專利名稱：物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法、檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法、檢查裝置。
背景技術(shù)：
公知有一種用于驅(qū)動(dòng)物鏡的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置，該物鏡用于對
光盤照射記錄或再生信息用的激光(例如，參照日本特開2003 -16668號公報(bào)(第1~ 3頁、第11 12圖))。在物鏡驅(qū)動(dòng)裝置 中，通過沿與光盤表面垂直的方向驅(qū)動(dòng)物鏡，可進(jìn)行用于校正 激光在光盤表面上的聚焦錯(cuò)位的調(diào)焦控制。另外，物鏡驅(qū)動(dòng)裝 置例如可用于對光盤記錄或再生信息的光拾取裝置。 下面，使用圖ll說明物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l的結(jié)構(gòu)。 基臺10是包括大致長方體狀的磁鐵21及磁鐵22和分別用 于固定設(shè)置磁鐵21及磁鐵22的大致矩形平板狀的磁軛ll及磁 軛12的、形成為板狀的金屬制的臺。詳細(xì)地講，在基臺10上， 以沿著圖ll中的切向方向(安裝于轉(zhuǎn)臺(未圖示)上的光盤(未 圖示)的軌道的切線方向)相面對的方式形成有一對大致矩形 平板狀的磁軛ll、 12，并且在各磁軛ll、 12之間形成有用于設(shè) 置驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30 (驅(qū)動(dòng)器主體部)的、被開口 了的規(guī) 定的收容部90。"驅(qū)動(dòng)器(actuator)"是指例如將能量轉(zhuǎn)換為 平移運(yùn)動(dòng)或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)等的驅(qū)動(dòng)裝置。
另外，磁鐵21及磁鐵22是各自形成為長方形狀且極性不同 的單極的永久磁鐵。以一對磁鐵21及磁鐵22的正面之間夾著基 臺10上的收容部90地相面對的方式將磁鐵21的背面部21b固定 設(shè)置于磁軛11上且將磁鐵2 2的背面部2 2 b固定設(shè)置于磁軛12 上。例如，在處于磁鐵21及磁鐵22的相對面之間的、基臺10
4上的收容部90以及收容部90的周圍/附近形成有磁隙。另外， 磁鐵21及磁鐵22的處于聚焦方向(與安裝于轉(zhuǎn)臺(未圖示)上 的光盤(未圖示)的表面垂直的方向)上的底面部21a、 22a 利用粘接材料粘接于基臺10上側(cè)的表面部10b、 10c上。圖ll 中所示的61、 62表示磁鐵21及磁鐵22與基臺IO的粘接部位。
驅(qū)動(dòng)器ACT例如包括用于保持物鏡OBL的透鏡保持架31 (保持架)；使裝設(shè)有物鏡OBL等的包括保持架31等在內(nèi)的驅(qū) 動(dòng)器主體部3 0可移動(dòng)地彈性支承該驅(qū)動(dòng)器主體部3 0的大致線 狀的吊線40(線)；固定著大致線狀的吊線40的兩端部41、 42 中的一個(gè)端部42的支承^反50、將多才艮(例如，各側(cè)面部31a、 31b各有2根)吊線40的兩端部41、 42中的另 一個(gè)端部41分別 卡定在保持架31的沿子午線方向(與光盤表面上的軌道垂直的 方向)相面對的2個(gè)側(cè)面部31a、 31b上的卡定構(gòu)件32;主要大 致沿著子午線方向驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器主體部30的跟蹤線圏(tracking coil) 33;主要大致沿著調(diào)焦方向驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器主體部30的聚焦 線圏(focus coil) 34。另外，在驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的底 面30a與沿聚焦方向遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的底面30a的、 基臺10的大致中央下降一段的表面10a之間，存在用于供驅(qū)動(dòng) 器A C T的主體部3 0沿聚焦方向移動(dòng)的空間9 0 a 。
吊線4 0是借助卡定構(gòu)件3 2彈性地支承驅(qū)動(dòng)器A C T的主體 部30且具有用于向跟蹤線圈33、聚焦線圈34等中通入電流的導(dǎo) 線功能的金屬制的線。具體地講，吊線40與基臺10大致平行地 延伸，其 一端部41通過焊錫助溶劑分別卡定于卡定構(gòu)件32上， 且其另一端部42通過焊錫劑、阻尼劑等固定于支承板50上。另 外，阻尼劑起到吸收驅(qū)動(dòng)/移動(dòng)驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30時(shí)的異
常振動(dòng)等振動(dòng)的作用。
支承板50是用于固定吊線40的另一端部42的板。另外，支承板50與基臺IO例如借助金屬制的外殼(未圖示)等相互固定。 如上所述，在圖11中，除了基臺10及保持架31之外的構(gòu)成 元件構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使物鏡OBL沿聚焦方向、跟蹤 方向移動(dòng)地驅(qū)動(dòng)保持架31。
粘接部位61、 62是利用粘接劑將磁鐵21、 22的底面部21a、 22a與基臺10上側(cè)的表面部10b、 10c之間粘接起來的部位，但 有時(shí)產(chǎn)生例如該粘接劑流出或滲出到與設(shè)有保持架31的驅(qū)動(dòng) 器ACT的主體部30的背面30a相面對的、基臺IO的大致中央下 降一段的表面10a上的現(xiàn)象。另外，還存在該粘接劑未按規(guī)定 涂敷于粘接部位61、 62,而附著在與驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30 的背面30a相面對的、基臺10的大致中央下降一段的表面10a 上的情況。
另外，驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的卡定構(gòu)件32例如是通過釆 用了焊錫助溶劑進(jìn)行的錫焊等來卡定吊線40的一端部41的，但 在進(jìn)行該錫焊作業(yè)時(shí)，有時(shí)該焊錫助溶劑會(huì)附著在與驅(qū)動(dòng)器 ACT的主體部30的背面30a相面對的、基臺IO的大致中央下降 一段的表面10a上。
并且，吊線40的另 一端部42例如是采用焊錫劑、阻尼劑等 固定于支承板50上的，但在進(jìn)行該固定作業(yè)時(shí)，有時(shí)阻尼劑會(huì) 附著在與驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背面30a相面對的、基臺10 的大致中央下降一,爻的表面10a上。
假定發(fā)生如上所述地粘接劑、焊錫助溶劑、阻尼劑等這樣 的具有粘接性的異物附著在與驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背面 30a相面對的、基臺IO的大致中央下降一段的表面10a上的情 況。在這種情況下，為了進(jìn)行調(diào)焦控制而使驅(qū)動(dòng)器ACT的主體 部30向使驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背面30a靠近基臺10的大致 中央下降一段的表面10a的方向移動(dòng)時(shí)，由于上述那樣的具有粘接性的異物而將驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背面30a與基臺10 的大致中央下降 一 段的表面10 a粘接起來。
在該狀況下存在這樣的問題，即，在欲使驅(qū)動(dòng)器ACT的主 體部30向使驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背面30a遠(yuǎn)離基臺10的大 致中央下降一段的表面10a的方向移動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)器ACT的主體
法為線性)，調(diào)焦控制無法成為想要進(jìn)行的控制。
另外，并不僅限于上述具有粘接性的異物，在驅(qū)動(dòng)器ACT 的主體部30的背面30a與基臺IO的大致中央下降一段的表面 1 Oa之間混入垃圾等異物的情況下，也同樣地存在驅(qū)動(dòng)器ACT 的主體部30無法順暢地移動(dòng)這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)技術(shù)方案是一種物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法， 該物鏡驅(qū)動(dòng)裝置包括基臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡 的保持架、驅(qū)動(dòng)上述保持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動(dòng)的驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，該檢查方法包括通過上述物鏡出射激光的工序、 使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圏 (aperture)的工序、對上述驅(qū)動(dòng)4幾構(gòu)施加用于使上述保持架 在最靠近上述基臺表面的第l位置與比上述第l位置距上述基 臺表面遠(yuǎn)的第2位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓的工序、對通過了上 述光圏的上述激光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換的工序、基于上述光電轉(zhuǎn)換后 的信號檢查物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的工序。
通過附圖及本說明書的記載內(nèi)容明確本發(fā)明的其他特征。


為了完整地理解本發(fā)明及其優(yōu)點(diǎn)，請參照以下說明與附圖。
7圖l是表示本實(shí)施方式的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查裝置的結(jié)構(gòu) 的圖。
圖2是表示本實(shí)施方式的拆下了光拾取裝置的情況下的第 24全查工具的立體圖。
圖3是表示本實(shí)施方式的拆下了光傳感器后的第2檢查工 具的俯視圖。
圖4是用于說明本實(shí)施方式的光圈的位置調(diào)整的圖。 圖5是用于說明本實(shí)施方式的光圏的位置調(diào)整的圖。 圖6是用于說明本實(shí)施方式的光圈的位置調(diào)整的圖。 圖7是用于說明本實(shí)施方式的光圈的位置調(diào)整的圖。 圖8A是表示執(zhí)行了本實(shí)施方式的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。
圖8B是表示執(zhí)行了本實(shí)施方式的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為不正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。 圖9A是表示執(zhí)行了本實(shí)施方式的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。
圖9 B是表示執(zhí)行了本實(shí)施方式的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方
法后的、結(jié)果為不正常情況下的波形顯示器的顯示畫面的圖。 圖IO是光拾取裝置的立體圖。
圖ll是表示物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的俯視圖和剖視圖的圖。
具體實(shí)施例方式
根據(jù)本說明書及附圖的記載至少可明確以下事項(xiàng)。 檢查裝置的結(jié)構(gòu)
圖l是表示用于檢查本發(fā)明的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行調(diào)焦控制 時(shí)的動(dòng)作狀況的檢查裝置W的整體結(jié)構(gòu)的圖。另外，為了便于 說明，設(shè)檢查裝置W的檢查對象為圖ll所示的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l。物鏡驅(qū)動(dòng)裝置I的檢查裝置W主要由穩(wěn)定電源裝置IOO、第 1檢查工具110 (驅(qū)動(dòng)電壓生成器)、APC (Automatic Power Control ,自動(dòng)功率控制)120 、 LVDS ( Low Voltage Differential Signaling,低電壓差分信號)轉(zhuǎn)換器130、第2 檢查工具140、 1/V放大器150(電流/電壓轉(zhuǎn)換電路)和示波 器160 (波形顯示器)構(gòu)成。
穩(wěn)定電源裝置100是用于對APC120及I / V放大器150供 給DC電壓的電源裝置。穩(wěn)定電源裝置100通過電纜103與 APC120相連接，并且通過電纜105與I/ V放大器150相連接。
第1檢查工具110是進(jìn)行用于檢查驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30 沿聚焦方向移動(dòng)的設(shè)定的主要工具。具體地講，該第l檢查工 具110通過產(chǎn)生對構(gòu)成光拾取裝置OPU的驅(qū)動(dòng)器ACT的聚焦線 圈34施加的驅(qū)動(dòng)電壓而生成聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV。另外，聚焦 線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV自圖l中的第1檢查工具110的+端子lll、-
光拾取裝置OPU的驅(qū)動(dòng)器ACT的聚焦線圏34供給。
APC120進(jìn)行用于使設(shè)于光拾取裝置OPU上的激光光源 (未圖示)以恒定的電力發(fā)光的控制。具體地講，APC120接 收自穩(wěn)定電源裝置100供給來的DC電壓并通過LVDS轉(zhuǎn)換器 130將電力供給到光拾取裝置OPU的激光光源，并且向光拾取 裝置OPU的激光光源等供給控制信號。另外，自APC120輸出 的控制信號通過電纜123而被傳送到LVDS轉(zhuǎn)換器130。另外， 作為激光光源(光源)，例如可列舉出激光二極管(LD: laser diode)等發(fā)光元件等。
LVDS轉(zhuǎn)換器130接收自APC120通過電纜123傳送來的電 力和控制信號，對控制信號進(jìn)行LVDS轉(zhuǎn)換，將電力和控制信 號供給到上述激光光源，并且將自第1檢查工具110通過雙股扭絞電纜113傳送來的聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓F V施加給驅(qū)動(dòng)器A C T的 聚焦線圈34。 APC120、第1檢查工具110起到信號源的作用， LVDS轉(zhuǎn)換器130起到面向第2檢查工具140的中繼裝置及 LVDS無線電收發(fā)兩用機(jī)的作用。LVDS轉(zhuǎn)換器130例如通過撓 性電纜24 (電纜)等與設(shè)于第2檢查工具140上的光拾取裝置 OPU相連接。
第2檢查工具140是進(jìn)行用于對構(gòu)成驅(qū)動(dòng)器ACT的驅(qū)動(dòng)器 主體部3 0在聚焦方向上的移動(dòng)進(jìn)行檢查的操作的例如次要工 具。第2檢查工具140主要包括光傳感器144和具有針孔143的光 圈142。另外，光拾取裝置OPU設(shè)于第2檢查工具140中。另夕卜， 光圏142、光傳感器144以及光拾取裝置OPU與水平面(X-Y 平面)平4亍地配設(shè)。
光拾取裝置OPU的外觀結(jié)構(gòu)示于圖IO中。圖IO表示拆下了 一部分零件后的光拾取裝置O P U的 一 部分內(nèi)部結(jié)構(gòu)。光拾取裝 置OPU將物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l、光源等光學(xué)系統(tǒng)(未圖示)等收納 于金屬制及/或樹脂制的外殼2中，該光拾取裝置OPU包括 將自光源出射的光通過反射鏡等照射到物鏡OBL上的光學(xué)系 統(tǒng)；物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l的電路板50 (板)；可通電地與吊線40等相 連接的撓性印刷電路板26、可通電地與撓性印刷電路板26相連 接的撓性電纜28等撓性電路板24(電纜)等，該光拾取裝置OPU 在精簡化方面做了各種研究。另外，在圖10中表示了例如圖11 所示的磁扼ll、磁鐵21、物鏡OBL、驅(qū)動(dòng)器ACT、驅(qū)動(dòng)器主體 部30、支7f^反50。
在此，為了方便起見，使光圏142例如為具有規(guī)定直徑的 針孑L143(孑L)的例如板。"光圈(aperture)"例如是指孔、 間隙等，在此，為了方便起見而將光圈142做成為上述那樣的 孔、間隙或者具有上述那樣的孔、間隙的構(gòu)件。當(dāng)來自規(guī)定的激光光源的激光通過光拾取裝置O P U的物鏡O B L而照射到光 圏142上時(shí)，通過物鏡OBL出射的會(huì)聚光束受到光圈142的限 制。于是，該會(huì)聚光束的一部分通過針孔143。光傳感器144 是接收通過了光圈142的針孔143的會(huì)聚光束的一部分(針孔通 過光)而將其光電轉(zhuǎn)換為與該受光量相對應(yīng)的受光電流 PDOUT的傳感器。光傳感器144通過電纜145與I / V放大器 150相連接。
1/V放大器150是用于將光傳感器144的受光電流PDOUT 轉(zhuǎn)換為電壓并進(jìn)一步生成放大了的傳感器輸出電壓LDP的例 如電流/電壓轉(zhuǎn)換電路。另外，傳感器輸出電壓LDP自圖l中 的1/V放大器150的+端子151、-端子152輸出。另外，根據(jù) 物鏡驅(qū)動(dòng)裝置1的檢查裝置W的規(guī)格等，例如有時(shí)也將光傳感器 14 4和I / V放大器15 0作為本申請權(quán)利要求的傳感器的 一 個(gè)實(shí) 施方式。
示波器160例如構(gòu)成為基于由光傳感器144等光電轉(zhuǎn)換后 的信號來檢查物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l的信號檢查裝置。具體地說明， 示波器160是將自第1檢查工具110的+端子lll、-端子112輸 出的聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV以及自I / V放大器150的+端子 151、-端子152輸出的傳感器輸出電壓LDP以波形顯示為2維 曲線圖的波形顯示器。示波器160包括顯示畫面161、 X軸用通 道162 ( CH- X)和Y軸用通道164 ( CH- Y)。通道162通過同 軸電纜163與第1檢查工具110的+端子lll、-端子112相連接。 另外，通道164通過同軸電纜165與I/V放大器150的+端子 151、 -端子152相連接。
當(dāng)在示波器160中設(shè)定了通常模式時(shí)，聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓 FV與傳感器輸出電壓LDP各自的時(shí)間變化波形(縱軸(Y軸) 為電壓、橫軸(X軸)為時(shí)間)顯示于顯示畫面161中。另外，例如當(dāng)在示波器160中設(shè)定了 X - Y模式時(shí)，聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓 FV與傳感器輸出電壓LDP的李沙育(Lissajous)波形(縱軸 (Y軸)為傳感器輸出電壓LDP、橫軸(X軸)為聚焦線圈驅(qū)動(dòng) 電壓FV)顯示于顯示畫面161中。
另夕卜，各電纜24、 103、 105、 113、 123、 145、 173、各 同軸電纜163、 165例如做成為用于構(gòu)成電線的構(gòu)件。另外，為 了使各電纜24、 103、 105、 113、 123、 145、 173可自由裝卸 且可通電地相連^妻，可以在各電纜24、 103、 105、 113、 123、 145、 173中裝設(shè)例如中繼基板(未圖示)。
物鏡驅(qū)動(dòng)裝置1的檢查裝置W包括上述穩(wěn)定電源裝置100、 上述APC120、上述LVDS轉(zhuǎn)換器130、上述I/V放大器150、 上述示波器160、上述第1檢查工具110、上述第2檢查工具140 等驅(qū)動(dòng)器、粘住(stick)、跳躍(jump)、應(yīng)對工具等。假設(shè) 在驅(qū)動(dòng)器ACT的基板10的表面10a上流動(dòng)有粘接劑(未圖示) 的情況。在聚焦線圏34中流動(dòng)有電流，操作驅(qū)動(dòng)器ACT,使透 鏡保持架31最接近基板10的表面10a地向下移動(dòng)時(shí)，未圖示的 粘接劑附著在透鏡保持架31的背面31a上。在該狀態(tài)下，透鏡 保持架想要再向上側(cè)移動(dòng)時(shí)，通過粘接劑粘著在基板10上的透 鏡保持架31不容易上升。本發(fā)明的粘住(stick)是指粘著這樣 的狀態(tài)。在聚焦線圏34中流動(dòng)有電流，通過粘接劑粘著在基才反 IO上的透鏡保持架31想要再向上側(cè)移動(dòng)時(shí)，好容易與粘接劑分 離的透鏡保持架31例如跳躍地上升。本發(fā)明的跳躍是指跳起這 樣的狀態(tài)。
第2檢查工具的結(jié)構(gòu)
圖2是第2檢查工具140的立體圖。圖3是自第2檢查工具140 上卸下了光傳感器144、安裝上了光拾取裝置OPU的情況下的 第2檢查工具140的俯視圖。另外，圖2、圖3中分別所示的X-
12Y- Z坐標(biāo)相對應(yīng)。
朝向圖2 、圖3中所示的Y軸正方向延伸設(shè)有延伸設(shè)置部 1403a、 1403b的〕字形底板1403例如載置在水平面H (圖2) 上。與底板1403的〕字的底邊部位垂直(沿圖2、圖3中所示的 Z軸的正方向)地配設(shè)有平板狀的背板1402。另夕卜，背板1402 的位于與水平面H側(cè)的下表面相反側(cè)(圖2、圖3中所示的Z軸的 正方向)的上表面Sl位于沿高度方向距離水平面H為高度hl的 位置。
另外，在背板1402與底板1403之間的大致直角的間隙中嵌 合有平板狀的側(cè)板1404。側(cè)板1404配設(shè)為與背板1402及底板 1403垂直。另夕卜，在側(cè)板1404的一個(gè)做成為正方形狀的表面上 結(jié)合有具有與背板1402垂直(沿圖2、圖3中所示的Y軸的正方 向)地延伸設(shè)置的例如2根肋的骨板1408,側(cè)板1404通過自側(cè) 板1404的另 一 個(gè)做成為正方形狀的表面朝向骨板1408螺旋擰 入安裝的4根螺栓1407等安裝于背板1402及/或底板1403上。
光圈142的長度較短側(cè)的端部通過螺栓1406與側(cè)板1404 垂直(沿圖2、圖3中所示的X軸的負(fù)方向)地與側(cè)板1404的位 于與水平面H側(cè)的下表面相反側(cè)(圖2、圖3中所示的Z軸的正方 向的表面)的上表面S3相結(jié)合。結(jié)果，光圈142被配設(shè)為與水 平面H平行。另外，側(cè)板1404的上表面S3位于沿高度方向距離 水平面H為比高度hl低的高度h3的位置。
在背板1402的上表面Sl上設(shè)有螺栓孔1402a、 1402b,光 傳感器144的端部通過螺栓與背板1402垂直(沿圖2、圖3中所 示的Y軸的正方向)地與背板1402相結(jié)合。結(jié)果，光圈142與 光傳感器144被配設(shè)為分別與水平面H平行。另外，進(jìn)行位置調(diào) 整使光圏142的針孑L 143與光傳感器144的受光部相面對。
自與背板1402的上表面S1垂直的側(cè)面S2垂直(沿圖2、圖3中所示的Y軸的正方向)地延伸設(shè)置有金屬制的2根支承棒 1405a、 1405b。另夕卜，2才艮支岸義才奉1405a、 1405b自沿高度方 向距離水平面H為比高度h3低的高度h2的位置起延伸設(shè)置。但是，如圖10所示，為了水平(與圖2、圖3中所示的X-Y平面平行)地支承光拾取裝置OPU，在用于收納物鏡驅(qū)動(dòng)裝 置l的外殼2例如殼體2a上設(shè)有可供上述支承棒1405a、 1405b 以可滑動(dòng)接觸的狀態(tài)插入的插入孔部70a及開口孑L部70b。例如，當(dāng)以將支承棒1405a插入到光拾取裝置OPU的插入 孔部70a中且將支承棒1405b插入到光拾取裝置OPU的開口孔 部70b中的方式將光拾取裝置OPU可移動(dòng)地裝設(shè)于第2檢查工 具140的各支承棒1405a、 1405b上時(shí)，光拾取裝置OPU被以與 水平面H平行的狀態(tài)裝設(shè)于第2檢查工具140上。光圏142、光 傳感器144以及光拾取裝置OPU被配設(shè)為分別與水平面H平 行。另外，以水平面H為基準(zhǔn)，光圏142位于大致高度h3的位 置，光傳感器144位于大致高度hl的位置，光拾取裝置OPU位 于大致高度h2的位置。另外，根據(jù)"h2<h3<hl"的關(guān)系， 朝向圖2、圖3中所示的Z軸的正方向地按照光拾取裝置OPU、 光圏142、光傳感器144的順序進(jìn)行配置。光圈的位置調(diào)整使用圖3 圖7說明光圈142的位置調(diào)整。另外，圖4所示的 X-Y-Z坐標(biāo)與圖2、圖3所示的X-Y-Z坐標(biāo)相對應(yīng)。光圏142的位置調(diào)整是為了確認(rèn)通過針孔143的來自物鏡 OBL的會(huì)聚光束的一部分(投影圖像302 )的光量是否與物鏡 OBL沿聚焦方向的移動(dòng)量相對應(yīng)地發(fā)生變化而進(jìn)行的初期調(diào) 整。首先，像圖3所示的第2檢查工具140的狀態(tài)那樣，自第2 檢查工具140上拆下光傳感器144,通過目測確認(rèn)將光圏142的位置調(diào)整為針孔143的中心與物鏡OBL的光軸L相一致。接著，通過用膠帶等將紙固定在拆下了光傳感器144后的 位置處等方法來裝設(shè)用于顯示投影圖像302的透射屏300。然 后，使光拾取裝置OPU的激光光源例如以lmW左右發(fā)光，調(diào)整 針孔位置，使顯示于透射屏300上的投射圖像302成為大致圓 形。接著，通過調(diào)整設(shè)于第1檢查工具110上的移動(dòng)電位器 (shift volume)(未圖示)而使聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV為正的 上限值(本實(shí)施方式情況下例如為+ 2V),使包括物鏡OBL的 驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30靠近透射屏300 (沿圖4中所示的Z軸的 正方向)地進(jìn)行移動(dòng)。然后，使物鏡OBL停止在最靠近透射屏 300的OBL最上位置M1 (第l位置，參照圖5)。此時(shí)，通過調(diào) 整側(cè)板14 0 4的位置來調(diào)整從光圏14 2到位于O B L最上位置M1 的物鏡OBL的距離Tl,從而使投影圖像302為最大。另外，在 投影圖像302的圓形走樣時(shí)，再次調(diào)整光圈142的位置。接著，通過調(diào)整設(shè)于第1檢查工具110上的移動(dòng)電位器(未 圖示)而使聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV從正的上限值(本實(shí)施方式情 況下例如為+ 2V)逐漸下降到負(fù)的下限值(本實(shí)施方式情況下 例如為-2V)，從而使包括物鏡OBL的驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30 漸漸遠(yuǎn)離透射屏300 (沿圖4中所示的Z軸的負(fù)方向)地進(jìn)行移 動(dòng)。即，使物鏡OBL自O(shè)BL最上位置M1朝向距透射屏300最遠(yuǎn) 的OBL最下位置M2 (第2位置，參照圖5)移動(dòng)。另外，OBL 最下位置M2是從光圈142到物鏡OBL的距離為T2的位置。此 時(shí)，目視確認(rèn)到投影圖像3 0 2與物鏡O B L的移動(dòng)量相對應(yīng)地逐 漸變小。若在該途中投影圖像302變大，則通過調(diào)整側(cè)板1404 的位置再次調(diào)整從光圈14 2到物鏡O B L的距離T1 。但是，在第2檢查工具140上未設(shè)置光圈142的情況下，由于來自物鏡OBL的會(huì)聚光束全部入射到光傳感器144上，因此， 光傳感器144的受光電流PDOUT自身不發(fā)生變化。但是，在設(shè) 置了光圏142的情況下，光傳感器144上的照度(每單位面積的 光量)會(huì)因光傳感器144與聚焦點(diǎn)FP之間的距離而發(fā)生變化。 詳細(xì)地講，照度(每單位面積的光束)會(huì)因光傳感器144與聚 焦點(diǎn)FP之間的距離而發(fā)生變化。通過設(shè)置光圏142而自恒定面 積的針孔14 3中抽出光束，能夠使受光電流P D O U T因光傳感器 144與聚焦點(diǎn)FP之間的距離而發(fā)生變化。例如，如圖6所示，在設(shè)聚焦點(diǎn)為聚焦點(diǎn)最上位置N1時(shí)的 光圈142上的照射圖像的半徑為rl、設(shè)聚焦點(diǎn)為聚焦點(diǎn)最下位 置N2時(shí)的光圏142上的照射圖像的半徑為r2、設(shè)亮度(出射光 量)為P時(shí)，聚焦點(diǎn)為聚焦點(diǎn)最上位置N1時(shí)的光圈142上的照 度L1以式(l)表示，聚焦點(diǎn)為聚焦點(diǎn)最下位置N2時(shí)的光圏142 上的照度L2以式(2)表示。另外，照度L2與照度L1之比(= L2/L1)利用式(1)、 (2)以式(3)表示。El = P/ n rl2 ... ( 1 )L2 = P/n r22 …(2)L2 / Ll = r12/ r22 …(3 )另外，半徑r2與半徑rl之比(=r2/rl)相當(dāng)于從聚焦點(diǎn) 最下位置N2到光圈142的距離P2與從聚焦點(diǎn)最上位置Nl到光 圏142的距離P1之比(=P2/P1)。因而，式(3)可以如式(4) 那樣地變形。L2/ El = P12/ P22 …(4)但是，在使用光圏142抽出會(huì)聚光束的一部分而使其入射 到光傳感器144上時(shí)，光傳感器144輸出與光圈142上的照度成 正比的受光電流PDOUT。因此，根據(jù)式(4)可知，受光電流 PDOUT與光圈142同聚焦點(diǎn)FP之間的距離Pl / P2的平方成反比地變化。例如，在光圈142與聚焦點(diǎn)FP之間的距離P1較短的 情況下，受光電流PDOUT變大，在光圈142與聚焦點(diǎn)FP之間的 距離P2較長時(shí)，受光電流PDOUT變小。但是，也要留意與針孔143的直徑之間的關(guān)系。針孔143 的直徑需要設(shè)定為在驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的移動(dòng)范圍內(nèi)小 于光圈142上的照射圖像的面積、且可供更多的會(huì)聚光束通過。 在針孔143的直徑過小時(shí)，受光電流PDOUT有可能小到難以檢 測的程度。另一方面，在激光的聚焦點(diǎn)FP處于聚焦點(diǎn)最上位置 Nl時(shí)，若與欲透過光圈142的針孔143的放大光的直徑相比針 孔143的直徑過大時(shí)，即使激光的聚焦點(diǎn)FP在聚焦點(diǎn)最上位置 Nl與聚焦點(diǎn)最下位置N2之間移動(dòng)，也不會(huì)引起映射到透射屏 300上的投影圖像302的大小變化。因此，難以確認(rèn)受光電流 PDOUT因物鏡OBL的位置變化而變化。因而，針孔143的直徑 根據(jù)驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30沿聚焦方向的移動(dòng)范圍、光圈142 的安裝位置、物鏡OBL的數(shù)值孔徑(NA : Numerical Aperture )、透鏡直徑等參數(shù)來決定。在結(jié)束光圈142的位置調(diào)整時(shí)，卸下透射屏300，將光傳感 器144再次安裝到第2檢查工具140上。然后，調(diào)整第l檢查工具 110所具有的振蕩電位器和移動(dòng)電位器(均未圖示)，生成正弦 波的聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV。另外，例如利用振蕩電位器設(shè)定正 弦波的振幅，利用移動(dòng)電位器等設(shè)定振幅的正弦波的峰間值， 利用移動(dòng)電位器設(shè)定正弦波的上限值和下限值。此時(shí)，如圖7所示，目視確認(rèn)到在示波器160的顯示畫面161 中自1/V放大器150輸出的傳感器輸出電壓LDP的波形成為追 隨(同相位、同振幅)聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV的正弦波的時(shí)間變 化那樣的波形。若傳感器輸出電壓LDP的波形未成為追隨聚焦 線圈驅(qū)動(dòng)電壓F V的正弦波的時(shí)間變化的波形，則再次調(diào)整光圈142的位置。 檢查方法使用圖8、圖9說明物鏡驅(qū)動(dòng)裝置1進(jìn)行調(diào)焦控制時(shí)的動(dòng)作 狀況的檢查方法。結(jié)束光圈142的位置調(diào)整之后，調(diào)整第1檢查工具110所具 有的振蕩電位器和移動(dòng)電位器(均未圖示)，使聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電 壓FV為正弦波(在本實(shí)施方式的情況下，例如是上限值+ 1V~ 下限值-2.2V的波形)。于是，目視確認(rèn)到在示波器160的顯示 畫面161中表現(xiàn)出聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV與傳感器輸出電壓 LDP的對應(yīng)關(guān)系的波形顯示。圖8A及圖8B是在同 一 時(shí)間軸上并列顯示聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電 壓FV的波形與傳感器輸出電壓LDP的波形的情況下的示波器 160的畫面顯示例?？v軸(Y軸)為表示電壓的軸，橫軸(X軸) 為表示時(shí)間的軸。另外，圖8A是表示驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30 沿聚焦方向的移動(dòng)正常的情況(OK ( okay )品的情況)下的 波形例的圖，圖8B是表示驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30沿聚焦方向的 移動(dòng)不正常的情況(NG(nogood)品的情況)下的波形例的 圖。對比圖8A和圖8B可知，在不正常的情況下，傳感器輸出電 壓LDP相對于聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV的上升產(chǎn)生延遲，另外，在 傳感器輸出電壓LDP上升時(shí)例如產(chǎn)生振動(dòng)。由此，可判斷出其 原因在于，在圖8B的情況下，在與驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背 面30a相面對的、基臺10的大致中央下降一段的表面10a上附著 有具有粘接性的異物，在欲使驅(qū)動(dòng)器A C T的主體部3 0向使驅(qū)動(dòng) 器ACT的主體部30的背面30a遠(yuǎn)離基臺IO的大致中央下降一段 的表面10a的方向移動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30因上述具有 粘接性的異物而無法順暢地移動(dòng)(控制響應(yīng)為非線形)。圖9A及圖9B是將聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV的波形與傳感器輸出電壓LDP的波形顯示為李沙育波形的情況下的示波器160的畫面顯示例。縱軸(Y軸)為傳感器輸出電壓LDP,橫軸(X軸)為聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV。另外，圖9A是表示驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30沿聚焦方向的移動(dòng)正常的情況下的波形例的放大圖，圖9B是表示驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30沿聚焦方向的移動(dòng)不正常的情況下的波形例的放大圖。與圖8所示的時(shí)間變化的波形相比，李沙育波形能用 一 個(gè)波形表現(xiàn)聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓F V的波形和傳感器輸出電壓LDP的波形，具有聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV與傳感器輸出電壓LDP的對比容易這樣的優(yōu)點(diǎn)。
在圖9 A所示的正常的情況下可知，使聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV從下限值朝向上限值上升時(shí)聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV的變化、與使傳感器輸出電壓LDP從下限值朝向上限值上升時(shí)傳感器輸出電壓LDP的變化大致一致。另一方面，在圖9B所示的不正常的情況下可知，使聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV從下限值朝向上限值上升時(shí)聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV的變化、與使傳感器輸出電壓LDP從下限值朝向上限值上升時(shí)傳感器輸出電壓L D P的變化不一致。
另外，在產(chǎn)生圖9B所示的狀態(tài)的情況下可知，使聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV從下限值朝向上限值上升時(shí)，傳感器輸出電壓LDP在上升時(shí)產(chǎn)生延遲，另外，在上升之后例如產(chǎn)生振動(dòng)。由此，可判斷出其原因在于，在圖9B的情況下，驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30因上述具有粘接性的異物而無法順暢地移動(dòng)(控制響應(yīng)為非線形)。
這樣，通過使用物鏡驅(qū)動(dòng)裝置1的檢查裝置W執(zhí)行物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l的檢查方法，能夠檢查物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l使物鏡OBL沿聚焦方向的移動(dòng)。
19以上，上述發(fā)明的實(shí)施方式是用于使本發(fā)明更容易理解的說明，并不是用于限定本發(fā)明的說明。本發(fā)明可以不脫離其主旨地進(jìn)行變更、改良，所獲得的等效發(fā)明也包含在本發(fā)明中。
例如，作為基于由光傳感器144等光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡驅(qū)動(dòng)裝置l的信號檢查裝置，雖然例示了示波器160,但也可以使用除示波器160之外的其他裝置作為信號檢查裝置。
另外，例如在使聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV變化時(shí)，也可以使聚
值之間的規(guī)定值。即使是這樣的構(gòu)造，由于驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30也能下降至OBL最下位置M2，因此，通過將聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV和傳感器輸出電壓LDP顯示于顯示畫面161中，能確認(rèn)在驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背面30a與基臺IO的大致中央下降 一 段的表面10 a之間是否混入有具有粘接性的異物。
另外，在驅(qū)動(dòng)器ACT的主體部30的背面30a與基臺IO的大致中央下降 一 段的表面10 a之間混入有垃圾等異物的情況下，通過將聚焦線圏驅(qū)動(dòng)電壓FV和傳感器輸出電壓LDP顯示于顯示畫面161中，能檢測其內(nèi)容。具體地講，在使聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電壓FV從上限值朝向下限值下降時(shí)，能根據(jù)傳感器輸出電壓L D P未完全下降至規(guī)定的下限值的波形顯示進(jìn)行檢測。
本申請是以2008年2月20日申請的日本特許出愿、特愿2008—039330和2008年11月7日申i青的日本斗爭i午出愿、斗爭愿2008—286576要求優(yōu)先權(quán)的，并將其內(nèi)容引用于本申請。
權(quán)利要求
1. 一種物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法，該物鏡驅(qū)動(dòng)裝置包括基臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡的保持架、驅(qū)動(dòng)上述保持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，該檢查方法包括通過上述物鏡出射激光的工序；使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圈的工序；對上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)施加用于使上述保持架在最靠近上述基臺表面的第1位置與比上述第1位置距上述基臺表面遠(yuǎn)的第2位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓的工序；對通過了上述光圈的上述激光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換的工序；基于上述光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的工序。
2. —種物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法，該物鏡驅(qū)動(dòng)裝置包括基 臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡的保持架、驅(qū)動(dòng)上述保 持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，該才全查方法包4舌 通過上述物鏡出射激光的工序；使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圈的工序；對上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)施加用于使上述保持架在最靠近上述基臺 表面的第l位置與比上述第l位置距上述基臺表面遠(yuǎn)的第2位置 之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓的工序；對通過了上述光圏的上述激光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換的工序； 將上述驅(qū)動(dòng)電壓的波形和上述光電轉(zhuǎn)換后的波形顯示于顯 示畫面的工序。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法，其中， 上述驅(qū)動(dòng)電壓的波形和上述光電轉(zhuǎn)換后的波形在同 一 時(shí)間軸上并列顯示。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法，其中， 上述驅(qū)動(dòng)電壓的波形和上述光電轉(zhuǎn)換后的波形顯示為李沙育波形。
5. —種物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查裝置，其中， 該裝置包括驅(qū)動(dòng)電壓生成器，其對用于驅(qū)動(dòng)在基臺上保持物鏡的保持 架而使該物鏡沿聚焦方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，生成用于使該保持 架在最靠近該基臺表面的第l位置與比該第l位置距該基臺表 面遠(yuǎn)的第2位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓；規(guī)定直徑的光圈，其供通過上述物鏡出射的激光通過； 傳感器，其對通過了上述光圈的上述激光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換； 信號檢查裝置，其基于上述光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡 驅(qū)動(dòng)裝置。
6. —種物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查裝置，其中， 該裝置包括驅(qū)動(dòng)電壓生成器，其對用于驅(qū)動(dòng)在基臺上保持物鏡的保持 架而使該物鏡沿聚焦方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，生成用于使該保持 架在最靠近該基臺表面的第l位置與比該第l位置距該基臺表 面遠(yuǎn)的第2位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓；規(guī)定直徑的光圈，其供通過上述物鏡出射的激光通過； 傳感器，其對通過了上述光圏的上述激光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換； 波形顯示器，其將上述驅(qū)動(dòng)電壓的波形和由上述傳感器光 電轉(zhuǎn)換后的波形顯示于顯示畫面中。
全文摘要
本發(fā)明提供物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的檢查方法、檢查裝置。該物鏡驅(qū)動(dòng)裝置包括基臺、物鏡、在上述基臺上保持上述物鏡的保持架、驅(qū)動(dòng)上述保持架而使上述物鏡沿聚焦方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，該檢查方法包括通過上述物鏡出射激光的工序；使通過上述物鏡出射的上述激光通過規(guī)定直徑的光圈的工序；對上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)施加用于使上述保持架在最靠近上述基臺表面的第1位置與比上述第1位置距上述基臺表面遠(yuǎn)的第2位置之間移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓的工序；對通過了上述光圈的上述激光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換的工序；基于上述光電轉(zhuǎn)換后的信號來檢查物鏡驅(qū)動(dòng)裝置的工序。
文檔編號G11B7/09GK101521026SQ200910005358
公開日2009年9月2日 申請日期2009年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月20日
發(fā)明者中根吉丸, 吉田博, 坂爪雅晴, 塚田真也, 村岡保宏 申請人:三洋電機(jī)株式會(huì)社