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超聲波元件的制作方法

文檔序號:12726259閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種超聲波元件,其包括:層疊設(shè)置的表面接觸層、信號接收層、信號發(fā)送層;

所述表面接觸層具有一接觸表面,用于接觸被感測體;所述信號發(fā)送層用于產(chǎn)生并發(fā)送感測信號;所述信號接收層用于接收所述感測信號;

其特征在于:

所述表面接觸層的固有頻率定義為F1,所述信號接收層的固有頻率定義為F2,所述信號發(fā)送層的固有頻率定義為F3,所述感測信號的頻率定義為F0';

其中,F(xiàn)1、F2、F3中至少一者與F0'相等。

2.如權(quán)利要求1所述的超聲波元件,其特征在于:所述F0'、F1、F2、F3至少滿足以下條件之一:

F1、F2與F0'相等;

F2、F3與F0'相等;

F1、F3與F0'相等;

F1、F2、F3均與F0'相等。

3.如權(quán)利要求1所述的超聲波元件,其特征在于:所述表面接觸層的波速定義為C1,所述信號接收層的波速定義為C2,所述信號發(fā)送層的波速定義為C3;

所述表面接觸層的厚度定義為H1,所述信號接收層的厚度定義為H2,所述信號發(fā)送層的厚度定義為H3;

所述表面接觸層、信號接收層、信號發(fā)送層中厚度與波速的比值至少兩者相等。

4.如權(quán)利要求3所述的超聲波元件,其特征在于:所述H1、H2、H3、C1、C2、C3至少滿足以下條件之一:

H1:H2=C1:C2;

H2:H3=C2:C3;

H1:H3=C1:C3;

H1:H2:H3=C1:C2:C3。

5.如權(quán)利要求1所述的超聲波元件,其特征在于:所述信號接收層包括第一壓電層,所述信號發(fā)送層包括第二壓電層;

所述表面接觸層的厚度定義為H1,所述第一壓電層的厚度定義為H2,所述第二壓電層的厚度定義為H3;

所述表面接觸層的波速定義為C1,所述第一壓電層的波速定義為C2,所述第二壓電層的波速定義為C3;

所述表面接觸層、第一壓電層、第二壓電層中厚度與波速的比值至少兩者相等。

6.如權(quán)利要求5所述的超聲波元件,其特征在于:所述H1、H2、H3、C1、C2、C3至少滿足以下條件之一:

H1:H2=C1:C2

H2:H3=C2:C3;

H1:H3=C1:C3

H1:H2:H3=C1:C2:C3。

7.如權(quán)利要求1-6中任意一項所述的超聲波元件,其特征在于:包括第一粘合層、第二粘合層,所述表面接觸層和所述信號接收層/信號發(fā)送層之間通過所述第一粘合層連接并進行訊號耦合,所述信號發(fā)送層和所述信號接收層之間通過所述第二粘合層連接并進行訊號耦合。

8.如權(quán)利要求7所述的超聲波元件,其特征在于:所述第一粘合層的厚度定義為Hm1,所述第二粘合層的厚度定義為Hm2,所述表面接觸層的厚度H1、信號接收層的厚度H2、信號發(fā)送層的厚度H3三者中的最小值定義為Hmin,所述Hm1<Hmin/10、Hm2<Hmin/10。

9.如權(quán)利要求1-6中任意一項所述的超聲波元件,其特征在于:提供一驅(qū)動訊號F0,所述驅(qū)動信號用于驅(qū)動信號發(fā)送層以產(chǎn)生感測信號,所述驅(qū)動信號的頻率F0與感測信號的頻率F0'相等。

10.如權(quán)利要求1所述的超聲波元件,其特征在于:所述感測信號為超聲波信號。

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