專利名稱:一種分子泵防護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及真空獲得設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別是ー種分子泵防護(hù)裝置。
背景技術(shù):
分子泵是ー種常用的真空獲得設(shè)備,主要用于獲得10_4pa以上的超高真空,近年來(lái)大批量地應(yīng)用于エ業(yè)領(lǐng)域。由于原材料存在雜質(zhì)或加工組裝過(guò)程中的不可控因素等,分子泵在抽調(diào)過(guò)程中偶爾會(huì)發(fā)生碎泵的情況。所謂碎泵是指分子泵在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,某個(gè)動(dòng)片意外斷裂后,引起其他動(dòng)片、靜片大面積破碎的現(xiàn)象。在發(fā)生碎泵后動(dòng)片原有的動(dòng)能會(huì)傳遞給泵體,進(jìn)而將引起泵體飛出,可見(jiàn)如果在分子泵抽調(diào)和檢測(cè)過(guò)程中發(fā)生碎泵引起泵體飛出將對(duì)生產(chǎn)安全造成極大的威脅。因此,在抽調(diào)和檢測(cè)過(guò)程中,需要為分子泵安裝相應(yīng)的防護(hù)裝置。現(xiàn)有技術(shù)中的ー種分子泵防護(hù)裝置僅限于對(duì)立式分子泵的防護(hù),如中國(guó)專利文獻(xiàn)CN200975374Y中公開(kāi)的立式軸流泵地腳螺栓,利用地腳螺栓等緊固零件將泵底蓋固定在地面上。然而,這種防護(hù)裝置只能用于立式分子泵的防護(hù),而不能用于臥式分子泵和倒立式分子泵的防護(hù)。這是由于臥式分子泵和倒立式分子泵工作時(shí),其泵體位置狀態(tài)固定、不能任意改變角度。對(duì)于臥式分子泵而言,工作時(shí)其柱狀面接觸地面(現(xiàn)有的臥式分子泵的柱狀面不具有泵腿等支撐部件),沒(méi)法用螺栓等將其與地面固定;而對(duì)于倒立式分子泵,若使用地腳螺栓將其泵ロ與地面固定,那么每次打開(kāi)分子泵之前都要先將地腳螺栓拆除,再打開(kāi)泵ロ,非常麻煩。為了解決上述防護(hù)裝置通用性差,無(wú)法用于臥式分子泵和倒立式分子泵的問(wèn)題,現(xiàn)有技術(shù)出現(xiàn)了其他形式的防護(hù)方法。ー種方法是利用塑料帶、布帶等固定帶將分子泵捆綁于額外配置的底座或重量較大的設(shè)備上,這種方法雖然操作簡(jiǎn)單方便,但是由于塑料帯、布帶等固定帶的束縛カ較小,使得這種方法的防護(hù)效果非常有限;另ー種方法是在分子泵外圍加裝防護(hù)罩,采用這種方法首先要建造一個(gè)體積大小與泵體適應(yīng)的防護(hù)罩,其設(shè)備建造成本比較高,占用空間也較大,而且往往需要與其他防護(hù)方式同時(shí)采用才能達(dá)到比較理想的安全防護(hù)效果。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于現(xiàn)有技術(shù)中的防護(hù)裝置防護(hù)效果不好或者、建造成本較高,而提供一種防護(hù)效果好且成本較低的分子泵防護(hù)裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下—種分子泵防護(hù)裝置,包括基座,為板狀,適于放置在平面上;固定板,其一側(cè)與所述基座可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接,所述固定板的至少ー個(gè)平面為固定面,所述固定面可與分子泵固定連接,所述固定板可連同所述分子泵在所述基座上轉(zhuǎn)動(dòng)。上述防護(hù)裝置中,所述固定面上成型有至少一條與至少ー種分子泵口徑相配合的環(huán)形溝槽,所述環(huán)形溝槽的外沿成型有ー圈固定孔。上述防護(hù)裝置中,所述固定面與所述分子泵的泵ロ之間設(shè)有密封裝置,所述密封裝置為設(shè)置于所述環(huán)形溝槽內(nèi)的密封圏。上述防護(hù)裝置中,所述固定面上成型有三條所述環(huán)形溝槽,三條所述環(huán)形溝槽分別與三種分子泵口徑配合。上述防護(hù)裝置中,所 述固定板的另ー側(cè)設(shè)置有手柄。上述防護(hù)裝置中,還包括設(shè)置于所述基座上的支撐機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu);所述固定板通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述基座可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接;所述支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的ー側(cè)或兩側(cè),且所述固定板垂直于所述基座時(shí)所述支撐機(jī)構(gòu)與所述固定面同側(cè)設(shè)置,所述支撐機(jī)構(gòu)用于支撐所述分子泵的泵體;所述支撐機(jī)構(gòu)包括,支撐塊底座,可滑動(dòng)或可拆卸地固定于所述基座上;至少ー個(gè)支撐塊,可拆卸地固定在所述支撐塊底座上,所述支撐塊的尺寸與所述分子泵的泵體尺寸相適應(yīng);所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括,轉(zhuǎn)軸,可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述基座的表面并與所述基座的表面平行。上述防護(hù)裝置中,所述支撐塊底座上設(shè)置有兩個(gè)相互平行的所述支撐塊,兩個(gè)所述支撐塊分別與兩種泵體尺寸的所述分子泵配合。上述防護(hù)裝置中,所述支撐機(jī)構(gòu)還包括橡膠墊,所述橡膠墊固定設(shè)置在所述支撐塊與泵體接觸的表面上。上述防護(hù)裝置中,所述固定板與所述基座可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的一側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)支腿,所述旋轉(zhuǎn)支腿與所述轉(zhuǎn)軸固定連接。上述防護(hù)裝置中,所述基座放置于水平面或固定于斜平面上。本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)①本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,其固定板的一側(cè)與基座可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接,固定板至少ー個(gè)平面為固定面,固定面可與分子泵固定連接,固定板可連同分子泵在基座上轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)分子泵發(fā)生碎泵引起泵體要飛出時(shí),與基座相連的固定板能夠拉住泵體,阻止其飛出,可對(duì)分子泵起到顯著的約束作用,防護(hù)效果好,而且本防護(hù)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn),成本較低。當(dāng)導(dǎo)致分子泵飛出的沖擊カ較小時(shí),固定板可以將分子泵完全束縛在其工作初始位置上,防止分子泵飛出對(duì)于周圍工作人員及設(shè)備產(chǎn)生危害;當(dāng)導(dǎo)致分子泵飛出的沖擊カ較大時(shí),固定板可通過(guò)自身轉(zhuǎn)動(dòng),引導(dǎo)分子泵朝基座方向運(yùn)動(dòng),將動(dòng)能消耗在防護(hù)裝置內(nèi)部,從而保護(hù)周圍工作人員和設(shè)備的安全;當(dāng)導(dǎo)致分子泵飛出的沖擊カ非常大且固定板與基座的連接カ不足以抵御該沖擊カ時(shí),固定板會(huì)連同分子泵一起飛出,利用固定板自身的重量,降低分子泵飛出的速度,盡可能減小分子泵飛出造成的危害。②本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,其固定板可連同分子泵在基座上轉(zhuǎn)動(dòng),可用于臥式分子泵和倒立式分子泵的防護(hù),通用性強(qiáng)。當(dāng)固定板垂直于基座放置時(shí),本防護(hù)裝置可以用于臥式分子泵的防護(hù);當(dāng)固定板平行于基座放置時(shí),本防護(hù)裝置可以用于倒立式分子泵的防護(hù)。③本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,在其固定面上成型有至少一條與至少ー種分子泵口徑相配合的環(huán)形溝槽,環(huán)形溝槽的外沿成型有ー圈固定孔,且固定面與分子泵的泵ロ之間設(shè)有密封圏。安裝時(shí),分子泵的泵ロ安置于環(huán)形溝槽之中,利用外沿的固定孔將分子泵與固定板固定,并且利用密封圈保證分子泵泵ロ的密封效果,使得本防護(hù)裝置的固定板可以同時(shí)起到限制泵體飛出和泵ロ密封的作用,不需要額外設(shè)置密封裝置,節(jié)約成本④本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,在固定面上成型有三條環(huán)形溝槽,三條環(huán)形溝槽分別與三種分子泵口徑配合。采用此集成化的設(shè)計(jì),使同一個(gè)固定板可以適用于三個(gè)不同口徑分子泵的抽調(diào)安全防護(hù),提升了防護(hù)裝置的利用率和通用性。⑤本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,固定板的另ー側(cè)設(shè)置有手柄,工作人員在旋轉(zhuǎn)固定板時(shí),可以直接拉動(dòng)手柄,方便操作。⑥本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,基座上設(shè)置有支撐機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的ー側(cè)或兩側(cè),且所述固定板垂直于基座時(shí)支撐機(jī)構(gòu)與固定面同側(cè)設(shè)置,用干支撐分子泵的泵體,固定板通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與基座可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接,通過(guò)固定板的旋轉(zhuǎn)可簡(jiǎn)單方便地實(shí)現(xiàn)分子泵倒立和水平方位的切換;而設(shè)置支撐機(jī)構(gòu)可以更加穩(wěn)定地安置分子泵,利于確保防護(hù)效果。⑦本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,支撐機(jī)構(gòu)包括支撐塊底座和至少ー個(gè)支撐塊,支撐塊底座可滑動(dòng)或可拆卸地固定于基座上;支撐塊可拆卸地固定在支撐塊底座上,且支撐塊的尺寸與分子泵的泵體大小相適應(yīng)。通過(guò)支撐塊底座的滑動(dòng),可以方便地調(diào)節(jié)支撐機(jī)構(gòu)的位置,使其適應(yīng)于不同長(zhǎng)度的分子泵泵體;而通過(guò)更換不同尺寸的支撐塊,可以用來(lái)支撐不同直徑的分子泵泵體。這樣的設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)単,更換方便,能很好地滿足不同大小分子泵的支撐功能,通用性好。⑧本實(shí)用新型的防護(hù)裝置,支撐機(jī)構(gòu)還包括橡膠墊,橡膠墊固定設(shè)置在支撐塊與泵體接觸的表面上,避免分子泵泵體與支撐塊直接接觸,防止分子泵由于磕碰造成的損壞,而且設(shè)置橡膠墊還可以起到一定緩沖的作用。
為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解,下面根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖,對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)的說(shuō)明,其中圖I是本實(shí)用新型防護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型防護(hù)裝置的固定板結(jié)構(gòu)示意圖。圖中附圖標(biāo)記表示為1_基座,2-支撐塊底座,3-支撐塊,4-橡膠墊,5-固定板,51-固定面,52-旋轉(zhuǎn)支腿,53-密封圈,54-手柄,55-固定孔,56-環(huán)形溝槽,6-轉(zhuǎn)軸。
具體實(shí)施方式
如圖I所示,是本實(shí)用新型所涉及的分子泵防護(hù)裝置優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。所述分子泵防護(hù)裝置包括基座I、固定板5、支撐機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。所述基座I為板狀,適于放置在平面上,在本實(shí)施例中所述基座I放置于水平面上。如圖2所示,所述固定板5的一側(cè)與所述基座I可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接,另ー側(cè)設(shè)置有手柄54。所述固定板5與所述基座I可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的一側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)支腿52,在本實(shí)施例中,所述旋轉(zhuǎn)支腿52有兩個(gè)。所述固定板5的至少ー個(gè)平面為固定面51,在本實(shí)施例中,所述固定板5的其中ー個(gè)平面為所述固定面51。所述固定面51可與所述分子泵固定連接,使所述固定板5可連同所述分子泵在所述基座I上轉(zhuǎn)動(dòng)。所述固定面51上成型有至少一條與至少ー種分子泵口徑相配合的環(huán)形溝槽56,所述環(huán)形溝槽56的外沿成型有ー圈固定孔55。在本實(shí)施例中,所述固定面51上成型有三條分別與三種分子泵口徑相配合的所述環(huán)形溝槽56,所述固定孔55為螺紋孔,所述分子泵與所述固定面51之間通過(guò)螺釘可拆卸地緊固固定。所述固定面51與所述分子泵的泵ロ之間設(shè)有密封裝置,在本實(shí)施例中,所述密封裝置為設(shè)置于所述環(huán)形溝槽56內(nèi)的密封圈53,所述密封圈53的材料采用真空密封橡皮。所述手柄54與所述固定板5通過(guò)焊接固定,便于工作人員手動(dòng)旋轉(zhuǎn)所述密封板5及與其固定的所述分子泵。所述支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述基座I上并且位于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的ー側(cè)或兩側(cè),且所述固定板5垂直于所述基座I時(shí)所述支撐機(jī)構(gòu)與所述固定面51同側(cè)設(shè)置,用干支撐所述分子泵的泵體。在本實(shí)施例中,所述支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的ー側(cè),包括支撐塊底座2、兩個(gè)支撐塊3和兩塊橡膠墊4。所述支撐塊底座2可滑動(dòng)或可拆卸地固定于所述基座I上,在本實(shí)施例中所述支撐塊底座2可在所述基座I上滑動(dòng)。所述基座I的上表面成型有軌道,在所述軌道底部或所述軌道兩側(cè)的預(yù)設(shè)位置上成型有螺紋孔,使所述支撐塊底座2可通過(guò)螺釘與所述基座I固定連接。所述支撐塊底座2的上表面成型有兩個(gè)適于所述支撐塊3插入且相互平行的安裝槽。兩個(gè)所述支撐塊3分別與兩種泵體尺寸的所述分子泵配合。兩個(gè)所述支撐塊3可相互平行地插在所述安裝槽內(nèi),所述支撐塊3與所述支撐塊底座2可拆卸地固定。所述支撐塊3與泵體接觸的表面上成型有溝槽,所述溝槽內(nèi)設(shè)置有所述橡膠墊4。所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述固定板5與所述基座I可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸6,所述轉(zhuǎn)軸6可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述基座I的上表面并與所述基座I的上表面平行。本實(shí)施例中,所述轉(zhuǎn)軸6包括兩個(gè)短軸,且兩個(gè)所述短軸分別與兩個(gè)所述旋轉(zhuǎn)支腿52固定連接。具體工作過(guò)程中,當(dāng)?shù)沽⑹椒肿颖眯枰檎{(diào)時(shí),先將所述固定板5放下使其與所述基座I水平貼合;將所述固定面51與倒立式分子泵的泵ロ固定;之后便可以開(kāi)始抽調(diào)檢測(cè)。當(dāng)臥式分子泵需要抽調(diào)時(shí),選取大小合適的所述支撐塊3安裝于所述支撐塊底座2上;然后滑動(dòng)所述支撐塊底座2使其適應(yīng)于泵體的長(zhǎng)度;拉動(dòng)所述手柄54使所述固定板5垂直于所述基座I ;將泵ロ與所述固定面51固定,此時(shí)所述分子泵的泵體與所述支撐機(jī)構(gòu)貼合,所述分子泵處于水平放置狀態(tài);之后便可以開(kāi)始抽調(diào)檢測(cè)。在其他實(shí)施例中,所述固定板5的兩個(gè)平面可都為所述固定面51,工作人員可以根據(jù)情況選用其中一個(gè)所述固定面51與所述分子泵固定。在其他實(shí)施例中,固定面51上還可以成型一條、ニ條或四條等與不同分子泵口徑相配合的環(huán)形溝槽56,設(shè)計(jì)人員可以根據(jù)所述防護(hù)裝置的用途范圍選擇環(huán)形溝槽56的數(shù)目。在其他實(shí)施例中,支撐塊3的數(shù)目還可以是ー個(gè)、三個(gè)或更多,在所述支撐塊底座2上還可以成型有ー個(gè)或三個(gè)適于所述支撐塊3安裝的安裝槽,工作人員可以根據(jù)所述分子泵的尺寸選擇不同數(shù)量或大小不同所述支撐塊3安裝于所述支撐塊底座2上。[0051]在其他實(shí)施例中,所述支撐塊底座2可設(shè)計(jì)為可拆卸地固定在所述基座I上而無(wú)需設(shè)置所述軌道,同樣可以實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的。在其他實(shí)施例中,所述基座I還可以固定設(shè)置于坡度不大的斜平面上,相應(yīng)地,所述固定板5的旋轉(zhuǎn)角度以及所述支撐塊3的尺寸選擇均需要進(jìn)行調(diào)整,以保證分子泵工作過(guò)程的姿態(tài)角度與原設(shè)計(jì)角度相同。在其他實(shí)施例中,轉(zhuǎn)軸6還可為與所述旋轉(zhuǎn)支腿52固定連接的長(zhǎng)軸。顯然,上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明所作的舉例,而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見(jiàn)的變化或變動(dòng)仍處于本實(shí)用新型創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求1.ー種分子泵防護(hù)裝置,其特征在干包括 基座(I ),為板狀,適于放置在平面上; 固定板(5),其一側(cè)與所述基座(I)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接,所述固定板(5)的至少ー個(gè)平面為固定面(51),所述固定面(51)可與分子泵固定連接,所述固定板(5)可連同所述分子泵在所述基座(I)上轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述固定面(51)上成型有至少一條與至少ー種分子泵口徑相配合的環(huán)形溝槽(56),所述環(huán)形溝槽(56)的外沿成型有ー圈固定孑し(55)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述固定面(51)與所述分子泵的泵ロ之間設(shè)有密封裝置,所述密封裝置為設(shè)置于所述環(huán)形溝槽(56)內(nèi)的密封圈(53)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述固定面(51)上成型有三條所述環(huán)形溝槽(56 ),三條所述環(huán)形溝槽(56 )分別與三種分子泵ロ徑配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述固定板(5)的另ー側(cè)設(shè)置有手柄(54)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的防護(hù)裝置,其特征在于還包括設(shè)置于所述基座(I)上的支撐機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu);所述固定板(5)通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述基座(I)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接;所述支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的ー側(cè)或兩側(cè),且所述固定板(5)垂直于所述基座(I)時(shí)所述支撐機(jī)構(gòu)與所述固定面(51)同側(cè)設(shè)置,所述支撐機(jī)構(gòu)用于支撐所述分子泵的泵體; 所述支撐機(jī)構(gòu)包括, 支撐塊底座(2),可滑動(dòng)或可拆卸地固定于所述基座(I)上; 至少ー個(gè)支撐塊(3),可拆卸地固定在所述支撐塊底座(2)上,所述支撐塊(3)的尺寸與所述分子泵的泵體尺寸相適應(yīng); 所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括, 轉(zhuǎn)軸(6),可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述基座(I)的表面并與所述基座(I)的表面平行。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述支撐塊底座(2)上設(shè)置有兩個(gè)相互平行的所述支撐塊(3 ),兩個(gè)所述支撐塊(3 )分別與兩種泵體尺寸的所述分子泵配合。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述支撐機(jī)構(gòu)還包括橡膠墊(4),所述橡膠墊(4)固定設(shè)置在所述支撐塊(3)與泵體接觸的表面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述固定板(5)與所述基座(I)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接的一側(cè)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)支腿(52),所述旋轉(zhuǎn)支腿(52)與所述轉(zhuǎn)軸(6)固定連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的防護(hù)裝置,其特征在于所述基座(I)放置于水平面或固定于斜平面上。
專利摘要一種分子泵防護(hù)裝置,包括基座和固定板;基座為板狀,適于放置在平面上;固定板一側(cè)與所述基座可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接,所述固定板的至少一個(gè)平面為固定面,所述固定面可與分子泵固定連接,所述固定板可帶動(dòng)所述分子泵在所述基座上進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型提供的分子泵防護(hù)裝置,能夠有效阻止因碎泵引起的泵體飛出,防護(hù)效果好,且成本較低。
文檔編號(hào)F04D29/00GK202360443SQ20112052715
公開(kāi)日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2011年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者王洪波, 趙海標(biāo), 鄧高飛 申請(qǐng)人:北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司