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芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置的制作方法

文檔序號(hào):12785071閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置,其特征在于,包括傳送機(jī)構(gòu)(1)、芯片載臺(tái)和檢測(cè)探頭(17);所述的芯片載臺(tái)搭載待檢測(cè)的芯片,芯片載臺(tái)放置在傳送機(jī)構(gòu)(1)上傳送到檢測(cè)探頭(17)處;所述的芯片載臺(tái)包括底座(2);所述的底座(2)上鉸接有底板(3),所述的底板(3)后側(cè)固定連接有背板(6),所述的背板(6)與底板(3)垂直;所述的底座(2)的后側(cè)還固定安裝有限位板(8),所述的限位板(8)與底座(2)相互垂直;所述的背板(6)與限位板(8)之間有拉簧(7),拉簧(7)將背板(6)拉靠在限位板(8)上;所述的背板(6)的后表面上有弧形的導(dǎo)向架(14),所述的導(dǎo)向架(14)的弧形凹面朝向背板(6)的后表面;所述的傳送機(jī)構(gòu)(1)上還安裝有立柱(11),所述的立柱(11)上安裝有懸臂(12),所述的懸臂(12)上安裝有萬(wàn)向輪(13);所述的萬(wàn)向輪(13)朝向背板(6)的后表面,并且隨著芯片載臺(tái)在傳送機(jī)構(gòu)(1)上運(yùn)動(dòng),所述的萬(wàn)向輪(13)與導(dǎo)向架(14)的弧形外凸面接觸,萬(wàn)向輪(13)在導(dǎo)向架(14)弧形外凸面上滾動(dòng);所述的檢測(cè)探頭(17)安裝在傳送機(jī)構(gòu)(1)上,并位于底座(2)的前側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述的懸臂(12)為伸縮桿,一端固定在立柱(11)上,另一端連接萬(wàn)向輪(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述的背板(6)上有滑槽(5),所述的拉簧(7)一端固定在限位板(8)上,一端鉸接在滑塊(4)上,所述的滑塊(4)安裝在滑槽(5)內(nèi),形成滑動(dòng)副。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述的限位板(8)上還連接有防倒支架(9),所述的防倒支架(9)前端還連接有限位擋塊(10);待測(cè)芯片放置在所述的底板(3)上,后表面靠在背板(6)上,前表面由底板(3)限位,兩端由防倒支架(9)限位。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述的防倒支架(9)通過(guò)帶有復(fù)位彈簧的鉸鏈鉸接在限位板(8)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述的檢測(cè)探頭(17)安裝在探頭支架(15)上,所述的探頭支架(15)通過(guò)探頭支架(16)安裝在傳送機(jī)構(gòu)(1)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片自動(dòng)檢測(cè)裝置,其特征在于,所述的檢測(cè)探頭(17)包括多個(gè)均勻排布的探針,所述的檢測(cè)探頭(17)通過(guò)減震彈簧(18)安裝在探頭支架(15)上。

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