技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種模板式真空吸平裝置及其料片檢測(cè)移載設(shè)備。其中，該模板式真空吸平裝置包含一吸附載臺(tái)，一真空氣室，以及一模板機(jī)構(gòu)。該吸附載臺(tái)具有真空吸附平面，以及多數(shù)個(gè)設(shè)置于該真空吸附平面上的吸孔。該真空氣室相鄰于該吸附載臺(tái)，具有提供負(fù)壓的真空吸引單元。該模板機(jī)構(gòu)設(shè)置于該吸附載臺(tái)一側(cè)，該模板機(jī)構(gòu)包含有多數(shù)個(gè)分別對(duì)應(yīng)至該吸孔的頂針，以及一設(shè)置于該頂針一側(cè)的圖形模板，該圖形模板具有相互間具有階差的第一階段平面及第二階段平面，該第一階段平面抵附于部分多數(shù)個(gè)頂針的一側(cè)以令該頂針覆蓋于部分該吸孔上，以界定一料片吸附區(qū)域。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒嘉駿;蔡鴻儒;王人杰;徐志宏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：由田新技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201510126776
技術(shù)研發(fā)日：2015.03.23
技術(shù)公布日：2016.11.23