本發(fā)明涉及氣體檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種氣體分析裝置。
背景技術(shù)：
目前，在對真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分進行分析時，需要利用氣體分析儀對真空系統(tǒng)進行分析?，F(xiàn)有技術(shù)中是將氣體分析儀連接在真空管道的支路上，在進行檢測時，由于氣體在支路中的量較少，造成檢測困難，并導(dǎo)致檢測數(shù)據(jù)不準確。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明提供一種氣體分析裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的檢測數(shù)據(jù)不準確的問題。
根據(jù)本發(fā)明提供的一種氣體分析裝置，氣體分析裝置包括主管道，用于通入檢測氣體；檢測裝置，檢測裝置的檢測端口與主管道連通；導(dǎo)向裝置，設(shè)置在主管道內(nèi)，用于將檢測氣體導(dǎo)向到檢測裝置的檢測端口。
進一步地，導(dǎo)向裝置包括設(shè)置在主管道內(nèi)的第一導(dǎo)向段及延伸至檢測裝置的檢測端口的第二導(dǎo)向段，第一導(dǎo)向段與第二導(dǎo)向段連通，第一導(dǎo)向段與第二導(dǎo)向段將主管道內(nèi)的檢測氣體導(dǎo)入至檢測端口處。
進一步地，氣體分析裝置還包括分支管道，分支管道的一端與主管道的中部連通，分支管道的另一端與檢測裝置的檢測端口連接，第二導(dǎo)向段設(shè)置在分支管道內(nèi)。
進一步地，導(dǎo)向裝置包括設(shè)置在主管道內(nèi)的第一導(dǎo)向管段及設(shè)置在分支管道內(nèi)的第二導(dǎo)向管段，第一導(dǎo)向管段設(shè)置在主管道內(nèi)，第二導(dǎo)向管段與檢測裝置的檢測端口之間具有預(yù)定距離。
進一步地，主管道具有入口端和出口端，第一導(dǎo)向段的開口朝主管道的入口端設(shè)置。
進一步地，導(dǎo)向裝置包括收集部，收集部設(shè)置在第一導(dǎo)向段的開口處。
進一步地，第一導(dǎo)向段的軸線與第二導(dǎo)向段的軸線呈夾角設(shè)置。
進一步地，第一導(dǎo)向段的軸線與第二導(dǎo)向段的軸線的夾角為90度。
進一步地，第一導(dǎo)向段上設(shè)置有環(huán)形板，環(huán)形板為圓盤形或漏斗形，環(huán)形板為收集部。
進一步地，主管道包括第一管道和第二管道，第一管道與第二管道相互連通，收集部設(shè)置在第一管道與第二管道的連接處，收集部通過卡簧分別與第一管道和第二管道卡接。
進一步地，檢測裝置為殘余氣體分析儀，殘余氣體分析儀的檢測氣體探頭設(shè)置在檢測端口處。
應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，通過在主管道內(nèi)增加導(dǎo)向裝置，利用導(dǎo)向裝置將檢測氣體引至檢測裝置的檢測端口處，進而能夠增加檢測端口處的氣體流量，使得檢測裝置檢測的數(shù)據(jù)更加準確。
附圖說明
構(gòu)成
本技術(shù)：
的一部分的說明書附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當限定。在附圖中：
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明實施例提供的氣體分析裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，上述附圖包括以下附圖標記：
10、主管道；20、分支管道；30、檢測裝置；40、導(dǎo)向裝置；41、收集部。
具體實施方式
需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細說明本發(fā)明。
如圖1所示，本發(fā)明實施例為氣體分析裝置，該氣體分析裝置包括：主管道10、檢測裝置30以及導(dǎo)向裝置40。其中，主管道10用于通入檢測氣體，檢測裝置30的檢測端口與主管道10連通，導(dǎo)向裝置40設(shè)置在主管道10內(nèi)，通過導(dǎo)向裝置40將檢測氣體引入至檢測裝置30的檢測端口處。如此可增加檢測氣體通入至檢測裝置30處的流量，以便于檢測裝置30對檢測氣體進行檢測?？蛇x地，該檢測裝置30為殘余氣體分析儀，導(dǎo)向裝置40可選用導(dǎo)向管。
應(yīng)用本發(fā)明提供的實施例，通過在主管道10內(nèi)增加導(dǎo)向裝置40，利用導(dǎo)向裝置40將檢測氣體引至檢測裝置30的檢測端口處，進而能夠增加檢測端口處的氣體流量，使得檢測裝置30檢測的數(shù)據(jù)更加準確。
具體地，導(dǎo)向裝置40包括第一導(dǎo)向管段和第二導(dǎo)向管段，第一導(dǎo)向管段與第二導(dǎo)向管段連通，檢測氣體依次通過第一導(dǎo)向管段、第二導(dǎo)向管段到達檢測裝置30的檢測端口處。
在本實施例中，該氣體分析裝置還包括分支管道20，分支管道20的一端與主管道10的中部連通，分支管道20的另一端與檢測裝置30的檢測端口連接。具體地，第二導(dǎo)向管段設(shè)置在該分支管道20內(nèi)。
具體地，該主管道10具有入口端和出口端，第一導(dǎo)向管段的開口朝主管道10的入口端方向設(shè)置，以便于檢測氣體進入導(dǎo)向裝置40內(nèi)，并送入分支管道20。
可選地，為了使由導(dǎo)向裝置40導(dǎo)入的氣體易被檢測裝置30檢測到，將導(dǎo)向裝置40的一端靠近檢測裝置30的檢測端口設(shè)置。
在本實施例中，為了進一步收集主管道10內(nèi)的檢測氣體，在導(dǎo)向裝置40的第一導(dǎo)向管段上設(shè)置有收集部41，以便于收集檢測氣體并將檢測氣體送至檢測裝置30的檢測端口處。
可選地，第一導(dǎo)向管段的軸線與第二導(dǎo)向管段的軸線呈夾角設(shè)置，可選地，該夾角為90度。
其中，收集部41可設(shè)置為漏斗形，且直徑大的一端朝向主管道10的入口端，如此能夠增加進入導(dǎo)向裝置40內(nèi)的體積。也可將收集部41設(shè)置為圓盤形，且該圓盤環(huán)形設(shè)置在導(dǎo)向管上位于主管道10的端部。其中，環(huán)形板的直徑可等于主管道10的內(nèi)徑，以使檢測氣體全部通過導(dǎo)向裝置40進入分支管道20。
在本實施例中，該主管道10包括第一管道和第二管道，并且第一管道與第二管道相互連通，將收集部41設(shè)置在第一管道與第二管道的連接處，如此可便于工作人員對導(dǎo)向裝置40進行安裝。收集部41可通過多種方式固定在主管道10內(nèi)，可通過螺釘?shù)冗B接件進行固定，也可通過焊接的方式固定在主管道10內(nèi)，可選地，在本實施例中，采用卡簧將收集部41分別與第一管道和第二管道卡接。
如圖1所示，通入主管道10內(nèi)的檢測氣體全部通過導(dǎo)向裝置40進入分支管道20，從導(dǎo)向裝置40流出后進入分支管道20，經(jīng)檢測裝置30檢測后，從分支管道20流入主管道10，最后隨主管道10內(nèi)的檢測氣體流向出口端。
通過本發(fā)明實施例提供的氣體分析裝置，能夠提高氣體分析準確率，并且，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，便于生產(chǎn)或操作。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。