的2 0軸（S卩，橫軸)上的pp4 (〇. 11° )。換言之，由入射側狹縫8在Zs軸上移動的距離（Ql-Q2 = 0.5 - 0.2 = 0.3 _)被投影為在2 0軸上的距離"pp3 -pp4"（= 0.06 + 0.11 = 0.17° )。據(jù)此，顯然在 2 0軸上的0.06°的角度等同于由入射側狹縫8在Zs軸上移動的0.1mm的距離。
[0061] 因此，能夠測量在Zs軸上的至少兩個測量位置Ql、Q2來在衍射輪廓圖表上繪制 諸如圖7中示出的測量結果的輪廓之類的測量結果的輪廓，求取輪廓的峰值位置與2 0 = 0°的關系，并且在Zs軸上的位置中反映這些關系，以便準確地求取在Zs軸上的對應于2 0 =0°的位置。換言之，可以基于在圖7中的對應于Zs軸上的Ql(圖6)的峰值位置（pp3) 以及在圖7中的對應于Zs軸上的Q2 (圖8)的峰值位置（pp4)來計算在Zs軸上的對應于 2 0 = 0°的位置。
[0062]例如，假設Ql=-〇? 5mm，Q2=-〇? 2mm，pp3=-〇? 06。和pp4=0? 11。，可以使 用以下公式來求取在Zs軸上的對應于X射線角度2 0 =0°的位置Zs:
【主權項】
1. 一種用于X射線分析器的光軸調(diào)整方法， (A) 所述X射線分析器包括： 環(huán)繞穿過組成放置樣本的位置的樣本位置的樣本軸旋轉的入射側臂； 環(huán)繞樣本軸旋轉并且朝向與入射側臂相反的一側延伸的接收側臂； 在入射側臂上提供的X射線源； 在樣本位置和X射線源之間的入射側臂上提供的入射側狹縫；以及 在接收側臂上提供并且具有X射線強度位置分辨的X射線檢測器，所述X射線強度位 置分辨是在直線上的預定區(qū)域之內(nèi)檢測X射線強度的功能， 其中： 從X射線源入射到樣本上的X射線的入射角是入射角0，以及 通過由樣本衍射的X射線的中心線和入射到樣本上的X射線的中心線形成的角度是衍 射角2 0， (B) 所述光軸調(diào)整方法包括： 2 0調(diào)整步驟，其中將接收側臂的旋轉的0°位置和衍射角2 0的0°位置對準； Zs軸調(diào)整步驟，其中調(diào)整沿著與從X射線源入射到樣本上的X射線的中心線正交的方 向的入射側狹縫的位置；以及 0調(diào)整步驟，其調(diào)整從X射線源入射到樣本上的X射線的中心線和樣本的表面從而使 其平行， 其中，在所述2 0調(diào)整步驟、Zs軸調(diào)整步驟、以及0調(diào)整步驟中，由X射線檢測器具有 的在直線上的X射線強度位置分辨的能力分別被用于執(zhí)行2 0調(diào)整、Zs軸調(diào)整、以及0調(diào) 整。
2. 根據(jù)權利要求1所述的X射線分析器光軸調(diào)整方法，其中： 使用X射線檢測器來同時求取在X射線檢測器的X射線接收區(qū)域中的針對多個不同的 2 0角度值的X射線強度；并且 基于所求取的X射線強度來求取針對2 0調(diào)整的角度偏差量、針對Zs軸調(diào)整的入射側 狹縫位置偏差量、針對0調(diào)整的平行度的偏差量。
3. 根據(jù)權利要求1所述的X射線分析器光軸調(diào)整方法，其中： 在2 0調(diào)整步驟期間， 將中心狹縫設置在樣本位置上， 將入射側臂放置在入射角0是0°的位置處， 將接收側臂放置在衍射角2 0是0°的位置處， 將入射側狹縫設置成開啟狀態(tài)， 由X射線源發(fā)射的X射線穿過入射側狹縫和中心狹縫并且變成入射到X射線檢測器 上， 獲得X射線入射到X射線檢測器中的位置和衍射角2 0是0°的位置之間的偏差量，以 及 通過按照偏差量移動接收側臂的位置或者通過按照偏差量校正由X射線檢測器針對 衍射角2 0獲得的數(shù)據(jù)來調(diào)整X射線的光軸。
4. 根據(jù)權利要求3所述的X射線分析器光軸調(diào)整方法，其中： 在2 0調(diào)整步驟中按照偏差量校正X射線的光軸之后執(zhí)行Zs軸調(diào)整步驟，以及 在Zs軸調(diào)整步驟中， 從樣本位置移除中心狹縫， 將入射側狹縫設置在沿著與從X射線源入射到樣本上的X射線的中心線正交的方向的 多個不同位置處， X射線通過在多個不同位置中的每個位置處的入射側狹縫入射到X射線檢測器上， 根據(jù)放置入射側狹縫的位置和由X射線檢測器檢測的X射線輪廓來計算衍射角2 0是 0°的入射側狹縫的位置，以及 將入射側狹縫移動到所計算的位置，并且設置在所計算的位置處。
5. 根據(jù)權利要求1所述的X射線分析器光軸調(diào)整方法，其中： 在9調(diào)整步驟中， 將光軸調(diào)整夾具或者樣本放置在樣本位置上， 將入射側臂放置在入射角0是0°的位置處， 將接收側臂放置在衍射角2 0是0°的位置處， 使X射線變成以多個不同的入射角0入射到樣本的表面上，并且使用X射線檢測器在 所述角度中的每個角度處測量X射線強度， 基于針對入射角0的值和由X射線檢測器檢測的結果來計算針對X射線與樣本的表 面平行的入射角9的值，以及 根據(jù)所計算的入射角9來校正入射側臂的位置。
6. -種X射線分析器，其包括： 入射側臂，其環(huán)繞穿過組成放置樣本的位置的樣本位置的樣本軸旋轉； 接收側臂，其環(huán)繞樣本軸旋轉并且朝向與入射側臂相反的一側延伸； X射線源，其被提供在入射側臂上； 入射側狹縫，其被提供在樣本位置和X射線源之間的入射側臂上；以及X射線檢測器，其被提供在接收側臂上并且具有X射線強度位置分辨，所述X射線強度 位置分辨是在直線上的每個預定區(qū)域中檢測X射線強度的功能，其中： 從X射線源入射到樣本上的X射線的入射角是入射角0， 通過由樣本衍射的X射線的中心線和入射到樣本上的X射線的中心線形成的角是衍射 角20， 所述X射線分析器進一步包括： 2 0調(diào)整裝置，其用于執(zhí)行調(diào)整使得接收側臂的旋轉的0°位置和衍射角2 0的0°位 置對準； Zs軸調(diào)整裝置，其用于調(diào)整沿著與從X射線源入射到樣本上的X射線的中心線正交的 方向的入射側狹縫的位置；以及 9調(diào)整裝置，其用于調(diào)整從x射線源入射到樣本上的x射線的中心線和樣本的表面從 而使其平行，以及 所述2 0調(diào)整裝置、Zs軸調(diào)整裝置、以及0調(diào)整裝置使用由X射線檢測器具有的在直 線上的X射線強度位置分辨的能力來分別執(zhí)行2 0調(diào)整、Zs軸調(diào)整、以及0調(diào)整。
7. 根據(jù)權利要求6所述的X射線分析器，其中： (A) 2 0調(diào)整裝置； 通過使用X射線檢測器來同時求取在X射線檢測器的X射線接收區(qū)域中的針對多個不 同的2 0角度值的X射線強度，并且 基于所求取的X射線強度來求取針對2 0調(diào)整的角度偏差量； (B)Zs軸調(diào)整裝置； 通過使用X射線檢測器來同時求取在X射線檢測器的X射線接收區(qū)域中的針對多個不 同的2 0角度值的X射線強度，并且 基于所求取的X射線強度來求取針對Zs軸調(diào)整的入射側狹縫位置偏差量；以及 (C) 0調(diào)整裝置； 通過使用X射線檢測器來同時求取在X射線檢測器的X射線接收區(qū)域中的針對多個不 同的2 0角度值的X射線強度，并且 基于所求取的X射線強度來求取針對0調(diào)整的平行度的偏差量。
8. 根據(jù)權利要求2所述的X射線分析器光軸調(diào)整方法，其中： 在2 0調(diào)整步驟期間， 將中心狹縫設置在樣本位置上， 將入射側臂放置在入射角0是0°的位置處， 將接收側臂放置在衍射角2 0是0°的位置處， 將入射側狹縫設置成開啟狀態(tài)， 由X射線源發(fā)射的X射線穿過入射側狹縫和中心狹縫并且變成入射到X射線檢測器 上， 獲得在X射線入射到X射線檢測器中的位置和衍射角2 0是0°的位置之間的偏差量， 以及 通過按照偏差量移動接收側臂的位置或者通過按照偏差量校正由X射線檢測器針對 衍射角2 0獲得的數(shù)據(jù)來調(diào)整X射線的光軸。
9. 根據(jù)權利要求8所述的X射線分析器光軸調(diào)整方法，其中： 在2 0調(diào)整步驟中按照偏差量校正X射線的光軸之后執(zhí)行Zs軸調(diào)整步驟，以及 在Zs軸調(diào)整步驟中， 從樣本位置移除中心狹縫， 將入射側狹縫設置在沿著與從X射線源入射到樣本上的X射線的中心線正交的方向的 多個不同位置處， X射線通過在多個不同位置中的每個位置處的入射側狹縫入射到X射線檢測器上， 根據(jù)放置入射側狹縫的位置和由X射線檢測器檢測的X射線輪廓來計算衍射角2 0是 0°的入射側狹縫的位置，以及 將入射側狹縫移動到所計算的位置，并且設置在所計算的位置處。
10. 根據(jù)權利要求9所述的X射線分析器光軸調(diào)整方法，其中： 在9調(diào)整步驟中， 將光軸調(diào)整夾具或者樣本放置在樣本位置上， 將入射側臂放置在入射角0是0°的位置處， 將接收側臂放置在衍射角2 0是0°的位置處， 使X射線變成以多個不同的入射角0入射到樣本的表面上，并且使用X射線檢測器在 所述角度中的每個角度處測量X射線強度， 基于針對入射角0的值和由X射線檢測器檢測的結果來計算針對X射線與樣本的表 面平行的入射角9的值，以及 根據(jù)所計算的入射角e來校正入射側臂的位置。
【專利摘要】本發(fā)明涉及用于X射線分析器的光軸調(diào)整方法和X射線分析器。提供了一種用于X射線分析器的光軸調(diào)整方法，所述X射線分析器包括入射側臂、接收側臂、X射線源、入射側狹縫、以及具有在直線上的X射線強度位置分辨的一維X射線檢測器。所述方法包括2θ調(diào)整步驟，其中將接收側臂的旋轉的0°位置和衍射角2θ的0°位置對準；Zs軸調(diào)整步驟，其中調(diào)整沿著與從X射線源入射到樣本上的X射線的中心線正交的方向的入射側狹縫的位置；以及θ調(diào)整步驟，其中調(diào)整從X射線源入射到樣本上的X射線的中心線和樣本的表面從而使其平行。在2θ調(diào)整步驟、Zs軸調(diào)整步驟和θ調(diào)整步驟中，由一維X射線檢測器具有的針對在直線上的X射線強度位置分辨的能力被用于執(zhí)行2θ調(diào)整、Zs軸調(diào)整和θ調(diào)整。
【IPC分類】G01N23-207
【公開號】CN104655662
【申請?zhí)枴緾N201410683606
【發(fā)明人】掛札康治, 飛田一郎
【申請人】株式會社理學
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年11月25日
【公告號】DE102014116670A1, US20150146859