專利名稱：驅(qū)動裝置和記錄/重放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及，例如，用于對諸如介質(zhì)這樣的被驅(qū)動對象進行驅(qū)動 的驅(qū)動裝置；以及在利用這種驅(qū)動裝置來驅(qū)動記錄介質(zhì)的同時，用于
相對于記錄介質(zhì)對信息進行記錄和重放的記錄/重放裝置。
背景技術(shù)：
例如，已經(jīng)開發(fā)了這樣一種探針存儲器，該探針存儲器通過將記 錄介質(zhì)相對于包括有多個探針的探針陣列，沿著記錄介質(zhì)的記錄表面 移位，來利用多個探針的每一個將數(shù)據(jù)記錄到記錄介質(zhì)上或者對記錄 在記錄介質(zhì)上的數(shù)據(jù)進行重放。
作為這種探針存儲器，例如，如專利文獻1中所公開的，以下探
針存儲器可以被列為一個特定組成示例探針存儲器，在該探針存儲 器中，第一襯底、第二襯底、以及第三襯底通過間隔物連接，其中， 第一襯底提供有多個探針單元，第二襯底提供有移動側(cè)(mover-side) 電極和彈性部件，該彈性部件通過除去提供有記錄膜的中心部分與位 于中心部分四周的周圍的部分之間的襯底的部分而形成，并且第三襯 底提供有定子側(cè)電極。在該探針存儲器中，通過在定子側(cè)電極與移動 側(cè)電極之間施加電壓來對提供有記錄膜的第二襯底的中心部分進行驅(qū) 動(即移位)，由此使用彈性部件。
專利文獻l:日本專利申請?zhí)亻_NO.平10 — 4059
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的主題
然而，上述探針存儲器不具有用于支撐下述記錄膜的結(jié)構(gòu)，該記錄膜是由作用在襯底的疊層方向(即與水平面正交或垂直的方向)上 的力所驅(qū)動的被驅(qū)動部件。作為被驅(qū)動部件的記錄膜是由作用在與襯 底的疊層方向相交的方向(即與水平面相平行的方向)上的彈性部件 的力來支撐的；也就是說，將作為被驅(qū)動部件的記錄膜構(gòu)造成使其象 在襯底的疊層方向上的空中浮動一樣。因此，存在以下技術(shù)問題，艮P， 可能無意地在襯底的疊層方向上，改變作為被驅(qū)動部件的記錄膜的位 置。換言之，存在下述技術(shù)問題，即，即使嘗試在與水平面相平行的 方向上對被驅(qū)動部件驅(qū)動期望的量，該驅(qū)動所引起的彈性部件的偏斜、 畸變等等仍可能會無意地引起在與水平面相垂直方向上，改變被驅(qū)動
部件的位置。該技術(shù)問題會導致諸如MEMS (微電機械系統(tǒng))這樣的
必須以毫米、微米、或者納米為單元對被驅(qū)動部件進行驅(qū)動的微器件 的精確度下降，并且這不是優(yōu)選的。
考慮到上述問題，因此本發(fā)明的目的在于，例如，提供一種可對 被驅(qū)動部件進行優(yōu)選地驅(qū)動的驅(qū)動裝置以及具有這種驅(qū)動裝置的記錄/ 重放裝置。
解決該主題的方式
本發(fā)明的上述目的可以由根據(jù)權(quán)利要求1的驅(qū)動裝置來實現(xiàn)，該
驅(qū)動裝置提供有固定部件，該固定部件具有固定部件平面；以及被
驅(qū)動部件，該被驅(qū)動部件具有被驅(qū)動部件平面并且在與固定部件平面
基本上平行的方向上被驅(qū)動，該被驅(qū)動部件平面與固定部件平面相對； 液體潤滑劑，該液體潤滑劑在固定部件平面與被驅(qū)動部件平面之間， 被驅(qū)動部件平面與固定部件平面相對，使得被驅(qū)動部件平面與固定部 件平面基本上平行。
本發(fā)明的上述目的可以由根據(jù)權(quán)利要求11的記錄/重放裝置實現(xiàn)， 該記錄/重放裝置提供有固定部件，該固定部件具有固定部件平面；
以及被驅(qū)動部件，該被驅(qū)動部件具有被驅(qū)動部件平面并且在與固定部 件平面基本上平行的方向上被驅(qū)動，該被驅(qū)動部件平面與固定部件平
5面相對；液體潤滑劑，該液體潤滑劑在固定部件平面與被驅(qū)動部件平 面之間；被驅(qū)動部件平面與固定部件平面相對，使得被驅(qū)動部件平面 與固定部件平面基本上平行，被驅(qū)動部件配備有記錄介質(zhì)，固定部件 配備有一個或多個記錄/重放器件。
根據(jù)以下所說明的實施例，本發(fā)明的操作及其他優(yōu)點將更加明顯。


圖1是從概念上示出了第一示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖2是從概念上示出了當為第一示例中的驅(qū)動裝置提供的被驅(qū)動 部件被移位時的方面的橫截面視圖。
圖3是從概念上示出了第二示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖4是從概念上示出了當在Z方向上觀察第二示例中的驅(qū)動裝置 時的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖5是從概念上示出了第三示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖6是從概念上示出了第四示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖7是從概念上示出了第五示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖8是從概念上示出了第六示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖9是從概念上示出了第七示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖IO是從概念上示出了第八示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
圖ll是從概念上示出了第九示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖12是從概念上示出了示例中的記錄/重放裝置的第一結(jié)構(gòu)的橫 截面視圖。
圖13是從概念上示出了示例中的記錄/重放裝置的第二結(jié)構(gòu)的橫 截面視圖。
圖14是從概念上示出了第一示例中的驅(qū)動裝置的制造處理的橫截 面視圖。
對參考代碼的描述 1驅(qū)動裝置 11外殼
12固定部件平面
13被驅(qū)動部件
14被驅(qū)動部件平面
15致動器
16參考部件
30潤滑劑
41探針頭
42探針
50致動器
100， 101記錄/重放裝置
200被驅(qū)動對象
201記錄介質(zhì)
300 SOI襯底
301， 303硅層
302 二氧化硅層
具體實施例方式
在下文中，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置和記錄/重放裝置的實施例進行說 明，作為用于執(zhí)行本發(fā)明的最佳方式。(驅(qū)動裝置的實施例) 本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例是這樣的驅(qū)動裝置，該驅(qū)動裝置提供 有固定部件，該固定部件具有固定部件平面；以及被驅(qū)動部件，該 被驅(qū)動部件具有被驅(qū)動部件平面并且在與固定部件平面基本上平行的 方向上被驅(qū)動，該被驅(qū)動部件平面與固定部件平面相對，在固定部件 平面與被驅(qū)動部件平面之間有液體潤滑劑，被驅(qū)動部件平面與固定部 件平面相對使得被驅(qū)動部件平面與固定部件平面基本上平行。
根據(jù)本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例，其提供有固定部件和被驅(qū)動部 件，所述被驅(qū)動部件相對于固定部件而被驅(qū)動(即被移位)。該固定 部件具有固定部件平面，并且被驅(qū)動部件具有被驅(qū)動部件平面。換言 之，固定部件和被驅(qū)動部件各自具有處于相互相對位置的平面。換言 之，將固定部件和被驅(qū)動部件構(gòu)造成使得相互相對的部分是平面的。 順便說一下，該實施例中的"平面"廣泛地包括實際上的純平面和以下表 面，其中，所述表面總體上被認為是平面，即使該表面是不平坦的、
或具有孔等等。此外，固定部件平面和被驅(qū)動部件平面的每一個具有 不同高度的多個平面?？傊瑑H僅需要在這些部分中，固定部件與被 驅(qū)動部件相對的部分的形狀是平面的。此后，例如通過致動器等等的 作用，在與固定部件平面基本上平行的方向上對被驅(qū)動部件進行驅(qū)動。
具體地，在該實施例中，液體潤滑劑存在于固定部件與被驅(qū)動部 件之間的空間；也就是說，通過液體潤滑劑，在與固定部件平面的法 線基本上平行的方向(換句話說，在與對驅(qū)動器件進行驅(qū)動的方向相 交或者基本上垂直的方向)上，固定部件平面與被驅(qū)動部件平面相對。 此時，固定部件平面與被驅(qū)動部件平面之間的空間的全部或者一部分 填充有液體潤滑劑。因為液體潤滑劑存在于固定部件平面與被驅(qū)動部 件平面之間，因此被驅(qū)動部件平面與固定部件平面相對，使得被驅(qū)動 部件平面與固定部件平面基本上平行。
這使得可以優(yōu)選地在與固定部件平面基本上平行的方向上對被驅(qū)
8動部件進行驅(qū)動。此外，因為液體潤滑劑允許被驅(qū)動部件平面與固定 部件平面之間的距離幾乎保持恒定、基本上恒定、或者總是恒定，因 此使得可以優(yōu)選地防止在與固定部件平面基本上正交的方向上，被驅(qū) 動部件的位置發(fā)生變化這樣的缺點。
另外，液體潤滑劑允許相對于固定部件以所謂表面形狀的形式來 支撐被驅(qū)動部件。因此，即使被驅(qū)動部件變薄了，液體潤滑劑也允許 被驅(qū)動部件保持平面度、強度等等。這使得可以相對降低被驅(qū)動部件 的大小或者厚度。被驅(qū)動部件的大小或者厚度相對降低的結(jié)構(gòu)在諸如
MEMS這樣的微領(lǐng)域(micro domain)中是非常有利的。
此外，因為可相對地降低被驅(qū)動部件的大小或者厚度，因此即使 對被驅(qū)動部件進行驅(qū)動所需要的驅(qū)動力降低了，也可優(yōu)選地對被驅(qū)動 部件進行驅(qū)動；也就是說，可相對地降低驅(qū)動力來對被驅(qū)動部件進行 驅(qū)動。這就允許實現(xiàn)簡單化和小型化的下述致動器，其中，所述致動 器提供所需的驅(qū)動力以對被驅(qū)動部件進行驅(qū)動。上述簡單化和小型化 的結(jié)構(gòu)在諸如MEMS這樣的微器件中是非常有利的。
如上所述，根據(jù)該實施例中的驅(qū)動裝置的實施例，可優(yōu)選地對被 驅(qū)動部件進行驅(qū)動。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的一個方面中，在(i)被驅(qū)動部件 平面在與被驅(qū)動部件平面相交的方向上從潤滑劑接受到的表面張力、 (ii)被驅(qū)動部件平面在與被驅(qū)動部件平面相交的方向上從潤滑劑接受 到的排斥力、以及(iii)被驅(qū)動部件平面在與被驅(qū)動部件平面相交的方 向上從除了潤滑劑之外的元件接受到的力之間存在平衡。
根據(jù)這個方面，與放置驅(qū)動裝置的方向或者方面無關(guān)，液體潤滑 劑允許被驅(qū)動部件平面與固定部件平面之間的距離保持幾乎恒定、基 本上恒定、或者總是恒定。因此，可以優(yōu)選地防止在與固定部件平面基本上正交的方向上，被驅(qū)動部件的位置發(fā)生變化這樣的缺點。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，相對于被驅(qū)動部件 平面周圍中的被驅(qū)動部件的表面，被驅(qū)動部件平面形成凹陷。
根據(jù)該方面，可相對地降低被驅(qū)動部件的大小或者厚度。即使被 驅(qū)動部件的大小或者厚度降低了，液體潤滑劑也允許被驅(qū)動部件保持 平面度、強度等等。
此外，如果為形成了凹陷的部分(即被驅(qū)動部件平面)提供了液 體潤滑劑，那么可以相對地提高為除了形成了凹陷的部分之外的部分
設計的自由度。更具體地說，在不需要考慮液體潤滑劑的情況下，可 確定除了形成了凹陷的部分之外的部分的大小、形狀等等。
順便說一下，本發(fā)明中的"凹陷"表示與另一部分相比相對薄的部 分(更具體地說，其在與固定部件平面基本上正交的方向上相對很薄)。 換句話說，該方面表示提供有液體潤滑劑的被驅(qū)動部件平面的厚度比 除了被驅(qū)動部件平面之外的部分的厚度更小。同時，該凹陷具有任意 形狀。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，相對于被驅(qū)動部件 平面周圍中的被驅(qū)動部件的表面，被驅(qū)動部件平面形成凸起。
根據(jù)這個方面，如果為形成了凸起的部分(即被驅(qū)動部件平面) 提供了液體潤滑劑，那么可以相對地提高為除了形成了該凸起的部分 之外的部分設計的自由度。更具體地說，在不需要考慮液體潤滑劑的 情況下，可以確定除了形成了該凸起的部分之外的部分的大小、形狀
順便說一下，本發(fā)明中的"凸起"表示與另一部分相比相對厚的部分(更具體地說，其在與固定部件平面基本上正交的方向上相對很厚)。 換句話說，該方面表示提供有液體潤滑劑的被驅(qū)動部件平面的厚度比 除了被驅(qū)動部件平面之外的部分的厚度更大。同時，該凸起具有任意 形狀。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，相對于固定部件平 面周圍中的固定部件的表面，固定部件平面形成凹陷。
根據(jù)這個方面，可相對降低固定部件的大小或者厚度。即使相對 降低了固定部件的大小或者厚度，液體潤滑劑也允許固定部件保持平 面度、強度等等，因此不會出現(xiàn)缺點。
此外，如果為形成了凹陷的部分(即固定部件平面)提供了液體 潤滑劑，那么可相對地提高為除了形成了凹陷的部分之外的部分設計 的自由度。更具體地說，在不需要考慮液體潤滑劑的情況下，可確定 除了形成了凹陷的部分之外的部分的大小、形狀等等。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，相對于固定部件平 面周圍中的固定部件的表面，固定部件平面形成凸起。
根據(jù)這個方面，如果為形成了凸起的部分(即固定部件平面)提 供了液體潤滑劑，那么可相對地提高為除了形成了該凸起的部分之外 的部分設計的自由度。更具體地說，在不需要考慮液體潤滑劑的情況 下，可確定除了形成了該凸起的部分之外的部分的大小、形狀等等。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，相對于被驅(qū)動部件 平面周圍中的被驅(qū)動部件的表面，被驅(qū)動部件平面形成凹陷，并且相 對于固定部件平面周圍的固定部件的表面，固定部件平面形成與該凹 陷相對應的凸起。
11根據(jù)這個方面，將形成了凹陷的被驅(qū)動部件平面裝配在形成了凸 起的固定部件平面中。因此，可優(yōu)選地在被驅(qū)動部件平面與固定部件 平面之間的空間填充液體潤滑劑，并且可優(yōu)選地防止液體潤滑劑的無 意流出。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，相對于被驅(qū)動部件 平面周圍中的被驅(qū)動部件的表面，被驅(qū)動部件平面形成凸起，并且相 對于固定部件平面周圍中的固定部件的表面，固定部件平面形成與該 凸起相對應的凹陷。
根據(jù)這個方面，將形成了凸起的被驅(qū)動部件平面裝配在形成了凹 陷的固定部件平面中。因此，可優(yōu)選地在被驅(qū)動部件平面與固定部件 平面之間的空間填充液體潤滑劑，并且可優(yōu)選地防止液體潤滑劑的無 意流出。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，在與固定部件平面 基本上正交的方向上進一步提供有用于對固定部件進行驅(qū)動的驅(qū)動機 構(gòu)。
根據(jù)這個方面，可在與固定部件平面基本上平行的方向上以平面 方式對被驅(qū)動部件平面進行驅(qū)動，并且在與固定部件平面基本上正交 的方向上對固定部件進行驅(qū)動。其結(jié)果是，可對被驅(qū)動部件平面進行 所謂三維地驅(qū)動。
在對被驅(qū)動部件平面進行三維驅(qū)動的同時，液體潤滑劑可得到上 述各種有利效果。
在本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例的另一方面中，固定部件和被驅(qū)動 部件中的每一個是由相同的襯底形成的。根據(jù)這個方面，因為固定部件和被驅(qū)動部件中的每一個是由相同 的襯底形成的，因此可以以低成本制造驅(qū)動裝置。
(記錄/重放裝置的實施例) 本發(fā)明的記錄/重放裝置的實施例是這樣的記錄/重放裝置，該記錄 /重放裝置提供有固定部件，該固定部件具有固定部件平面；以及被 驅(qū)動部件，該被驅(qū)動部件具有被驅(qū)動部件平面，并且在與固定部件平 面基本上平行的方向上被驅(qū)動，該被驅(qū)動部件平面與固定部件平面相 對，液體潤滑劑在固定部件平面與被驅(qū)動部件平面之間，被驅(qū)動部件 平面與固定部件平面相對使得被驅(qū)動部件平面與固定部件平面基本上 平行，該被驅(qū)動部件配備有記錄介質(zhì)，該固定部件配備有一個或多個 記錄/重放器件。
根據(jù)本發(fā)明的記錄/重放裝置的實施例，將為被驅(qū)動部件配備的記 錄介質(zhì)在與固定部件平面基本上平行的方向上移位。為固定部件配備 的記錄/重放器件允許相對于記錄介質(zhì)進行信息記錄/重放。因此，可相 對于記錄介質(zhì)對信息進行記錄和重放，同時可得到本發(fā)明的驅(qū)動裝置 的上述實施例的各種益處。
順便說一下，可直接或者間接地通過記錄/重放器件與固定部件之 間的一些構(gòu)件等等為固定部件配備一個或多個記錄/重放器件。
順便說一下，響應于本發(fā)明的驅(qū)動裝置的上述實施例的多個方面， 本發(fā)明的記錄/重放裝置的實施例也可采用該多個方面。
通過下面所說明的示例，本發(fā)明的操作及其他優(yōu)點將變得更加明顯。
如上所說明的，根據(jù)本發(fā)明的驅(qū)動裝置的實施例，提供有具有固 定部件平面的固定部件和具有被驅(qū)動部件平面的被驅(qū)動部件，液體潤
13滑劑在固定部件平面與被驅(qū)動部件平面之間。因此，可優(yōu)選地對被驅(qū) 動部件進行驅(qū)動。
示例
在下文中，根據(jù)附圖對本發(fā)明的示例進行說明。 (1)第一示例
首先，參考圖1和圖2，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第一示例進行說明。 圖1是從概念上示出了第一示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。 圖2是從概念上示出了當為第一示例中的驅(qū)動裝置而提供的被驅(qū)動部 件被移位時的方面的橫截面視圖。
如圖1所示，第一示例中的驅(qū)動裝置1提供有內(nèi)部具有固定部件 平面12的盒狀的外殼11。該外殼11具有，例如為毫米、微米、或者 納米級別的尺寸；也就是說，第一示例中的驅(qū)動裝置1與諸如MEMS 的微器件相對應。
該外殼11提供有被驅(qū)動部件13，該被驅(qū)動部件13具有與固定部 件平面12相對的被驅(qū)動部件平面14，該被驅(qū)動部件平面14在與固定 部件平面12相對的被驅(qū)動部件13內(nèi)部中的位置處。
被驅(qū)動部件13通過致動器15與連到外殼11的參考部件16連接。 致動器15使被驅(qū)動部件13在與固定部件平面12基本上平行的方向(具 體地說圖1中的X方向和Y方向)上移位(即驅(qū)動)。此時，參考部 件16指示當被驅(qū)動部件13移位時的位置的參考。致動器15可以使用 諸如靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、以及機械驅(qū)動的多種驅(qū)動方法來使被驅(qū)動 部件13移位。順便說一下，例如，將諸如隨后所述的記錄介質(zhì)的被驅(qū) 動對象200安裝在被驅(qū)動部件13的臺架(stage)上。
具體地，在第一示例中，固定部件平面12與被驅(qū)動部件平面14之間的空間填充有液體潤滑劑30使得固定部件平面12與被驅(qū)動部件 平面14基本上平行。優(yōu)選地，液體潤滑劑30具有潤滑性和相對高的 表面張力。然而，即使不具有這種性質(zhì)，具有潤滑性，并且也可將具
有較低表面張力的任何液體或凝膠用作潤滑劑30，或者，可將不具有 潤滑性并且具有相對高表面張力的任何液體或凝膠用作潤滑劑30。可 選地，可以將具有其他性質(zhì)的多種類型液體和凝膠用作潤滑劑30。在 第一示例中，例如，可使用Fomblin作為液體潤滑劑30。當然，很顯 然的是除了 Fomblin之外的液體或凝膠也可用作潤滑劑30。
如上所述，因為固定部件平面12與被驅(qū)動部件平面14之間的空 間填充有液體潤滑劑30，因此可以優(yōu)選地將被驅(qū)動部件13在與固定部 件平面12基本上平行的方向上移位，同時固定部件平面12和被驅(qū)動 部件平面14基本上保持平行。
具體地說，如圖2所示，在固定部件平面12和被驅(qū)動部件平面14 基本上保持平行的同時，可使被驅(qū)動部件13移位到圖2中的左側(cè)(即 在X方向上)。當然，很顯然的是在固定部件平面12和被驅(qū)動部件平 面14基本上保持平行的同時，可使被驅(qū)動部件13移位到圖2中的右 側(cè)(即在X方向上)、移位到前側(cè)(即在Y方向上)、和移位到后側(cè) (即在Y方向上)。
此外，在不需要將被驅(qū)動部件13所謂的浮在空中的情況下，潤滑 劑30允許固定部件平面12與被驅(qū)動部件平面14之間的距離保持幾乎 恒定、基本上恒定、或者總是恒定。因此，可優(yōu)選地防止在與固定部 件平面12和被驅(qū)動部件平面14基本上正交的方向(即圖1中的垂直 并且必要時以下簡稱為"Z方向")上，被驅(qū)動部件13的位置無意地改 變這樣的缺點。此外，潤滑劑30的彎月面力(meniscus force)可優(yōu)選 地防止被驅(qū)動部件13從外殼11浮起(即在被驅(qū)動部件平面14與固定 部件平面12之間產(chǎn)生除了潤滑劑30之外的間隙)這樣的缺點。順便說一下，在第一示例中，下列等式成立
Fa (z) + Fr (z) + Ksz + mgcos 6 + macos 0 = 0，
其中Fa (z)是通過潤滑劑30的表面張力而施加于被驅(qū)動部件13 上的吸引力的Z方向分量，F(xiàn)r (z)是通過潤滑劑30而施加于被驅(qū)動部 件13上的排斥力的Z方向分量，Ksz是在如果致動器15被認為是交叉 彈簧的情況下通過致動器15而施加于被驅(qū)動部件13上的力的Z方向 分量，mgcos9是施加于被驅(qū)動部件13上的重力的Z方向分量，并且 macos e是通過被驅(qū)動部件13加速而施加于被驅(qū)動部件13上的慣性力 的Z方向分量。其指示了被驅(qū)動部件13的Z方向上的位置是穩(wěn)定的， 而與驅(qū)動裝置1的方向以及驅(qū)動裝置1是否保持固定無關(guān)。更具體地 說，其指示了不管驅(qū)動裝置1是否倒置、或?qū)堑胤胖?，被?qū)動部件 13的Z方向上的位置是穩(wěn)定的。
此外，上述等式指示被驅(qū)動部件13的Z方向上的位置是穩(wěn)定的， 即使向驅(qū)動裝置l施加了很大的沖擊(F = ma)。換句話說，第一示例 中的驅(qū)動裝置1具有高抗沖擊性的優(yōu)點。
另外，液體潤滑劑30允許以相對于外殼11表面(更具體地說， 固定部件平面12)的形式來支撐被驅(qū)動部件13。因此，即使被驅(qū)動部 件13變薄了，潤滑劑30也允許被驅(qū)動部件13保持平面度、強度等等。 這使得相對降低被驅(qū)動部件13的大小或厚度成為可能。被驅(qū)動部件13 的大小或厚度相對降低的結(jié)構(gòu)在諸如MEMS的微領(lǐng)域中是非常有利 的，所述微領(lǐng)域需要在有限空間中提供有許多組件。
此外，因為可相對降低被驅(qū)動部件13的大小或厚度，因此不可避 免地降低了被驅(qū)動部件13的質(zhì)量。這使得即使對被驅(qū)動部件13進行 驅(qū)動所必需的驅(qū)動力相對降低了，也可以優(yōu)選地對被驅(qū)動部件13進行 驅(qū)動。另外，因為固定部件平面12和被驅(qū)動部件平面14既不直接地
16面接觸也不通過諸如彈簧這樣的結(jié)構(gòu)來連接，因此即使對被驅(qū)動部件 13進行驅(qū)動所必需的驅(qū)動力相對降低了，也可優(yōu)選地對被驅(qū)動部件13 進行驅(qū)動；也就是說，可相對降低對被驅(qū)動部件13進行驅(qū)動所必需的 驅(qū)動力。這允許了下述致動器15簡單化且小型化的實現(xiàn)，所述致動器 15用于提供對被驅(qū)動部件13進行驅(qū)動所必需的驅(qū)動力。上述簡單化且 小型化的結(jié)構(gòu)在諸如MEMS這樣的微器件中是非常有利的。
此外，因為可降低被驅(qū)動部件13的質(zhì)量，因此通過諸如重力和加 速這樣的外部原因而施加于被驅(qū)動部件13上的力(即上述ma和mg) 可被降低。因此，當對被驅(qū)動部件13進行驅(qū)動時，可適當?shù)叵獠?原因的不良影響。這使得獲得增大的被驅(qū)動部件13的驅(qū)動精度的優(yōu)點 成為可能。
順便說一下，被驅(qū)動部件13 (尤其是，在其中安裝了被驅(qū)動對象 200的部分)憑借潤滑劑30來保持平面度和強度，使得被驅(qū)動部件13 可變薄到如果不通過潤滑劑30由固定部件平面12來支撐則無法保持 平面這樣的程度。例如，被驅(qū)動部件13可以變薄為IO微米或更少。
此外，在圖1和圖2中，固定部件平面12與被驅(qū)動部件平面14 之間的空間填充有潤滑劑30;然而，可以至少在固定部件平面12與被 驅(qū)動部件平面14之間的空間的部分填充潤滑劑30。
此外，固定部件平面12和被驅(qū)動部件平面14不必是純平面，并 且可以是不平坦的等等。僅僅需要將固定部件平面12和被驅(qū)動部件平 面14認為是整體意義上的平面。
此外，為了防止?jié)櫥瑒?0無意流出這樣的缺點(更具體地說，潤 滑劑30流出到除了最初填充潤滑劑30的空間之外的空間)，優(yōu)選地 是利用封閉空間填充潤滑劑30。為了實現(xiàn)這種結(jié)構(gòu)，例如，如在以下 第二至第八示例中所說明的，形成被驅(qū)動部件平面14和固定部件平面
1712，以在形狀上具有凸起或凹陷，通過此，可以利用潤滑劑30填充由
該凸起和凹陷形成的封閉空間?？蛇x地，將潤滑劑30封裝在囊狀容器 等等中，并且該容器等等附著于被驅(qū)動部件平面14和固定部件平面12 上，通過此，可以利用潤滑劑30填充由該容器等等形成的封閉空間。 可選地，提供了側(cè)壁等等以在被驅(qū)動部件平面14與固定部件平面12 之間充滿潤滑劑30，通過此，可以利用潤滑劑30來填充由被驅(qū)動部件 平面14、固定部件平面12、以及側(cè)壁等等(另外上述凸起和凹陷)所 形成的封閉空間。
(2)第二示例
接下來，將參考圖3，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第二示例進行說明。 圖3是從概念上示出了第二示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。 順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件具有相同 的數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。
如圖3所示，與第一示例中的驅(qū)動裝置1 一樣，第二示例中的驅(qū) 動裝置la提供有具有固定部件平面12的外殼11。
具體地，在第二示例中的驅(qū)動裝置la中，相對于被驅(qū)動部件平面 14a的周圍的部分，被驅(qū)動部件平面14a形成了凹陷。
這使得可以獲得與第一示例中的驅(qū)動裝置1所獲得的優(yōu)點相同的 各個優(yōu)點，并且還可以使得被驅(qū)動部件13a進一步變薄。因此，可相對 降低對被驅(qū)動部件13a進行驅(qū)動所必需的驅(qū)動力。
另外，因為潤滑劑30與形成了凹陷的被驅(qū)動部件平面14a接觸， 因此可相對增加了對除了被驅(qū)動部件平面14a之外的部分(即不與潤滑 劑30接觸的部分)的設計自由度。更具體地說，在不需要考慮潤滑劑 30的情況下，可確定除了被驅(qū)動部件平面14a之外的部分的大小、形
狀等等。更具體地，將參考圖4，對被驅(qū)動部件平面14a的周圍的部分進行 說明。圖4是從概念上示出了當在Z方向上觀察第二示例中的驅(qū)動裝
置時的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
如圖4所示，"被驅(qū)動部件平面14a的周圍的部分"表示圍繞被驅(qū) 動部件平面14a的被驅(qū)動部件13a的部分區(qū)域，并且更優(yōu)選地，是圍繞 被驅(qū)動部件平面14a的且與被驅(qū)動部件平面14a相鄰的被驅(qū)動部件13a 的部分區(qū)域。更具體地，"被驅(qū)動部件平面14a的周圍的部分"表示被驅(qū) 動部件平面14與致動器15之間的區(qū)域的一個部分。在這種情況下， 圍繞被驅(qū)動部件平面14a的，即就是"被驅(qū)動部件平面14a的周圍的部 分"的被驅(qū)動部件13a的部分區(qū)域可以具有任意的大小。
順便說一下，在下面的說明中，對于"被驅(qū)動部件平面14b"、"被 驅(qū)動部件平面14d"、以及"被驅(qū)動部件平面14e"是一樣的。
另外，在下面的說明中，對"固定部件平面12 (具體地，固定部件 平面12b、固定部件平面12c、固定部件平面12e、以及固定部件平面 12f)的周圍的部分"進行了描述。與"被驅(qū)動部件平面14a的周圍的部 分"一樣，"固定部件平面12的周圍的部分"表示圍繞固定部件平面12 的外殼11的部分區(qū)域，并且更優(yōu)選地，是圍繞固定部件平面12的且 與固定部件平面12相鄰的外殼11的部分區(qū)域。在這種情況下，圍繞 固定部件平面12，即就是"固定部件平面12的周圍的部分"的外殼11 的部分區(qū)域具有任意的大小。
(3)第三示例
接下來，將參考圖5，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第三示例進行說明。 圖5是從概念上示出了第三示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。 順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件具有相同 的數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。如圖5所示，在第三示例的驅(qū)動裝置lb中，與第二示例中的驅(qū)動
裝置la—樣，相對于被驅(qū)動部件平面14b的周圍的部分，被驅(qū)動部件 平面14b形成凹陷。另外，在第三示例的驅(qū)動裝置lb中，相對于固定 部件平面12b的周圍的部分，固定部件平面12b形成了凸起。形成該 凹陷和凸起，使得將由固定部件平面12b所形成的凸起裝配在由被驅(qū) 動部件平面14b所形成的凹陷中或者與該凹陷相嚙合。
這使得獲得與第一示例中的驅(qū)動裝置1和第二示例中的驅(qū)動裝置 la的每一個所獲得的優(yōu)點相同的多個優(yōu)點成為可能。
另外，因為將固定部件平面12b所形成的凸起裝配在由被驅(qū)動部 件平面14b所形成的凹陷中，因此可以優(yōu)選地利用潤滑劑30填充被驅(qū) 動部件平面14b與固定部件平面12b之間的空間。其結(jié)果是，可優(yōu)選 地防止?jié)櫥瑒?0的無意流出(具體地說，流出到除了被驅(qū)動部件平面 14b和固定部件平面12b之外的部分中)。
(4)第四示例
接下來，將參考圖6，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第四示例進行說明。 圖6是從概念上給出了示出了第四示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面 視圖。順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件具 有相同的數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。
如圖6所示，與第一示例中的驅(qū)動裝置1 一樣，第四示例中的驅(qū) 動裝置lc提供有具有被驅(qū)動部件平面14的被驅(qū)動部件13。
具體地，在第四示例中的驅(qū)動裝置lc中，與第三示例中的驅(qū)動裝 置lb—樣，相對于固定部件平面12c的周圍的部分，固定部件平面12c 形成凸起。這使得可以獲得與第一示例中的驅(qū)動裝置1所獲得的益處相同的 益處。
另外，因為潤滑劑30與形成了凸起的固定部件平面12c接觸，因 此可相對增加對除了固定部件平面12c之外的部分(即，不與潤滑劑 30接觸的部分)的設計自由度。更具體地說，在不需要考慮潤滑劑30 的情況下，可確定除了固定部件平面12c之外的部分的大小、形狀等等。
(5)第五示例
接下來，將參考圖7，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第五示例進行說明。 圖7是從概念上示出了第五示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。 順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件具有相同 數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。
如圖7所示，與第一示例中的驅(qū)動裝置1 一樣，第五示例中的驅(qū) 動裝置ld提供有具有固定部件平面12的外殼11。
具體地，在第五示例中的驅(qū)動裝置ld中，相對于被驅(qū)動部件平面 14d的周圍的部分，被驅(qū)動部件平面14d形成了凸起。換言之，形成被 驅(qū)動部件平面14d，以在被驅(qū)動部件13的底側(cè)上形成凸起。
這使得可以獲得與第一示例中的驅(qū)動裝置1所獲得的效果相同的 多個有利的效果。
另外，因為潤滑劑30與形成了凸起的被驅(qū)動部件平面14d接觸， 因此可相對增加對除了被驅(qū)動部件平面14d之外的部分(即不與潤滑 劑30接觸的部分)的設計自由度。更具體地說，在不需要考慮潤滑劑 30的情況下，可確定除了被驅(qū)動部件平面14d之外的部分的大小、形
狀等等。(6) 第六示例
接下來，將參考圖8，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第六示例進行說明。 圖8是從概念上示出了第六示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。 順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件具有相同 數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。
如圖8所示，與第五示例中的驅(qū)動裝置ld—樣，在第六示例中的 驅(qū)動裝置le中，相對于被驅(qū)動部件平面14e的周圍的部分，被驅(qū)動部 件平面14e形成了凸起。另外，在第六示例中的驅(qū)動裝置le中，相對 于固定部件平面12e的周圍的部分，固定部件平面12e形成了凹陷。形 成該凹陷和凸起，使得將由被驅(qū)動部件平面14e所形成的凸起裝配在由 固定部件平面12e所形成的凹陷中或者與該凹陷相嚙合。
這使得可以獲得與第一示例中的驅(qū)動裝置1和第五示例中的驅(qū)動 裝置ld的每一個所獲得的效果相同的多個有利效果。
另外，因為將由被驅(qū)動部件平面14e所形成的凸起裝配在由固定 部件平面12e所形成的凹陷中，因此可以優(yōu)選地利用潤滑劑30來填充 被驅(qū)動部件平面14e與固定部件平面12e之間的空間。其結(jié)果是，可以 優(yōu)選地防止?jié)櫥瑒?0的無意流出(具體地說，流出到除了被驅(qū)動部件 平面14e和固定部件平面12e之外的部分中)。
(7) 第七示例
接下來，將參考圖9，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第七示例進行說明。 圖9是從概念上示出了第七示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。 順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件具有相同 數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。
如圖9所示，與第一示例中的驅(qū)動裝置1 一樣，第七示例中的驅(qū) 動裝置lf提供有具有被驅(qū)動部件平面14f的被驅(qū)動部件13f。
22具體地，在第七示例中的驅(qū)動裝置If中，與第六示例中的驅(qū)動裝 置le—樣，相對于固定部件平面12f的周圍的部分，固定部件平面12f 形成了凹陷。
這使得可以獲得與第一示例中的驅(qū)動裝置1所獲得的益處相同的 益處。
另外，因為潤滑劑30與形成了凹陷的固定部件平面12f接觸，因 此可相對增加對除了固定部件平面12f之外的部分(即，不與潤滑劑 30接觸的部分)的設計自由度。更具體地說，在不需要考慮潤滑劑30 的情況下，可確定除了固定部件平面12f之外的部分的大小、形狀等等。
(8)第八示例
接下來，將參考圖10，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第八示例進行說明。 圖IO是從概念上示出了第八示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。 順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件具有相同 數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。
如圖IO所示，第八示例中的驅(qū)動裝置lg提供有外殼llg，該外殼 llg具有在Z方向上高度彼此不同的多個固定部件平面12g — l和12g —2。第八示例中的驅(qū)動裝置lg還提供有被驅(qū)動部件13g，該被驅(qū)動部 件13g具有在Z方向上高度彼此不同的多個被驅(qū)動部件平面14g—l和 14g — 2。
如上所述，即使固定部件平面12g和被驅(qū)動部件平面14g在Z方 向上具有不同高度的部分，也可以優(yōu)選地獲得第一示例中的上述驅(qū)動
裝置1所獲得的多種有利效果。
當然，固定部件平面12g和被驅(qū)動部件平面14g并不局限于在Z
23方向上具有兩個不同高度的部分；固定部件平面12g和被驅(qū)動部件平
面14g可以具有在Z方向上高度彼此不同的多個部分。
(9) 第九示例
接下來，將參考圖11，對本發(fā)明的驅(qū)動裝置的第九示例進行說明。 圖11是從概念上示出了第九示例中的驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖和 俯視圖。順便說一下，與第一示例中的驅(qū)動裝置1的組件相同的組件 具有相同數(shù)字標號，并且省略其詳細說明。
如圖11 (a)和圖11 (b)所示，第九示例中的驅(qū)動裝置lh采用 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動方法，在該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動方法中，盤片形被驅(qū)動部件13h在圖11 (a)和圖11 (b)中的箭頭所示的方向上旋轉(zhuǎn)。順便說一下，圖11 (b) 是示出了從圖11 (a)的上側(cè)所觀察到的驅(qū)動裝置lh的俯視圖。這種 驅(qū)動裝置lh被用在，例如光盤驅(qū)動器、硬盤驅(qū)動器等等中。
與采用上述平面驅(qū)動方法的驅(qū)動裝置1 一樣，第九示例中的lh提 供有具有固定部件平面12h的外殼llh;以及具有盤片形被驅(qū)動部件平 面14h的盤片形被驅(qū)動設備13h。固定部件平面12h與被驅(qū)動部件平面 14h之間的空間填充有液體潤滑劑30，使得固定部件平面12h與被驅(qū) 動部件平面14h基本上平行。
憑借這種結(jié)構(gòu)，即使在采用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動方法的驅(qū)動裝置lh中，也可 以優(yōu)選地獲得由采用上述平面驅(qū)動方法的第一示例中的驅(qū)動裝置1所 獲得的多種有利效果。
順便說一下，明顯地，即使是第九示例中的驅(qū)動裝置lh也可以獲 得由驅(qū)動裝置la至lg的每個通過采用第二示例中的驅(qū)動裝置la到第 八示例中的驅(qū)動裝置lg的上述結(jié)構(gòu)而獲得的多種有利效果。
(10) 記錄/重放裝置接下來，將參考圖12和圖13，對使用上述示例中的驅(qū)動裝置的示 例中的記錄/重放裝置進行說明。圖12是從概念上示出了示例中的記錄 /重放裝置的第一結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。圖13是從概念上示出了示例中的 記錄/重放裝置的第二結(jié)構(gòu)的橫截面視圖。
如圖12所示，該示例中的記錄/重放裝置100提供有上述第一示 例中的驅(qū)動裝置l。記錄/重放裝置100進一步提供有探針頭41，該探 針頭41具有與參考部件16連接的多個探針42。
這多個探針42的每一個組成了本發(fā)明的"記錄/重放設備"的一個 特定示例。多個探針42的每一個具有尖的頂端，并且通過從該頂端施 加電壓，相對于記錄介質(zhì)201對數(shù)據(jù)進行記錄和重放。
例如，在利用SNDM (掃描非線性介電顯微鏡)原理的記錄/重放 裝置IOO的情況下，通過從探針42的頂端向由鐵電物質(zhì)形成的記錄介 質(zhì)201施加超過鐵電物質(zhì)的矯頑電場的電場，來對由鐵電物質(zhì)的偏振 方向表示的數(shù)據(jù)進行記錄。另一方面，在重放過程中，通過將交替電 場施加到鐵電襯底上，并且對此時鐵電物質(zhì)的某個微領(lǐng)域中的電容Cs 的差或者電容Cs的變化差進行檢測，來讀取和重放以鐵電物質(zhì)的偏振 方向記錄的數(shù)據(jù)。
當然，記錄/重放裝置并不局限于利用該SNDM原理的裝置，而可 以是利用各種方法的裝置。
此時，為了在記錄介質(zhì)201的期望位置將數(shù)據(jù)記錄到記錄區(qū)中， 或者為了對記錄在記錄介質(zhì)的期望記錄區(qū)中的數(shù)據(jù)進行重放，通過致 動器15的操作來使其上安裝了記錄介質(zhì)201的被驅(qū)動部件13移位。
因此，根據(jù)該示例中的記錄/重放裝置100，可相對于記錄介質(zhì)201， 對數(shù)據(jù)進行記錄和重放，同時可獲得上述第一示例中的驅(qū)動裝置1所獲得的各種有利效果。
順便說一下，明顯地，即使是該示例中的記錄/重放裝置ioo也可 以由驅(qū)動裝置la至lg的每一個通過采用第二示例中的驅(qū)動裝置la到
第八示例中的驅(qū)動裝置lg的上述結(jié)構(gòu)而獲得的各種有利效果。
另外，在該示例中的記錄/重放裝置100中，可通過參考部件16 將探針頭41安排在外殼11中。如上所述，通過預定的構(gòu)件可以間接 地將探針頭41安排在外殼11中。然而，可直接將探針頭41安排在外 殼11中。總之，只要將探針頭41固定到外殼11上，則不對探針41 安排在外殼11中的結(jié)構(gòu)做出限制。
順便說一下，圖12所示的記錄/重放裝置100使記錄介質(zhì)201在 平面上(即在X方向和Y方向的每一個上)移位。然而，記錄介質(zhì)201 可在所謂的三維方向上移位(即在X方向、Y方向、以及Z方向的每 一個上)。
具體地說，如圖13所示，記錄/重放裝置IOO提供有致動器50， 該致動器50用于利用潤滑劑30而在Z方向上移位被驅(qū)動部件13。在 這種情況下，將致動器50固定到外殼11的內(nèi)壁上，并且與被驅(qū)動部 件平面14相對的致動器50的表面與固定部件平面12相對應。
憑借這種結(jié)構(gòu)，通過致動器50的操作可在Z方向上移位被驅(qū)動部 件13，同時可獲得第一示例中的驅(qū)動裝置1等等所獲得的各種有利效 果。也就是說，在通過致動器50的操作而在Z方向上移位被驅(qū)動部件 13的同時，可防止除了致動器50的操作之外的因素(例如致動器13 的操作)而引起的在Z方向上被驅(qū)動部件13的位置的無意改變。
順便說一下，在這里，對將第一示例中的驅(qū)動裝置1至第九示例 中的驅(qū)動裝置lh應用于記錄/重放裝置100上這樣的示例進行說明。然而，第一示例中的驅(qū)動裝置1至第九示例中的驅(qū)動裝置lh并不局限于 應用于記錄/重放裝置上；該裝置可應用于為電子束繪圖裝置、SEM(掃 描式電子顯微鏡)、SPM (掃描探針顯微鏡)等等所提供的臺架上。 優(yōu)選地將驅(qū)動裝置1應用于微器件上。
(11)制造處理
接下來，將參考圖14，對第一示例中的上述驅(qū)動裝置1的制造處 理進行說明。圖14是從概念上示出了第一示例中的驅(qū)動裝置1的制造 處理的橫截面視圖。
如圖14 (a)所示，對于第一示例中的驅(qū)動裝置1的制造而言，使 用SOI (絕緣體上硅)襯底，在該SOI襯底中，二氧化硅層302夾在 硅層301與硅層302之間。
如圖14 (b)所示，通過執(zhí)行圖案化處理、蝕刻處理、沉積處理等 等而形成致動器15。這導致了通過致動器15，被驅(qū)動部件13與連到 外殼11上的參考部件16連接這樣的結(jié)構(gòu)。
此后，如圖14 (c)所示，對位于被驅(qū)動部件13和致動器15下的 二氧化硅層302執(zhí)行犧牲層蝕刻，通過此形成了將利用潤滑劑30填充 的空間。該空間的上表面與被驅(qū)動部件13的被驅(qū)動部件平面14接觸， 并且該空間的下表面與外殼11的固定部件平面12接觸。
此后，如圖14 (d)所示，利用潤滑劑30填充通過犧牲層蝕刻所 形成的空間。通過此，制造出第一示例中的驅(qū)動裝置1。
通過按照這種方式從單SOI襯底制造出第一示例中的驅(qū)動裝置1， 不再需要對致動器15等等(或者外殼11)的固定部件平面12進行調(diào) 準。另外，可以省去合并致動器15等等的煩擾。因此，可以相對容易 和簡單地制造出第一示例中的驅(qū)動裝置1。順便說一下，參考圖14所說明的制造處理是第一示例中的驅(qū)動裝 置1的制造處理的一個特定示例。明顯地，允許以除了圖14所示的方 面中的制造處理之外的制造處理，來制造出第一示例中的驅(qū)動裝置1。
另外，明顯地，與第一示例中的驅(qū)動裝置1 一樣，可以以圖14所 示的方面或者以除了圖14所示方面的制造處理之外的制造處理來制造
出第二示例中的驅(qū)動裝置la至第九示例中的驅(qū)動裝置lh、以及記錄/ 重放裝置100和101。
本發(fā)明并不局限于上述示例，而是如果期望的話，在不脫離從權(quán) 利要求和整個說明書所推演出的本發(fā)明的實質(zhì)或者精神的情況下可做 出各種改變。本發(fā)明的技術(shù)范圍旨在包括驅(qū)動裝置和記錄/重放裝置， 并且其所有的此類變化也在本發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種驅(qū)動裝置，包括固定部件，所述固定部件具有固定部件平面；以及被驅(qū)動部件，所述被驅(qū)動部件具有被驅(qū)動部件平面并且在與所述固定部件平面基本上平行的方向上被驅(qū)動，所述被驅(qū)動部件平面與所述固定部件平面相對，液體潤滑劑，所述液體潤滑劑在所述固定部件平面與所述被驅(qū)動部件平面之間，所述被驅(qū)動部件平面與所述固定部件平面以所述被驅(qū)動部件平面與所述固定部件平面基本上平行的方式相對。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其中在(i)所述被驅(qū)動部件 平面在與所述被驅(qū)動部件平面相交的方向上從所述潤滑劑接受到的表 面張力、(ii)所述被驅(qū)動部件平面在與所述被驅(qū)動部件平面相交的方 向上從所述潤滑劑接受到的排斥力、以及(iii)所述被驅(qū)動部件平面在 與所述被驅(qū)動部件平面相交的方向上從除了所述潤滑劑之外的元件接 受到的力之間存在平衡。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其中相對于所述被驅(qū)動部件 平面周圍中的所述被驅(qū)動部件的表面，所述被驅(qū)動部件平面形成凹陷。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其中相對于所述被驅(qū)動部件 平面周圍中的所述被驅(qū)動部件的表面，所述被驅(qū)動部件平面形成凸起。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的驅(qū)動裝置，其中相對于所述固定部件平 面周圍中的所述固定部件的表面，所述固定部件平面形成凹陷。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的驅(qū)動裝置，其中相對于所述固定部件平 面周圍中的所述固定部件的表面，所述固定部件平面形成凸起。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其中相對于所述被驅(qū)動部件平面周圍中的所述被驅(qū)動部件的表面，所 述被驅(qū)動部件平面形成凹陷，并且相對于所述固定部件平面周圍中的所述固定部件的表面，所述固 定部件平面形成了與所述凹陷相對應的凸起。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其中相對于所述被驅(qū)動部件平面周圍中的所述被驅(qū)動部件的表面，所 述被驅(qū)動部件平面形成了凸起，并且相對于所述固定部件平面周圍中的所述固定部件的表面，所述固 定部件平面形成了與所述凸起相對應的凹陷。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，進一步包括用于在與所述固 定部件平面基本上正交的方向上對所述固定部件進行驅(qū)動的驅(qū)動機構(gòu)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動裝置，其中所述固定部件和所述 被驅(qū)動部件中的每一個是由相同襯底形成的。
11. 一種記錄/重放裝置，包括固定部件，所述固定部件具有固定部件平面；以及被驅(qū)動部件，所述被驅(qū)動部件具有被驅(qū)動部件平面并且在與所述 固定部件平面基本上平行的方向上被驅(qū)動，所述被驅(qū)動部件平面與所 述固定部件平面相對，液體潤滑劑，所述液體潤滑劑在所述固定部件平面與所述被驅(qū)動部件平面之間，所述被驅(qū)動部件平面與所述固定部件平面以所述被驅(qū)動部件平面 與所述固定部件平面基本上平行的方式相對， 所述被驅(qū)動部件配備有記錄介質(zhì)， 所述固定部件配備有一個或多個記錄/重放器件。
全文摘要
一種驅(qū)動裝置(1)包括固定部件(11)，該固定部件(11)具有平坦表面(12)；以及被驅(qū)動部件(13)，該被驅(qū)動部件(13)具有平坦表面(14)并且在與固定部件的平坦表面基本上平行的方向上被驅(qū)動，該平坦表面(14)與固定部件的平坦表面相對。液體潤滑劑(30)插入在固定部件的平坦表面(12)與被驅(qū)動部件的平坦表面(14)之間。平坦表面(14)以基本上相互平行的狀態(tài)與平坦表面(12)相對。
文檔編號G11B9/14GK101506886SQ20068005572
公開日2009年8月12日 申請日期2006年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月1日
發(fā)明者前田孝則, 森俊太郎, 石杜昌弘, 藤本健二郎 申請人:日本先鋒公司