射角度θ1的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。線路傳感器攝像機33通過2個輸送器111、112之間的間隙拍攝試料1的背面。與第4實施例相同，該線路傳感器攝像機33被設(shè)定在取得試料1背面的正反射圖像的拍攝角度θ0處，為了拍攝正反射以外的圖像，可在拍攝角度θ2的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。
以下說明如上構(gòu)成的缺陷檢查裝置的動作。以下動作在控制部12的控制下進行。
首先，運送臂17從盒子中真空吸附試料1后保持，并將該試料1運送到對準器16。在對準器16的對準完成后，運送臂17保持試料1并把該試料1裝載到背面攝像部110的輸送器111上。
輸送器111、112以一定的運送速度將試料1直接或是裝載在運送卡盤上運送到表面檢查部200。此時，試料1以一定的運送速度通過2個輸送器111、112之間的間隙。此時線光源32被設(shè)定在取得試料1背面的正反射圖像的光照射角度θ0處。同時線路傳感器攝像機33也被設(shè)定在拍攝角度θ0處。
這些設(shè)定結(jié)束后，線光源32以光照射角度θ0向以一定的運送速度通過2個輸送器111、112之間間隙的試料1的背面照射照明光。同時，線路傳感器攝像機33接收來自試料1背面的正反射光，拍攝在攝像面上成像的來自試料1背面的線狀光，并將該圖像信號輸出。
控制部12接收線路傳感器攝像機33輸出的圖像信號，并作成一張試料1的整個背面的正反射圖像數(shù)據(jù)。
通過了背面檢查部110的試料1，被交付給在表面檢查部200中預(yù)先等待在交接位置上的保持部件201。該試料1被設(shè)置在該保持部件201上后，進行與第4實施例相同的表面檢查部200的檢查。
表面檢查部200中的檢查結(jié)束后，保持部件201移動到與輸送器112的交接位置，并把試料1裝載到輸送器112上。該試料1由輸送器111、112以一定的運送速度運送到運送部10。此時，試料1以一定的運送速度通過2個輸送器111、112之間的間隙。
此時，為了拍攝試料1背面的正反射以外(例如散射光)的圖像，線光源32被設(shè)定在從光照射角度θ0偏移規(guī)定角度的光照射角度θ1處。線光源32發(fā)出線狀的照明光，并以光照射角度θ1將該照明光照射到試料1的背面。同時，線路傳感器攝像機33接收來自試料1背面的散射光，拍攝在攝像面上成像的來自試料1背面的線狀光，并將該圖像信號輸出。
控制部12接收線路傳感器攝像機33輸出的圖像信號，并作成一張試料1的整個背面的正反射以外的圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該正反射以外的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1背面上的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果在顯示部13上顯示。
在該上述第5實施例中，運送部10和表面檢查部200之間設(shè)有背面檢查部110，在該背面檢查部110中，由2個輸送器111、112以一定的運送速度運送試料1，同時對試料1的背面進行拍攝。不用說，這樣可以取得與上述第4實施例相同的效果，并且在試料1通過2個輸送器111、112之間的間隙時對試料1的背面進行拍攝，因而可以沒有遺漏地檢查試料1的整個背面。
上述第5實施例也可以作以下變形。例如也可以使用帶式輸送器或輥式輸送器，或者從下方吹空氣(壓縮空氣)或利用磁力使試料1浮在空中從而進行非接觸式的運送。另外，作為試料1的運送機構(gòu)，也可以利用超聲波使試料1浮起來運送。
另外，作為拍攝機構(gòu)，可以設(shè)置一組線光源和線路傳感器攝像機，也可以設(shè)置光照射角度和拍攝角度分別不同的多組。這樣，在將試料1向表面檢查部200運送時進行背面檢查和在表面檢查部200中進行表面檢查時，可以通過一個方向的移動取得缺陷檢查方式不同的2張圖像數(shù)據(jù)。
圖13是本發(fā)明第5實施例的變形的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖13中，與第4實施例的圖12相同的部分使用相同的標記。第5實施例是在圖12的背面攝像部110配置試料1的表面拍攝用的光源113和線路傳感器攝像機114而成。從而可以取得由2個輸送器111、112勻速運送的試料1表面的圖像數(shù)據(jù)。
圖14是本發(fā)明第6實施例的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在圖14中，與第4實施例的圖11相同的部分使用相同的標記。
運送部10和背面檢查部100與上述第4實施例具有大致相同的結(jié)構(gòu)。表面檢查部200的保持部件202連接著旋轉(zhuǎn)軸203并可在360度的方向上旋轉(zhuǎn)。保持部件202最好在可單軸移動的載物臺上設(shè)置載放試料(半導體晶片)1的旋轉(zhuǎn)臺，并使該旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)。該第6實施例的表面檢查部200除了在第4實施例的保持部件201上附加了旋轉(zhuǎn)功能外，其余結(jié)構(gòu)與第4實施例大致相同。
以下說明如上構(gòu)成的缺陷檢查裝置的動作。以下動作在控制部12的控制下進行。運送部10和背面攝像部100與上述第4實施例相同，因而在此僅說明表面檢查部200的動作。
運送臂101將試料1設(shè)置在保持部件202上后，與上述第4實施例相同，線光源22和線路傳感器攝像機23被設(shè)定在對試料1表面的正反射(干涉)圖像進行拍攝的角度θ0處。
控制部12接收線路傳感器攝像機23輸出的圖像信號，并作成一張試料1的整個表面的正反射(干涉)圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該正反射圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1表面上的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果在顯示部13上顯示。
然后，與上述第4實施例相同，為了拍攝試料1表面的正反射以外(例如散射光、衍射光)的圖像，線光源22被設(shè)定在從光照射角度θ0偏移規(guī)定角度的光照射角度θ3處。
控制部12接收線路傳感器攝像機23輸出的圖像信號，并作成一張試料1整個表面的正反射以外的圖像數(shù)據(jù)?？刂撇?2對該正反射以外的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理后，抽出(檢測出)試料1表面上的缺陷，并將該缺陷抽出結(jié)果在顯示部13上顯示。
表面檢查部200的上述動作與第4實施例相同，而以下所述動作則不同于第4實施例。保持部件202，在承載試料1的狀態(tài)下，向可以很好地接收散射光(或衍射光)的方向或很好地接收不受來自基底圖案的衍射光影響的干涉光的方向轉(zhuǎn)動，從而改變試料1相對于線光源22入射方向的朝向。
然后，保持部件202再次向X軸方向移動，線光源22如上所述被設(shè)定在光照射角度θ0或θ3處，并通過線路傳感器攝像機23取得試料1表面的正反射圖像或正反射光以外的圖像。
這樣，上述第6實施例在對試料1的表面進行缺陷檢查時，保持部件202上的試料1可相對線光源22的入射方向改變?yōu)槿我獬颉Ｒ虼?，相對于圖案或缺陷的方向可以很好地接收正反射圖像或正反射光以外的圖像。這樣，通過改變光照射方向，從而使試料1表面狀態(tài)的視角不同，可以觀察到以一個方向的光照射角度觀察不到的缺陷，從而提高缺陷檢查的可靠程度。
在上述第4或第6實施例中設(shè)置有多個運送臂，可通過任意一個運送臂將試料1載放在檢查部的保持部件上，在表面檢查部200檢查試料1表面的過程中，其它運送臂接收下一個試料1并在背面檢查部100中檢查試料1的背面并待機。這樣，通過設(shè)置多個運送臂，可以縮短檢查時間。
上述第4或第6實施例中使用的運送臂也可以替換為圖15所示的運送用機器人臂。在圖15中，與圖6A、圖6B相同的部分使用相同的標記。該運送用機器人臂300，在多關(guān)節(jié)例如3個關(guān)節(jié)的臂301、302的前端連接有夾持試料1邊緣的圖6A所示的保持部件50，從而可通過臂301、302的動作使保持部件50朝箭頭a方向直接移動。
也可以使用這樣2個運送用機器人臂300的被稱為雙臂的部件，來代替上述運送臂101。通過使用該雙臂，可以在表面檢查部200中由一個運送用機器人臂300檢查試料1表面的過程中，在背面攝像部100檢查下一試料1，從而可以縮短檢查時間。
本發(fā)明不限于上述第4到第6實施例，在實施階段，可以在不脫離其主要思想的范圍內(nèi)進行種種變形。
例如，在背面檢查部100、110中，用于保持試料1的保持部件也可以使用具有圖2A、圖2B所示結(jié)構(gòu)的保持部件18。作為其它保持部件，也可以使用圖3A、圖3B所示的保持部件24。另一方面，上述第4到第6實施例中試料1的背面?zhèn)鹊墓鈱W檢查系統(tǒng)也可以使用圖8到圖10所示結(jié)構(gòu)的檢查光學系統(tǒng)。
本發(fā)明不僅限于上述各實施例，可以在不改變主要思想的范圍內(nèi)適當變形后實施。
工業(yè)實用性本發(fā)明可以提供一種缺陷檢查裝置，不但可以進行試料表面的缺陷檢查，還可以進行試料背面的缺陷檢查。
另外，本發(fā)明可以提供另一種缺陷檢查裝置，根據(jù)試料表面及背面的正反射圖像和正反射以外的缺陷檢查方式不同的多個圖像，提高缺陷檢查結(jié)果的精度，并且通過缺陷檢查方式不同的多個圖像的合成圖像，減少缺陷的遺漏，提高試料背面的缺陷檢查精度。
此外，本發(fā)明可以提供又一種缺陷檢查裝置，可以同時進行試料表面和背面的缺陷檢查，從而減少兩面檢查的生產(chǎn)節(jié)拍時間。
再者，本發(fā)明可以提供再一種缺陷檢查裝置，通過使試料豎立，避免由于試料自身的重量而向重力方向變形，從而有效地進行大型試料的缺陷檢查。
(按照條約第19條的修改)1.(修改后)一種缺陷檢查裝置，其特征在于，包括檢查部，對試料的表面和背面進行檢查；控制部，對在該檢查部得到的所述試料表面和背面的圖像數(shù)據(jù)進行處理；移動機構(gòu)，設(shè)置在所述檢查部，可來回移動所述試料；照明機構(gòu)，對由該移動機構(gòu)移動的所述試料的表面和背面進行照明；以及拍攝機構(gòu)，對由該照明機構(gòu)照明的所述試料的表面和背面進行拍攝；其中，所述照明機構(gòu)對所述試料的入射角度和所述拍攝機構(gòu)對所述試料的拍攝角度中的至少一個可以變更。
2.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述入射角度和所述拍攝角度，被設(shè)定為用于拍攝正反射圖像的第1角度、和將所述入射角度及所述拍攝角度中的至少一個從所述第1角度變更的用于拍攝所述正反射以外的圖像的第2角度。
3.(修改后)如權(quán)利要求2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，拍攝所述試料表面時的所述第1角度與拍攝所述試料背面時的所述第1角度相同。
4.(修改后)如權(quán)利要求2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，將所述試料向一個方向移動時，以所述第1角度拍攝正反射圖像；將所述試料向所述一個方向的反方向移動時，以所述第2角度拍攝所述正反射圖像以外的圖像。
5.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)中的至少一個設(shè)置為可以轉(zhuǎn)動。
6.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述控制部對所述拍攝機構(gòu)取入的所述試料的表面和背面的正反射圖像的圖像數(shù)據(jù)和所述正反射圖像以外的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理，并在顯示部顯示其結(jié)果。
7.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放地保持所述試料的表面和背面的可翻轉(zhuǎn)保持部件構(gòu)成，在由該保持部件保持的所述試料的表面或背面中的一側(cè)配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)，在檢查所述試料的表面和背面時使所述保持部件翻轉(zhuǎn)。
8.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述保持部件保持所述試料的邊緣，并以所述試料厚度的大致中心為旋轉(zhuǎn)軸翻轉(zhuǎn)。
9.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由以透明材料形成所述試料背面?zhèn)鹊妮d置部分的保持部件構(gòu)成，在由該保持部件保持的所述試料的表面和背面的兩側(cè)分別配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
10.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)為通過夾持所述試料的邊緣部分來進行保持的保持部件。
11.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放所述試料的表面和背面或者使背面一側(cè)透明地形成的保持部件構(gòu)成，豎立設(shè)置該保持部件使其可沿Z軸方向移動，在該保持部件的兩側(cè)配置分別檢查所述試料的表面和背面的所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
12.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述檢查部由檢查所述試料表面的第1檢查部和檢查所述試料背面的第2檢查部構(gòu)成，該第2檢查部設(shè)置在運送所述試料的運送部和所述第1檢查部之間。
13.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放地保持所述試料背面的運送臂和從該運送臂接收所述試料并保持所述試料的保持部件構(gòu)成，在該運送臂的運送路徑的所述試料的背面?zhèn)龋渲盟稣彰鳈C構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)，并且，在由所述保持部件保持的所述試料的表面?zhèn)?，配置有所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
14.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由運送所述試料的多個非接觸式輸送器構(gòu)成，在該多個輸送器的運送路徑中，設(shè)有在與所述試料的運送方向相交的方向上拍攝所述試料背面的間隙。
15.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由保持所述試料的保持部件構(gòu)成，所述保持部件可在水平方向上轉(zhuǎn)動，以便相對于所述試料改變所述照明機構(gòu)的照射方向。
16.(追加)如權(quán)利要求1至15中的任一項所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述照明機構(gòu)由以規(guī)定的入射角度向所述試料面照射線狀平行光的線光源構(gòu)成，所述拍攝機構(gòu)由線路傳感器攝像機構(gòu)成，所述線路傳感器攝像機拍攝被該線光源線狀地照射的所述試料。
1.(修改后)一種缺陷檢查裝置，其特征在于，包括檢查部，對試料的表面和背面進行檢查；控制部，對在該檢查部得到的所述試料表面和背面的圖像數(shù)據(jù)進行處理；移動機構(gòu)，設(shè)置在所述檢查部，可來回移動所述試料；照明機構(gòu)，對由該移動機構(gòu)移動的所述試料的表面和背面進行照明；以及拍攝機構(gòu)，對由該照明機構(gòu)照明的所述試料的表面和背面進行拍攝；其中，所述照明機構(gòu)對所述試料的入射角度和所述拍攝機構(gòu)對所述試料的拍攝角度中的至少一個可以變更。
2.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述入射角度和所述拍攝角度，被設(shè)定為用于拍攝正反射圖像的第1角度、和將所述入射角度及所述拍攝角度中的至少一個從所述第1角度變更的用于拍攝所述正反射以外的圖像的第2角度。
3.(修改后)如權(quán)利要求2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，拍攝所述試料表面時的所述第1角度與拍攝所述試料背面時的所述第1角度相同。
4.(修改后)如權(quán)利要求2所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，將所述試料向一個方向移動時，以所述第1角度拍攝正反射圖像；將所述試料向所述一個方向的反方向移動時，以所述第2角度拍攝所述正反射圖像以外的圖像。
5.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)中的至少一個設(shè)置為可以轉(zhuǎn)動。
6.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述控制部對所述拍攝機構(gòu)取入的所述試料的表面和背面的正反射圖像的圖像數(shù)據(jù)和所述正反射圖像以外的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理，并在顯示部顯示其結(jié)果。
7.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放地保持所述試料的表面和背面的可翻轉(zhuǎn)保持部件構(gòu)成，在由該保持部件保持的所述試料的表面或背面中的一側(cè)配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)，在檢查所述試料的表面和背面時使所述保持部件翻轉(zhuǎn)。
8.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述保持部件保持所述試料的邊緣，并以所述試料厚度的大致中心為旋轉(zhuǎn)軸翻轉(zhuǎn)。
9.(修改后)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由以透明材料形成所述試料背面?zhèn)鹊妮d置部分的保持部件構(gòu)成，在由該保持部件保持的所述試料的表面和背面的兩側(cè)分別配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
10.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)為通過夾持所述試料的邊緣部分來進行保持的保持部件。
11.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放所述試料的表面和背面或者使背面一側(cè)透明地形成的保持部件構(gòu)成，豎立設(shè)置該保持部件使其可沿Z軸方向移動，在該保持部件的兩側(cè)配置分別檢查所述試料的表面和背面的所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
12.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述檢查部由檢查所述試料表面的第1檢查部和檢查所述試料背面的第2檢查部構(gòu)成，該第2檢查部設(shè)置在運送所述試料的運送部和所述第1檢查部之間。
13.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放地保持所述試料背面的運送臂和從該運送臂接收所述試料并保持所述試料的保持部件構(gòu)成，在該運送臂的運送路徑的所述試料的背面?zhèn)?，配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)，并且，在由所述保持部件保持的所述試料的表面?zhèn)龋渲糜兴稣彰鳈C構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
14.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由運送所述試料的多個非接觸式輸送器構(gòu)成，在該多個輸送器的運送路徑中，設(shè)有在與所述試料的運送方向相交的方向上拍攝所述試料背面的間隙。
15.(追加)如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由保持所述試料的保持部件構(gòu)成，所述保持部件可在水平方向上轉(zhuǎn)動，以便相對于所述試料改變所述照明機構(gòu)的照射方向。
16.(追加)如權(quán)利要求1至15中的任一項所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述照明機構(gòu)由以規(guī)定的入射角度向所述試料面照射線狀平行光的線光源構(gòu)成，所述拍攝機構(gòu)由線路傳感器攝像機構(gòu)成，所述線路傳感器攝像機拍攝被該線光源線狀地照射的所述試料。
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢查裝置，其特征在于，包括移動機構(gòu)，使試料在檢查位置上以一定的速度至少向一個方向直線移動；照明機構(gòu)，對由該移動機構(gòu)移動的所述試料的表面和背面進行照明；拍攝機構(gòu)，在以所述一定的速度移動被該照明機構(gòu)照明的所述試料的同時，對所述試料的整個的表面和背面進行拍攝；以及檢查機構(gòu)，對由所述拍攝機構(gòu)取入的所述試料的整個的表面和背面的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理，對所述試料的表面和背面的缺陷進行檢查。
2.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放地保持所述試料的表面和背面的可翻轉(zhuǎn)保持部件構(gòu)成，在由該保持部件保持的所述試料的表面或背面中的一側(cè)，配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)，在檢查所述試料的表面和背面時，使所述保持部件翻轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由以透明材料形成所述試料背面?zhèn)鹊妮d置部分的保持部件構(gòu)成，在由該保持部件保持的所述試料的表面和背面的兩側(cè)，分別配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放所述試料的表面和背面或者使背面一側(cè)透明地形成的保持部件構(gòu)成，豎立設(shè)置該保持部件使其可沿Z軸方向移動，在該保持部件的兩側(cè)，配置分別檢查所述試料的表面和背面的所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由開放地保持所述試料背面的運送臂和從該運送臂接收所述試料并保持所述試料的保持部件構(gòu)成，在該運送臂的運送路徑的所述試料的背面?zhèn)?，配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)，并且，在由所述保持部件保持的所述試料的表面?zhèn)?，配置所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由使所述試料懸浮在空中來進行運送的多個非接觸式輸送器構(gòu)成，在該多個輸送器的間隙，配置檢查所述試料背面的所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述移動機構(gòu)由將所述試料的背面保持在下方的保持部件構(gòu)成，在該保持部件的上方配置檢查所述試料表面的所述照明機構(gòu)和所述拍攝機構(gòu)，所述保持部件可以轉(zhuǎn)動，以便改變所述照明機構(gòu)對所述試料的照射方向。
8.如權(quán)利要求1至7中的任一項所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述照明機構(gòu)由以規(guī)定的入射角度向所述試料面照射線狀平行光的線光源構(gòu)成，所述拍攝機構(gòu)由線路傳感器攝像機構(gòu)成，所述線路傳感器攝像機拍攝被該線光源線狀地照射的所述試料。
9.如權(quán)利要求8所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，所述線光源或所述線路傳感器攝像機，將拍攝正反射圖像的入射角度和反射角度設(shè)定為同一角度，為了拍攝所述正反射以外的圖像，所述線光源和所述線路傳感器攝像機中的至少一個可以轉(zhuǎn)動，以便將入射角度和反射角度設(shè)定為不同的角度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種缺陷檢查裝置，包括移動機構(gòu)，使試料在檢查位置上以一定的速度至少向一個方向直線移動；照明機構(gòu)，對由該移動機構(gòu)移動的所述試料的表面和背面進行照明；拍攝機構(gòu)，在以所述一定的速度移動被該照明機構(gòu)照明的所述試料的同時，對所述試料的整個的表面和背面進行拍攝；以及檢查機構(gòu)，對由所述拍攝機構(gòu)取入的所述試料的整個的表面和背面的圖像數(shù)據(jù)進行圖像處理，對所述試料的表面和背面的缺陷進行檢查。
文檔編號G01N21/88GK1556920SQ0281845
公開日2004年12月22日 申請日期2002年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月21日
發(fā)明者內(nèi)木裕, 田中利彥, 彥 申請人:奧林巴斯株式會社