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一種微流路芯片系列微器件的結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

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一種微流路芯片系列微器件的結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種微流路芯片系列微器件的結(jié)構(gòu),其特征在于:所述微器件為微泵,由兩個(gè)微閥和一個(gè)微活塞結(jié)合而成;每個(gè)微閥包括一個(gè)氣體通道和三個(gè)液體通道,氣體通道的一端接氣體,氣體通道的另一端通過(guò)一個(gè)逐漸變窄的微通道和中間一個(gè)液體通道的一端連通,該微通道的兩側(cè)再分別通過(guò)一個(gè)逐漸變窄的微通道和兩個(gè)液體通道的一端連通,中間液體通道的另一端和一側(cè)液體通道的另一端合并為進(jìn)液口,另一側(cè)液體通道的另一側(cè)為出液口;微活塞包括一個(gè)氣體通道和一個(gè)液體通道,氣體通道的一端接氣體,氣體通道的另一端通過(guò)一個(gè)逐漸變窄的微通道和液體通道的中段連通,液體通道的一端與一個(gè)微閥的出液口連接而另一端與另一個(gè)微閥的進(jìn)液口連接。
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