專利名稱：輸送裝置及具有該輸送裝置的檢測(cè)機(jī)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)機(jī)臺(tái)，尤其是一種具有吸附支撐器的輸送裝置及具有該
裝置的檢測(cè)機(jī)臺(tái)。
背景技術(shù)：
原油價(jià)格不斷升高的當(dāng)今，替代性能源需求日益加劇，太陽(yáng)能以其取之不竭、使用
無(wú)污染、轉(zhuǎn)換效率日漸增高等特性，太陽(yáng)能相關(guān)技術(shù)因而日益精進(jìn)，成為替代性能源的首
選。目前不僅在計(jì)算器、手表等小型電子產(chǎn)品中廣泛應(yīng)用，在道路交通號(hào)志、路燈、建筑照明
等建材的應(yīng)用也逐漸普及；近年來(lái)工廠、家用等大功率太陽(yáng)光發(fā)電系統(tǒng)也逐漸具備實(shí)用的
價(jià)值，而業(yè)界也為追求更高的光電轉(zhuǎn)換效率、與更低廉的建置成本而努力不懈。 此種光電轉(zhuǎn)換過(guò)程中，負(fù)責(zé)吸收、擷取太陽(yáng)光、并轉(zhuǎn)換為電能輸出的太陽(yáng)能晶圓為
不可或缺的要素；無(wú)論出廠前，采購(gòu)使用時(shí)，均必需進(jìn)行相關(guān)測(cè)試與分類、包裝，且隨市場(chǎng)需
求的大量提升，產(chǎn)量大幅成長(zhǎng)，如何提升檢測(cè)的效率、精確性、及減少晶圓于檢測(cè)中意外受
損，也成為自動(dòng)化檢測(cè)機(jī)臺(tái)改進(jìn)的重點(diǎn)。 為確保如圖1所示的太陽(yáng)能晶圓1正反兩面的電極與光照面結(jié)構(gòu)均符合預(yù)期，現(xiàn) 有技術(shù)中有一種技術(shù)方案，利用吸嘴吸取其中一面，并檢測(cè)另一面后，將太陽(yáng)能晶圓已檢測(cè) 面置于傳輸載具上，隨后再檢測(cè)另一未檢測(cè)面。 檢測(cè)機(jī)臺(tái)的吸嘴將在一預(yù)定位置(圖未示)吸取待測(cè)晶圓，如圖2所示，受測(cè)的太 陽(yáng)能晶圓9在輸送裝置1動(dòng)作及停止時(shí)，往往因慣性作用而無(wú)法與其同步，讓太陽(yáng)能晶圓9 不能恰好停止于預(yù)定位置，使檢測(cè)裝置或吸嘴無(wú)法正確測(cè)量或吸取搬移待測(cè)太陽(yáng)能晶圓， 導(dǎo)致檢測(cè)的不確定因素。 再者，由于太陽(yáng)能晶圓厚度甚薄，容易在輕微碰撞下產(chǎn)生肉眼無(wú)法辨識(shí)的微裂而 受損；搬移與檢測(cè)過(guò)程中，只要發(fā)生些許非預(yù)期碰撞，都可能導(dǎo)致優(yōu)良率下降、成本遽增，甚 至完測(cè)的晶圓損壞而增加出貨的不確定性。 因此，需要提供一種技術(shù)方案，使得太陽(yáng)能晶圓在受測(cè)及被運(yùn)送時(shí)，皆能大幅降低 慣性偏移，將受測(cè)晶圓送抵預(yù)定位置，不僅可降低搬移與檢測(cè)的不確定風(fēng)險(xiǎn)，使此類檢測(cè)機(jī) 臺(tái)獲得精確的檢測(cè)結(jié)果，更能減少無(wú)謂的碰撞損壞，提升產(chǎn)品優(yōu)良率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種輸送裝置及具有該輸送裝置的檢測(cè)機(jī)臺(tái)，旨在解 決使片狀待測(cè)物輸送到正確位置并避免受損的問(wèn)題。 本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的， 一種輸送裝置，用來(lái)輸送一片狀待測(cè)組件，所述輸送裝 置包括 與所述輸送裝置通氣連接的一組低壓裝置； —組承載搬移所述片狀待測(cè)組件、且形成有一通氣部的皮帶組； —組驅(qū)動(dòng)所述皮帶組的驅(qū)動(dòng)件；[0013] —組具有一個(gè)至少部分支撐于所述皮帶組下方、并對(duì)應(yīng)所述通氣部形成有至少一 個(gè)氣孔的頂板，以及一組與所述頂板形成一個(gè)通氣連接至所述低壓裝置氣室的環(huán)繞壁的吸 附支撐器。 所述的皮帶組包括兩條彼此平行且相間隔形成所述通氣部的皮帶，所述吸附支撐 器頂板上形成有復(fù)數(shù)個(gè)對(duì)應(yīng)所述間隔的氣孔。 所述的皮帶組包括三條彼此平行、且沿搬移所述片狀待測(cè)組件的方向鏡像對(duì)稱的 皮帶，其中所述通氣部包括復(fù)數(shù)個(gè)形成于所述三條皮帶中間一條皮帶的通孔，且所述吸附 支撐器頂板上形成有一道對(duì)應(yīng)所述通孔的長(zhǎng)槽形氣孔。 所述皮帶中至少一條具有一個(gè)待測(cè)組件承載面、及一個(gè)相反于且摩擦系數(shù)小于所 述待測(cè)組件承載面的吸附支撐器接觸面。 所述皮帶組包括通氣部，所述通氣部包括復(fù)數(shù)個(gè)通氣孔，所述吸附支撐器頂板上
形成有一道對(duì)應(yīng)所述通氣孔的長(zhǎng)槽形氣孔。 所述吸附支撐器為一個(gè)壓克力盒。 本實(shí)用新型還提供了一種具有輸送裝置的檢測(cè)機(jī)臺(tái)，用來(lái)檢測(cè)一種片狀待測(cè)組 件，所述檢測(cè)機(jī)臺(tái)包括基座、供料裝置、檢測(cè)裝置、分類裝置和輸送裝置，所述的輸送裝置包 括 —組承載搬移所述片狀待測(cè)組件、且形成有一通氣部的皮帶組； —組驅(qū)動(dòng)所述皮帶組的驅(qū)動(dòng)件； —組具有一個(gè)至少部分支撐于所述皮帶組下方、并對(duì)應(yīng)所述通氣部形成有至少一 個(gè)氣孔的頂板，以及一組與所述頂板形成一個(gè)通氣連接至該低壓裝置氣室的環(huán)繞壁的吸附 支撐器。 所述片狀待測(cè)組件為太陽(yáng)能晶圓，且所述供料裝置包括一個(gè)承載復(fù)數(shù)個(gè)疊置的太 陽(yáng)能晶圓的承載器。 所述供料裝置還包括一組吸附所述疊置的太陽(yáng)能晶圓最上方的太陽(yáng)能晶圓至所 述輸送裝置的吸嘴。 本實(shí)用新型克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供的輸送裝置在輸送片狀待測(cè)物可以與其同 步動(dòng)作或者停止，減少太陽(yáng)能晶圓檢測(cè)機(jī)臺(tái)于輸送過(guò)程中，太陽(yáng)能晶圓受到不必要的損傷， 減少不必要停機(jī)，而提升檢測(cè)效率及檢測(cè)精度。

圖1是現(xiàn)有的太陽(yáng)能晶圓正反兩面外觀立體示意圖； 圖2是現(xiàn)有的太陽(yáng)能晶圓置于現(xiàn)有輸送裝置的立體示意圖； 圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的太陽(yáng)能晶圓檢測(cè)機(jī)臺(tái)實(shí)施例的立體示意圖； 圖4是本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的具有吸附支撐器的輸送裝置及具有該裝置
的太陽(yáng)能晶圓檢測(cè)機(jī)臺(tái)的部份立體示意圖； 圖5是本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的具有吸附支撐器的輸送裝置的立體示意圖； 圖6是本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的吸附支撐器的立體示意圖； 圖7是本實(shí)用新型第一實(shí)施例提供的具有吸附支撐器的輸送裝置的剖面示意圖； 圖8是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的俯視示意圖；[0034] 圖9是本實(shí)用新型第三實(shí)施例的俯視示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施 例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋 本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。 本實(shí)用新型實(shí)施例中，待測(cè)物以太陽(yáng)能晶圓為例進(jìn)行說(shuō)明，具體應(yīng)用本實(shí)用新型
提供的技術(shù)方案時(shí)，其他片狀待測(cè)物也可以采用本實(shí)用新型所提供的檢測(cè)機(jī)臺(tái)。 圖3及圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的太陽(yáng)能晶圓檢測(cè)機(jī)臺(tái)的立體示意圖，檢測(cè)
機(jī)臺(tái)2包含基座5、供料裝置4、輸送裝置3、分類裝置7、檢測(cè)裝置6及低壓裝置8 ;其中，供
料裝置4包含承載器41及吸嘴42。為避免圖面紊亂，無(wú)關(guān)闡述的細(xì)部支架及管線通道并未繪示。 本實(shí)用新型實(shí)施例提供的輸送裝置3第一實(shí)施例如圖5所示，輸送裝置3包含兩 條相互平行的皮帶311，圖5中以皮帶組31標(biāo)識(shí)，以承載及移動(dòng)片狀待測(cè)組件(本實(shí)施例中 以太陽(yáng)能晶圓為例進(jìn)行說(shuō)明)；皮帶組31受到例如一皮帶輪驅(qū)動(dòng)件33所帶動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。 如圖6所示的吸附支撐器32則部分支撐于該皮帶組31的下方， 一方面提供一支 撐力，支撐該兩條皮帶311轉(zhuǎn)動(dòng)順利；另方面，為使輸送裝置3動(dòng)作及停止時(shí)，太陽(yáng)能晶圓9
確實(shí)與其同步，輸送動(dòng)作不會(huì)因慣性延遲動(dòng)作，停止時(shí)也避免慣性運(yùn)作而超過(guò)預(yù)定位置，該 太陽(yáng)能晶圓9透過(guò)該皮帶組31形成的通氣部312，受到該吸附支撐器32的氣孔322所施的 適當(dāng)吸附力，而能穩(wěn)固地在移動(dòng)中保持正確位置。當(dāng)然，低壓裝置8所提供的低壓吸力大小 需適當(dāng)，以免造成如太陽(yáng)能晶圓彎曲損壞。 圖7是本實(shí)用新型第一實(shí)施例，具有吸附支撐器的輸送裝置的剖面示意圖，由此 可知，對(duì)應(yīng)該通氣部312的該氣孔322形成于該吸附支撐器32的頂板321，該頂板321并不 會(huì)直接接觸該太陽(yáng)能晶圓9，而是與皮帶311的吸附支撐器接觸面3115接觸，以避免待測(cè)組 件直接被吸附于吸附支撐器處。 而該皮帶311亦具有一待測(cè)組件承載面3114，其摩擦系數(shù)大于該吸附支撐器接觸 面3115，如此配置系為了讓該太陽(yáng)能晶圓9穩(wěn)固附著于該皮帶311上，較光滑的該支撐器接 觸面3115則使該皮帶組31順利帶動(dòng)，且該兩條皮帶311形成一通氣部312，其經(jīng)過(guò)該頂板 321上的該氣孔322，并經(jīng)一氣道，通氣連接至該低壓裝置8。 本實(shí)用新型的第二實(shí)施例如圖8所述，其中，輸送裝置3'包含皮帶311'、驅(qū)動(dòng)件 33'、吸附支撐器32'等結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例相仿，吸附支撐器32'亦同樣具有復(fù)數(shù)圓形氣孔 322'，但本實(shí)施例中的皮帶311'透過(guò)形成于該皮帶3ir的復(fù)數(shù)矩形通氣部312'，將吸附支 撐器32'的吸力透至待測(cè)組件，由此產(chǎn)生相應(yīng)的效果。 進(jìn)一步說(shuō)明第三實(shí)施例，如圖9所示，其中輸送裝置3"包含三條相互平行的皮帶 311"，以承載及移動(dòng)尺寸較大的太陽(yáng)能晶圓；驅(qū)動(dòng)件33"及支撐皮帶311"的吸附支撐器32" 亦如前述，但該吸附支撐器32"具有一長(zhǎng)條矩形氣孔322"，透過(guò)形成于該皮帶311'的復(fù)數(shù) 圓形通氣部312"，同樣保證該片狀待測(cè)組件被輸送于預(yù)定位置；其基本構(gòu)想與上述實(shí)施例 相仿，不再贅述。 以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則的內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型 的保護(hù)范圍的內(nèi)。
權(quán)利要求一種輸送裝置，用來(lái)輸送一片狀待測(cè)組件，其特征在于，所述輸送裝置包括與所述輸送裝置通氣連接的一組低壓裝置；一組承載搬移所述片狀待測(cè)組件、且形成有一通氣部的皮帶組；一組驅(qū)動(dòng)所述皮帶組的驅(qū)動(dòng)件；一組具有一個(gè)至少部分支撐于所述皮帶組下方、并對(duì)應(yīng)所述通氣部形成有至少一個(gè)氣孔的頂板，以及一組與所述頂板形成一個(gè)通氣連接至所述低壓裝置氣室的環(huán)繞壁的吸附支撐器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述的皮帶組包括兩條彼此平行且相間隔形成所述通氣部的皮帶，所述吸附支撐器頂板上形成有復(fù)數(shù)個(gè)對(duì)應(yīng)所述間隔的氣孔。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述的皮帶組包括三條彼此平行、且沿搬移所述片狀待測(cè)組件的方向鏡像對(duì)稱的皮帶，其中所述通氣部包括復(fù)數(shù)個(gè)形成于所述三條皮帶中間一條皮帶的通孔，且所述吸附支撐器頂板上形成有一道對(duì)應(yīng)所述通孔的長(zhǎng)槽形氣孔。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的輸送裝置，其特征在于，所述皮帶中至少一條具有一個(gè)待測(cè)組件承載面、及一個(gè)相反于且摩擦系數(shù)小于所述待測(cè)組件承載面的吸附支撐器接觸面。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，所述皮帶組包括通氣部，所述通氣部包括復(fù)數(shù)個(gè)通氣孔，所述吸附支撐器頂板上形成有一道對(duì)應(yīng)所述通氣孔的長(zhǎng)槽形氣孔。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2或者3或者5所述的輸送裝置，其特征在于，所述吸附支撐器為一個(gè)壓克力盒。
7. —種具有輸送裝置的檢測(cè)機(jī)臺(tái)，用來(lái)檢測(cè)一種片狀待測(cè)組件，所述檢測(cè)機(jī)臺(tái)包括基座、供料裝置、檢測(cè)裝置、分類裝置和輸送裝置，其特征在于，所述的輸送裝置包括一組承載搬移所述片狀待測(cè)組件、且形成有一通氣部的皮帶組；一組驅(qū)動(dòng)所述皮帶組的驅(qū)動(dòng)件；一組具有一個(gè)至少部分支撐于所述皮帶組下方、并對(duì)應(yīng)所述通氣部形成有至少一個(gè)氣孔的頂板，以及一組與所述頂板形成一個(gè)通氣連接至該低壓裝置氣室的環(huán)繞壁的吸附支撐器。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述片狀待測(cè)組件為太陽(yáng)能晶圓，且所述供料裝置包括一個(gè)承載復(fù)數(shù)個(gè)疊置的太陽(yáng)能晶圓的承載器。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測(cè)機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述供料裝置還包括一組吸附所述疊置的太陽(yáng)能晶圓最上方的太陽(yáng)能晶圓至所述輸送裝置的吸嘴。
專利摘要本實(shí)用新型適用于片狀待測(cè)物檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種輸送裝置及具有該輸送裝置的檢測(cè)機(jī)臺(tái)，所述輸送裝置包括與所述輸送裝置通氣連接的一組低壓裝置；一組用以承載搬移所述片狀待測(cè)組件、且形成有一通氣部的皮帶組；一組用以驅(qū)動(dòng)所述皮帶組的驅(qū)動(dòng)件；一組具有一個(gè)至少部分支撐于所述皮帶組下方、并對(duì)應(yīng)所述通氣部形成有至少一個(gè)氣孔的頂板，以及一組與所述頂板形成一個(gè)通氣連接至所述低壓裝置氣室的環(huán)繞壁的吸附支撐器。本實(shí)用新型提供的輸送裝置在輸送片狀待測(cè)物可以與其同步動(dòng)作或者停止，減少太陽(yáng)能晶圓檢測(cè)機(jī)臺(tái)于輸送過(guò)程中，太陽(yáng)能晶圓受到不必要的損傷，減少不必要停機(jī)，而提升檢測(cè)效率及檢測(cè)精度。
文檔編號(hào)G01N35/00GK201440141SQ200920156369
公開(kāi)日2010年4月21日 申請(qǐng)日期2009年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
發(fā)明者林漢聲 申請(qǐng)人:中茂電子(深圳)有限公司