本發(fā)明屬于工業(yè)檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置。

背景技術(shù)：

在工業(yè)檢測中，對檢測樣品，特別是針對載片等片狀樣品的檢測對檢測結(jié)果的影響非常重要，現(xiàn)有的片狀載體上的樣品檢測收到環(huán)境影響很大，測試環(huán)境中的溫度、濕度及灰塵等環(huán)境需要嚴格控制在同一標(biāo)準(zhǔn)下，現(xiàn)有的檢測設(shè)備對這些參數(shù)的控制并無法達到更高的要求，特別的，現(xiàn)有的檢測設(shè)備在對片狀載體上的樣品的檢測受設(shè)備影響較大，檢測設(shè)備的檢測空間有限，導(dǎo)致需要將每個載片放入到檢測空間中進行檢測再取走，對于檢測室巨大的測試來講是一個效率制約的瓶頸。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

（一）發(fā)明目的：為解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的是提供一種高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置。

（二）技術(shù)方案：高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置，包括垂直設(shè)置的平移傳輸帶及步進鏈條；

所述步進鏈條上設(shè)有承載載片的格柵支架，所述載片通過彈性件插接固定在該格柵支架上，所述步進鏈條通過步進電機控制步進前進，步進鏈條鋪設(shè)在送樣臺上，所述送樣臺通過升降桿控制整體的高度，該送樣臺設(shè)置在平移傳輸帶一側(cè)，與送樣臺配合的操作臺對應(yīng)設(shè)置在平移傳輸帶的另一側(cè)，所述送樣臺朝向操作臺一側(cè)設(shè)有配適缺口，所述步進鏈條的端部延伸至配適缺口的內(nèi)凹邊緣處，所述配適缺口的內(nèi)凹邊緣底部還包括計數(shù)器的探測口，所述送樣臺在配適缺口兩側(cè)對稱設(shè)置有一對限位板支架，通過設(shè)置在限位板支架上的限位裝置調(diào)整載片的位置；

操作臺通過安裝操作臂控制吸盤沿步進鏈條的方向移動，吸盤的安裝架與配適缺口相匹配且被配適缺口所限位，所述吸盤通過真空泵控制吸引及放開動作，所述操作臺通過可拆卸底座固定在操作軌上，所述操作軌與步進鏈條平行設(shè)置；

沿平移傳輸帶上還設(shè)有預(yù)制臺，所述預(yù)制臺包括鋪設(shè)在平移傳輸帶上方的測試板，該測試板上鋪設(shè)有多組陣列設(shè)置的傳感器，所述測試板通過多根懸空支架固定；

所述測試板上還設(shè)有可轉(zhuǎn)動測試的探測頭，該探測頭通過調(diào)節(jié)軸、固定架、平移支架安裝在測試板上，所述調(diào)節(jié)軸沿設(shè)置在固定架上的弧形軌道移動，所述平移支架的轉(zhuǎn)動控制固定架沿水平方向移動，所述固定架與平移支架通過固定板及安裝槽固定連接，所述安裝槽為設(shè)置在固定架上的兩道平行槽體；

所述平移傳輸帶的端部設(shè)有卸料臺，該卸料臺通過高度調(diào)節(jié)架控制與載片處于同一水平高度上；

所述平移傳輸帶上設(shè)有樣品承載架，該樣品承載架隨平移傳輸帶移動并通過調(diào)節(jié)支架及調(diào)節(jié)支架上的彈性載物插槽運載載片，所述平移傳輸帶通過四個方位調(diào)節(jié)臺承載并通過方位調(diào)節(jié)臺控制水平及垂直方位；

所述方位調(diào)節(jié)臺、送樣臺、操作臺、預(yù)制臺及卸料臺均設(shè)置在平臺臺體上，所述高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置設(shè)置在真空腔體內(nèi)。

優(yōu)選的，所述樣品承載架包括對稱設(shè)置的兩個支架輪結(jié)構(gòu)，兩個支架輪結(jié)構(gòu)上通過調(diào)節(jié)支架承載放料臺，彈性載物插槽設(shè)置在放料臺上，所述彈性載物插槽與吸盤及步進鏈條的彈性件設(shè)置在同一水平高度上。

優(yōu)選的，所述操作臺的吸盤與送樣臺的步進鏈條配合動作，步進電機控制步進鏈條每前進一個行程，吸盤向前做一次吸取樣品的動作。

優(yōu)選的，所述送樣臺通過四根升降桿固定支撐，所述升降桿通過電機及鏈條控制升降動作。

優(yōu)選的，所述樣品承載架上的彈性載物插槽設(shè)置在調(diào)節(jié)支架上，所述調(diào)節(jié)支架通過一根轉(zhuǎn)軸控制水平或垂直方向，所述轉(zhuǎn)軸通過載物電機控制轉(zhuǎn)動，所述載片通過測試板時為水平狀態(tài)，所述載片通過探測頭時為垂直狀態(tài)。

優(yōu)選的，所述卸料臺上設(shè)有吸盤，所述吸盤設(shè)置在升降結(jié)構(gòu)和水平移動結(jié)構(gòu)上。

優(yōu)選的，所述樣品承載架到達卸料臺旁時，所述樣品承載架撞擊卸料臺側(cè)壁觸動控制開關(guān)，所述控制開關(guān)氣動升降機構(gòu)及平移機構(gòu)控制吸盤與載片表面接觸，所述吸盤的真空泵啟動將載片吸附固定，所述升降機構(gòu)及平移機構(gòu)復(fù)位，所述吸盤的真空泵放氣將載片放置在卸料臺表面，所述斜梁臺表面設(shè)有循環(huán)轉(zhuǎn)動的卸料帶，所述卸料帶將載片輸送到檢測臺真空腔體外部。

高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置的檢測方法，包括如下步驟：

a、啟動高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置，將承載有待檢測樣品的載片設(shè)在在格柵支架上并放置在真空腔體內(nèi)，真空腔體抽真空；

b、通過手套箱將格柵支架安裝在步進鏈條上，將送樣臺的步進鏈條、操作臺的吸盤及平移傳輸帶的調(diào)節(jié)支架設(shè)置在設(shè)定水平高度上，調(diào)整測試板傳感器位置及探測頭的位置，調(diào)整卸料臺的高度位置；

c、通過步進電機控制步進鏈條最前側(cè)的載片通過配適缺口處的計數(shù)器，計數(shù)器完成計數(shù)，操作臺控制安裝操作臂控制吸盤向步進鏈條方向移動直到安裝架被配適缺口所限位，真空泵控制吸盤將載片吸附并放置在平移傳輸帶的樣品承載架上；

d、所述平移傳輸帶將載片傳送到預(yù)制臺的測試板下方并停止，所述陣列設(shè)置的傳感器掃描樣品并獲取數(shù)據(jù)；

e、所述平移傳輸帶將載片傳送到測試板的探測頭下方并停止，所述探測頭沿弧形軌道移動掃描樣品并獲取數(shù)據(jù)；

f、所述平移傳輸帶將載片傳送到卸料臺側(cè)，載片通過卸料帶輸送到真空腔體外部。

（三）有益效果：本發(fā)明提供的高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置及檢測方法具有以下優(yōu)點：檢測裝置設(shè)置在真空腔體中，對環(huán)境的溫度、濕度、灰塵等參數(shù)的影響控制標(biāo)準(zhǔn)化，可以對載片的檢測形成連續(xù)檢測，避免多次測量中環(huán)境的變化對檢測結(jié)果造成影響，檢測分離可以減小對測試空間的要求，可以減小設(shè)備體積，可以大批量連續(xù)檢測，檢測調(diào)節(jié)控制標(biāo)準(zhǔn)、檢測速度快，檢測重復(fù)性好。

附圖說明

圖1是本發(fā)明高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

10-平臺臺體；11-平移傳輸帶；12-樣品承載架；13-調(diào)節(jié)支架；20-卸料臺；21-高度調(diào)節(jié)架；22-方位調(diào)節(jié)臺；30-送樣臺；31-限位板支架；32-計數(shù)器；33-升降桿；34-配適缺口；35-步進電機；36-步進鏈條；40-操作臺；41-吸盤；42-安裝操作臂；43-操作軌；44-可拆卸底座；45-真空泵；50-預(yù)制臺；51-固定架；52-調(diào)節(jié)軸；53-探測頭；54-固定板；55-安裝槽；56-平移支架；57-懸空支架；58-傳感器；59-測試板。

具體實施方式

下面結(jié)合優(yōu)選的實施例對本發(fā)明做進一步詳細說明，在以下的描述中闡述了更多的細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是，本發(fā)明顯然能夠以多種不同于此描述的其他方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下根據(jù)實際應(yīng)用情況作類似推廣、演繹，因此不應(yīng)以此具體實施例的內(nèi)容限制本發(fā)明的保護范圍。

圖1是本發(fā)明的實施例的示意圖，需要注意的是，此附圖僅作為示例，并非是按照等比例的條件繪制的，并且不應(yīng)該以此作為對本發(fā)明的實際要求保護范圍構(gòu)成限制。

本發(fā)明提供一種高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置，如圖1所示，包括垂直設(shè)置的平移傳輸帶11及步進鏈條36；

垂直設(shè)置的平移傳輸帶11及步進鏈條36可以通過T字形設(shè)置方式來減小測試裝置的的體積，改變了原有的順序排列的設(shè)置方式，縮小后的設(shè)備對真空腔體的要求也大大降低，對真空腔體的長度的要求也降低了，避免了現(xiàn)有的測試裝置因為長度過長很難找到合適的真空腔體裝載的問題。

所述步進鏈條36上設(shè)有承載載片的格柵支架，所述載片通過彈性件插接固定在該格柵支架上，所述步進鏈條36通過步進電機35控制步進前進，即通過步進電機35實現(xiàn)步進鏈條36每個行程固定前進一個固定長度，與吸盤41配合實現(xiàn)載片從格柵支架到平移傳輸帶11的轉(zhuǎn)移，步進鏈條36鋪設(shè)在送樣臺30上，所述送樣臺30通過升降桿33控制整體的高度，升降桿33可以為一個液壓裝置支撐的伸縮桿，該送樣臺30設(shè)置在平移傳輸帶11一側(cè)，與送樣臺30配合的操作臺40對應(yīng)設(shè)置在平移傳輸帶11的另一側(cè)，所述送樣臺30朝向操作臺40一側(cè)設(shè)有配適缺口34，所述步進鏈條36的端部延伸至配適缺口34的內(nèi)凹邊緣處，所述配適缺口34的內(nèi)凹邊緣底部還包括計數(shù)器32的探測口，所述送樣臺30在配適缺口34兩側(cè)對稱設(shè)置有一對限位板支架31，通過設(shè)置在限位板支架31上的限位裝置調(diào)整載片的位置，限位板支架31上設(shè)有載片可通過的矩形通孔，該矩形通孔具有傾斜外擴的限位邊，該限位邊在與載片接觸時引導(dǎo)載片向矩形通孔的方向移動，防止載片傾斜導(dǎo)致吸盤41及后續(xù)的測試過程中載片位置出現(xiàn)偏差；

將所有的帶測試樣品的載片預(yù)先放置在格柵支架上，將格柵支架放入真空腔體中，通過手套箱等設(shè)備操作將格柵支架安裝在步進鏈條36上，保證了所有載片的均勻安排，也縮短了測試的時間，使得后續(xù)的測試能夠?qū)崿F(xiàn)。

操作臺40通過安裝操作臂42控制吸盤41沿步進鏈條36的方向移動，吸盤41的安裝架與配適缺口34相匹配且被配適缺口34所限位，所述吸盤41通過真空泵45控制吸引及放開動作，所述操作臺40通過可拆卸底座44固定在操作軌43上，所述操作軌43與步進鏈條36平行設(shè)置；安裝操作臂包括一個水平伸縮運動的橫桿和一個控制上下移動的豎桿，橫桿實現(xiàn)吸盤41水平運動，豎桿實現(xiàn)載片的放置動作。

通過可拆卸底座44的設(shè)置，可以實現(xiàn)多種不同型號的操作臺的方便替換，為檢測的多樣性和功能性提供方便。

沿平移傳輸帶11上還設(shè)有預(yù)制臺50，所述預(yù)制臺50包括鋪設(shè)在平移傳輸帶11上方的測試板59，該測試板59上鋪設(shè)有多組陣列設(shè)置的傳感器58，所述測試板59通過多根懸空支架57固定；測試板59覆蓋在待測試的載片上方，在測試板59測試時一般要求載片是水平放置的，陣列設(shè)置的傳感器58可以實現(xiàn)對樣品測試的多種功能，具有很強的可操作空間。

懸空支架57將測試板59懸空設(shè)置，方便待測試載片通過及測試，進一步的，懸空支架57的高度可調(diào)，方便不同規(guī)格的載片通過及在對測試空間要求較高時方便調(diào)整控制，通常真空腔體在垂直方向的空間相對較大，因此，對垂直空間的利用具有更大的可操作性。

所述測試板59上還設(shè)有可轉(zhuǎn)動測試的探測頭53，該探測頭53通過調(diào)節(jié)軸52、固定架51、平移支架56安裝在測試板59上，所述調(diào)節(jié)軸52沿設(shè)置在固定架51上的弧形軌道移動，所述平移支架56的轉(zhuǎn)動控制固定架51沿水平方向移動，所述固定架51與平移支架56通過固定板54及安裝槽55固定連接，所述安裝槽55為設(shè)置在固定架51上的兩道平行槽體；

所述平移傳輸帶11的端部設(shè)有卸料臺20，該卸料臺20通過高度調(diào)節(jié)架21控制與載片處于同一水平高度上；

所述平移傳輸帶11上設(shè)有樣品承載架12，該樣品承載架12隨平移傳輸帶11移動并通過調(diào)節(jié)支架13及調(diào)節(jié)支架13上的彈性載物插槽運載載片，所述平移傳輸帶11通過四個方位調(diào)節(jié)臺22承載并通過方位調(diào)節(jié)臺22控制水平及垂直方位；

方位調(diào)節(jié)臺22包括四個方向調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)螺栓，通過調(diào)節(jié)螺絲控制方位調(diào)節(jié)臺22在水平四個方向的調(diào)整，通過四個方位調(diào)節(jié)臺22的調(diào)節(jié)實現(xiàn)平移傳輸帶的移動和調(diào)整。

所述方位調(diào)節(jié)臺22、送樣臺30、操作臺40、預(yù)制臺50及卸料臺20均設(shè)置在平臺臺體10上，所述檢測測試臺設(shè)置在真空腔體內(nèi)。

優(yōu)選的，所述樣品承載架12包括對稱設(shè)置的兩個支架輪結(jié)構(gòu)，兩個支架輪結(jié)構(gòu)上通過調(diào)節(jié)支架13承載放料臺，彈性載物插槽設(shè)置在放料臺上，所述彈性載物插槽與吸盤41及步進鏈條36的彈性件設(shè)置在同一水平高度上。

優(yōu)選的，所述操作臺40的吸盤41與送樣臺30的步進鏈條36配合動作，步進電機35控制步進鏈條36每前進一個行程，吸盤41向前做一次吸取樣品的動作。

優(yōu)選的，所述送樣臺30通過四根升降桿33固定支撐，所述升降桿33通過電機及鏈條控制升降動作。

優(yōu)選的，所述樣品承載架12上的彈性載物插槽設(shè)置在調(diào)節(jié)支架13上，所述調(diào)節(jié)支架13通過一根轉(zhuǎn)軸控制水平或垂直方向，所述轉(zhuǎn)軸通過載物電機控制轉(zhuǎn)動，所述載片通過測試板59時為水平狀態(tài)，所述載片通過探測頭53時為垂直狀態(tài)。

優(yōu)選的，所述卸料臺20上設(shè)有吸盤41，所述吸盤41設(shè)置在升降結(jié)構(gòu)和水平移動結(jié)構(gòu)上。

優(yōu)選的，所述樣品承載架12到達卸料臺20旁時，所述樣品承載架12撞擊卸料臺20側(cè)壁觸動控制開關(guān)，所述控制開關(guān)氣動升降機構(gòu)及平移機構(gòu)控制吸盤41與載片表面接觸，所述吸盤41的真空泵45啟動將載片吸附固定，所述升降機構(gòu)及平移機構(gòu)復(fù)位，所述吸盤41的真空泵45放氣將載片放置在卸料臺20表面，所述斜梁臺表面設(shè)有循環(huán)轉(zhuǎn)動的卸料帶，所述卸料帶將載片輸送到檢測臺真空腔體外部。

高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置的檢測方法，包括如下步驟：

a、啟動高可靠性大批量連續(xù)檢測裝置，將承載有待檢測樣品的載片設(shè)在在格柵支架上并放置在真空腔體內(nèi)，真空腔體抽真空；

b、通過手套箱將格柵支架安裝在步進鏈條36上，將送樣臺30的步進鏈條36、操作臺40的吸盤41及平移傳輸帶11的調(diào)節(jié)支架13設(shè)置在設(shè)定水平高度上，調(diào)整測試板59傳感器58位置及探測頭53的位置，調(diào)整卸料臺20的高度位置；

c、通過步進電機35控制步進鏈條36最前側(cè)的載片通過配適缺口34處的計數(shù)器32，計數(shù)器32完成計數(shù)，操作臺40控制安裝操作臂42控制吸盤41向步進鏈條36方向移動直到安裝架被配適缺口34所限位，真空泵45控制吸盤41將載片吸附并放置在平移傳輸帶11的樣品承載架12上；

d、所述平移傳輸帶11將載片傳送到預(yù)制臺50的測試板59下方并停止，所述陣列設(shè)置的傳感器58掃描樣品并獲取數(shù)據(jù)；

e、所述平移傳輸帶11將載片傳送到測試板59的探測頭53下方并停止，所述探測頭53沿弧形軌道移動掃描樣品并獲取數(shù)據(jù)；

f、所述平移傳輸帶11將載片傳送到卸料臺20側(cè)，載片通過卸料帶輸送到真空腔體外部。

以上內(nèi)容是對本發(fā)明創(chuàng)造的優(yōu)選的實施例的說明，可以幫助本領(lǐng)域技術(shù)人員更充分地理解本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)方案。但是，這些實施例僅僅是舉例說明，不能認定本發(fā)明創(chuàng)造的具體實施方式僅限于這些實施例的說明。對本發(fā)明創(chuàng)造所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演和變換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍。